半導體製程類
EN- 更新日期：115-03-05
- 發布單位：儀器資源中心
[光復校區] 手動光罩對準曝光機 Manual Mask Aligner
- Manual Mask Aligner
- 英文簡稱：Aligner
- 廠牌： 千奇正科技
- 型號： CM-4-LED
- 儀器專家：連德軒 教授
- 分機 54137
- 信箱：dhlien@nycu.edu.tw
- 儀器操作技術員：紀智良 先生
- 分機 55618
- 信箱 g01341@nycu.edu.tw
- 儀器位置：奈米中心220室
儀器廠牌、型號、購置年限
廠牌：千奇正科技
型號：CM-4-LED
購置時間：2023年12月
重要規格
廠牌：千奇正科技
型號：CM-4-LED
購置時間：2023年12月
重要規格
- 光源：365nm UV LED
- 主波長： I - line 365nm
- 照度：≧20 mW/cm^2 (I-line )
- 電源供應器操作模式：恆定電壓(CP模式)
- 光罩尺寸：127x127mm mask holder (bottom load) *1pc
- 光源平行角度：≦±2.5°
- 照度均勻性：≦±3%
- 曝光有效範圍(平行光)ø100mm
- 曝光模式： Proximity Soft Contact & Hard Contact
- 試片: 試片載台可放置4吋晶圓或破片試片
服務項目
委託代工執行製程 : 對準曝光
開放時間
委託代工執行製程 : 對準曝光
開放時間
- 週一至週五：09:00 ~ 16:00
- 夜間及週六、日：不開放
系統開放等級
- 一般上班時段： D級
- 夜間及假日時段： 不開放
系統開放等級說明
- A級：開放給需要使用之學生，經訓練考核後可自行操作。
- B級：每位教授指派一位學生申請訓練，該教授之其他學生需由接受訓練的學生代為操作，若有教授使用該儀器之學生過多者，可向儀器負責人申請增加接受訓練學生人數。
- C級：由儀器負責人選定教授推薦之學生若干人接受訓練，經考核後可自行操作儀器並得負責委託服務工作。
- D級：由本實驗室之技術人員接受委託服務，不開放使用。
| 學校單位 | 研究單位 | 營利事業單位 | |
|---|---|---|---|
| 代工費(元/3片以內) (不須對第二道mask) |
NTD 1,500 | NTD 2,000 | NTD 6,000 |
| 代工費(元/3片以內) (須對第二道mask) |
NTD 2,000 | NTD 2,500 | NTD 7,000 |
| 代工執行的黃光製程：對準曝光 | |||
管理及使用辦法
- 本機台使用順序以半導體教學為優先，其次為委託代工。
- 委託代工，請先Email與儀器設備管理人員聯絡。
- 委託代工需要對第二道時 (申請者須到場陪同,以確認對準位置,避免爭議)。
相關圖片：
相關連結：
