[{"subject":"【尖端服務】極端條件X光繞射儀及尖端飛秒動態光譜量測系統 / OTHER002900","detailContent":"\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- X-ray diffractometer and femtosecond transient spectroscopy under extreme conditions\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 英文簡稱：Extreme-condition spectroscopy
\r\n\t\t廠牌型號：Quantum Design Opticool \r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：\r\n\t
\r\n\t\t- 羅志偉 教授\r\n\t\t
\r\n\t\t\t- 03-5712121分機 56196，信箱
\r\n\t\t
\r\n\t\t \r\n\t\t- 黃爾文 教授\r\n\t\t
\r\n\t\t\t- 03-5712121分機 55307，信箱
\r\n\t\t
\r\n\t\t \r\n\t\t- 杜建明 助理教授\r\n\t\t
\r\n\t\t\t- 03-5712121分機 56171，信箱
\r\n\t\t
\r\n\t\t \r\n\t\t- 林御專 助理教授\r\n\t\t
\r\n\t\t\t- 03-5712121分機 55328，信箱
\r\n\t\t
\r\n\t\t \r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器諮詢與操作服務：阮日娟 博士\r\n\t
\r\n\t\t- 03-5712121分機 56198，信箱
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器位置：光復校區 基礎科學教學研究大樓 (科學三館) SC015室
\r\n
\r\n
\r\n
儀器廠牌、型號、購置年限
\r\n廠牌：Quantum Design Inc
\r\n型號：Quantum Design Opticool
\r\n購置日期：2022年
\r\n功能：X光至兆赫波段光譜(含時間解析)量測用高磁場恆溫控制器。
\r\n
\r\n重要規格
\r\n
\r\n光譜量測系統含高磁場恆溫控制器(磁場可達7 T, 溫度可達 1.8 K)。
\r\n
\r\n可用雷射光源 400, 532, 633, 及800奈米。用戶亦可自行準備光源。溫度範圍 1.8 K至 350 K (20 K以下穩定度0.2%，20 K 以上穩定度 0.02%)。磁場範圍正負 7 T (3公分直徑內穩定度0.3%)。震動穩定度可達微米等級。
\r\n
\r\n
服務項目
\r\n
\r\n提供X光至兆赫波段光譜(含時間解析)量測服務，提供用戶客製化實驗架設至分析諮詢。
\r\n
\r\n
開放時間表
\r\n\r\n
\r\n\t- 周一至周五 委託時段
\r\n\t- 夜間及周六、周日 C級
\r\n
\r\n\r\n
系統開放等級
\r\n\r\n
\r\n\t- 一般上班時段：D級
\r\n\t- 夜間及假日時段：C級
\r\n
\r\n\r\n
系統開放等級說明
\r\n\r\n
\r\n\t- A級：開放給需要使用之學生，經訓練考核後可自行操作。
\r\n\t- B級：每位教授指派一位學生申請訓練，該教授之其他學生需由接受訓練的學生代為操作，若有教授使用該儀器之學生過多者，可向儀器負責人申請增加接受訓練學生人數。
\r\n\t- C級：由儀器負責人選定教授推薦之學生若干人接受訓練，經考核後可自行操作儀器並得負責委託服務工作。
\r\n\t- D級：由本實驗室之技術人員接受委託服務，不開放使用。
\r\n
\r\n
\r\n
管理辦法及預約方式
\r\n\r\n
\r\n\t- 須先與儀器專家或技術員討論實驗可執行、填寫尖端服務申請書，申請書經校內外審核通過後執行尖端服務實驗計畫。
\r\n\t- 尖端服務申請書通過審核後始得與技術員安排實驗行程。
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\t收費標準（單位：NTD）\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 計費項目 | \r\n\t\t\t計畫單價 | \r\n\t\t\t現金單價 | \r\n\t\t\t自行操作 | \r\n\t\t\t備註 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 變溫度(或變磁場)之光譜量測 | \r\n\t\t\t$400 /小時 | \r\n\t\t\t$4000 /小時 | \r\n\t\t\t$200 /小時 | \r\n\t\t\t包括本測量項目費用和開機費 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 變溫度且變磁場之光譜量測 | \r\n\t\t\t$800 /小時 | \r\n\t\t\t$8000 /小時 | \r\n\t\t\t$400 /小時 | \r\n\t\t\t包括本測量項目費用和開機費 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 常溫及零磁場之光譜量測 | \r\n\t\t\t$200 /件 | \r\n\t\t\t$2000 /件 | \r\n\t\t\t$100 /件 | \r\n\t\t\t包括本測量項目費用和開機費 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 常溫及零磁場之光譜量測 | \r\n\t\t\t$500 /小時 | \r\n\t\t\t$5000 /小時 | \r\n\t\t\t$250 /小時 | \r\n\t\t\t包括本測量項目費用和開機費 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 開機費 | \r\n\t\t\t$25 /小時 | \r\n\t\t\t$250/小時 | \r\n\t\t\t$10/小時 | \r\n\t\t\t1. 常溫或零磁場之光譜量測的校準時間。
\r\n\t\t\t2. 校準時間及開機時間最低36小時（其中
\r\n\t\t\t24小時為低溫系統及超導磁鐵冷卻時間，
\r\n\t\t\t樣品取出前之時間均計入使用時間）。 | \r\n\t\t
\r\n\t\r\n
\r\n
\r\n
儀器訓練操作申請須知
\r\n\r\n
\r\n\t- 尖端服務申請書需先通過審核並參與委託操作實驗一次以上。
\r\n\t- 申請訓練需先請計畫主持人與儀器專家或技術員聯絡確認尖端服務實驗流程。
\r\n
\r\n
儀器專家：
\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n\r\n","page8Title":null,"page8":null,"docs":[],"images":[{"fileurl":"https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/image?module=corefacilities&detailNo=1164448512469897216&init=Y","expFile":"極端條件X光繞射儀及尖端飛秒動態光譜量測系統"}],"videos":[],"audios":[],"resources":[{"relateURL":"https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/list?module=corefacilities&id=1721","relateName":"儀器列表"}]},{"subject":"【奈米製程領域】三五族分子束磊晶系統 / SEMI001900","detailContent":"\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- III-V MOLECULAR BEAM EPITAXY SYSTEM\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 廠牌型號：Veeco Modular GEN II solid source III-V MBE
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：林聖迪 教授\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器諮詢與操作服務：吳儲君 小姐\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 固態電子系統大樓1樓R110室
\r\n
\r\n
\r\n\t- 中文名稱：三五族分子束磊晶系統
\r\n\t- 英文名稱：III-V Molecular Beam Epitaxy System
\r\n\t- 英文簡稱：MBE
\r\n\t- 廠牌：Veeco Modular GEN II solid source III-V MBE
\r\n\t- 儀器地點：光復校區 固態電子系統大樓R110實驗室
\r\n\t- 購置日期：2004年8月
\r\n\t- 加入貴儀日期：2015年1月
\r\n
\r\n
\r\n重要規格\r\n\r\n\r\n\t- High Vacuum Growth chamber：Pressure < 5×10-10 torr
\r\n\t- Source Material：Ga、Al、In、As、Sb.
\r\n\t- Doping Source ：Be、Si、Te
\r\n\t- Max substrate Size：3 inch
\r\n\t- Epitaxy Layer thickness Variation < 5%
\r\n\t- The highest growth temperature: 640℃
\r\n\t- In-situ rsidual gas analysis (RGA) and reflection high energy electron diffraction (RHEED, 15kV)：
\r\n\t- Regular monitoring epitaxy layer growth rate and quality.
\r\n
","page2Title":"服務項目與系統開放等級","page2":"\r\n
服務項目
\r\n\r\n
\r\n\t- 本系統為超高真空系統，原則上不開放自行操作，但可現場陪同。
\r\n\t- 本系統服務每一片晶片以6小時為1單元。
\r\n\t- 申請使用者須和儀器負責教授或技術員接洽，以確定樣品符合需求。
\r\n\t- 每人每次最多預約5個樣品。
\r\n\t- 取消預約須於一週前告知。
\r\n
\r\n\r\n
\r\n系統開放等級
\r\n目前只開放委託服務，由本實驗室技術人員操作。
\r\n
\r\n
開放時段：本機台採取委託預約有需要請上貴儀系統預約。
\r\n\r\n
\r\n
\r\n\t收費標準\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 服務項目 | \r\n\t\t\t收費標準（單位：NTD） | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 砷化物樣品委託 | \r\n\t\t\t計畫預約：$4,000 /1µm
\r\n\t\t\t非計畫預約：$15,000 /1µm | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 銻化物樣品委託 | \r\n\t\t\t計畫預約：$5,000 /1µm
\r\n\t\t\t非計畫預約：$25,000 /1µm | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 特殊結構測試費用 | \r\n\t\t\t依據結構難度額外加收 2-6µm不等之校正費用 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 基板費用 | \r\n\t\t\tGaAs 系列：$7,000 /單片
\r\n\t\t\tGaSb 系列：$25,000 /單片
\r\n\t\t\tInP 系列：$9,000 /單片 | \r\n\t\t
\r\n\t\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 此收費標準係以樣品成長厚度在1微米計算。超過1微米以上部份，若不足1微米則以1微米 計算。
\r\n\t- 為維持本系統穩定性與超高真空條件，恕不接受委託者自行提供基板之要求；一律由本單位統一提供長晶基板。
\r\n\t- 另有特殊要求請先mail或來電討論。
\r\n\t- 若需長期委託服務者，可提供長期專案優惠。
\r\n\t- 本單位另可協助評估結構可行性與成長建議之諮詢服務。
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
管理辦法及試片限制
\r\n\r\n
\r\n\t- 能夠成長的基板為GaAs、InP、InAs、GaSb、InSb。
\r\n\t- 委託操作者在繳交預約單後，必須聯絡技術員確定實驗時間與成長內容。
\r\n
\r\n\r\n
\r\n儀器預約辦法
\r\n\r\n
\r\n\t- 儀器預約﹝enter﹞
\r\n\t- 欲取消預約請在一周前，聯絡技術員並自行上網取消。
\r\n\t- 預約申請單繳交，請拍照或掃描傳送至技術員信箱
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- LASER PATTERN GENERATOR\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 廠牌型號：HIMT DWL-200
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：李佩雯 教授\r\n\t
\r\n\t\t- 03-5712121分機 54210
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器諮詢與操作服務：蔡慶祥 先生、柯明毅 先生\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 固態電子系統大樓139室
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 廠牌型號：HIMT DWL-200
\r\n\t- 購置年限：2007年4月
\r\n\t- 放置地點：光復校區 固態電子系統大樓 10級R 139實驗室 (TEL：55616)
\r\n\t- 功能：玻璃光罩之製造(4”、5”及6”)， 5吋石英光罩(電洽)
\r\n\t- 重要規格：\r\n\t
\r\n\t\t- (1).雷射光源442nm(g-line) Helium _Cadmium LASER Power 125mW
\r\n\t\t- (2).Minimum feature size is .80um
\r\n\t\t- (3).最大有效區域 200mm x 200mmdeposition)
\r\n\t\t- (4).GDSII 及 Auto CAD 之 *. dxf 檔
\r\n\t\t- (5).Dual CCD camera alignment system
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器可使用之特殊製程材料。
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\t- 光罩製作說明 \r\n\t
\r\n\t\t![\"光罩製作說明\"](\"/userfiles/ordch/images/20240611180738838.png\")
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
委託操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號，再下載DWL-200委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心（本校固態電子系統大樓2F）給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n\t- 無國科會計畫者，請直接下載DWL-200委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心（本校固態電子系統大樓2F）給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n
\r\n
\r\n
收費資訊
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者依計畫付費標準計價，無國科會計畫者依非計畫付費標準計價。
\r\n\t- 費用查詢連結：https://vir.nstc.gov.tw/VI_SearchResult?item=1
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
圖形產生系統
\r\n\r\n
\r\n\t- PATTERN GENERATOR\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 廠牌型號：Raith VOYAGER
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：李佩雯 教授\r\n\t
\r\n\t\t- 03-5712121分機 54210
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器諮詢與操作服務：蔡慶祥 先生\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 固態電子系統大樓118室
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 廠牌型號：Raith VOYAGER
\r\n\t- 購置年限：2019年
\r\n\t- 放置地點：光復校區 固態電子系統大樓 1樓118實驗室 (TEL：55667)
\r\n\t- 功能：薄膜光阻曝寫
\r\n\t- 重要規格：\r\n\t
\r\n\t\t- 曝光源：電子束(Electron Beam)
\r\n\t\t- Maximum beam energy：50kV
\r\n\t\t- Maximum write field：500μm
\r\n\t\t- 50MHz Pattern Generator
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器可使用之特殊製程材料
\r\n
\r\n
\r\n
注意事項
\r\n\r\n
\r\n\t- 正表列：試片表面平整 (厚度小於1mm)(例如Si、SiC、GaAs、GaN等材料)
\r\n\t- 負表列(禁止使用)：\r\n\t
\r\n\t\t- 磁性材料、粉末材料、壓電材料、合成光阻
\r\n\t\t- 低融點材料
\r\n\t\t- 所有在電子束照射下會分解或釋出氣體及有礙真空維持之材料
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
\r\n\t- 取得儀器使用權限說明：\r\n\t
\r\n\t\t- 白天權限申請流程說明 (使用權限為星期一至五8:00~17:00)
\r\n\t\t- 24小時申請流程說明 (需有白天權限才可申請)
\r\n\t\t- 注意事項 (務必詳讀，以免損失自身權益)
\r\n\t\t- 圖形產生系統操作規範&考核記錄表
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器開放等級及人數，相關注意事項如下：\r\n\t
\r\n\t\t- 同一實驗室原則上開放3人自行操作，不限碩博士生(但以博士生優先)，如有需求需經儀器管理教授同意得增加至4人。
\r\n\t\t- 申請本設備自行操作者，需有奈米中心SEM儀器使用經驗(累積操作時數至少20小時)，如使用經驗為非奈米中心SEM儀器者，需填寫切結書。
\r\n\t\t- 需附SEM操作累積時數20小時證明文件(實驗自行操作紀錄本影本或其他證明文件並由機台管理人簽章。)
\r\n\t\t- 本設備自行操作訓練次數為5次。
\r\n\t\t- 擔任本設備之訓練員者，需先取得本設備之24小時自行操作權限。
\r\n\t\t- 經考核通過後，超過3個月未使用設備者，取消其操作權限。
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用:\r\n\t
\r\n\t\t- 國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統 (取得序號)
\r\n\t\t- 奈米中心儀器預約系統 (使用時段預約)
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
收費資訊
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者依計畫付費標準計價，無國科會計畫者依非計畫付費標準計價。
\r\n\t- 晶片由使用者自備。
\r\n\t- 委託圖形曝寫需使用NFC光阻時，委託塗佈材料費：800元(破片2片以內或4吋1片，現金收費)。
\r\n\t- 光罩曝寫視圖案情況，經評估後另行報價
\r\n\t- 收費方式：\r\n\t
\r\n\t\t- 自行操作：收取使用費
\r\n\t\t- 委託操作：收取使用費+代工費
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 費用查詢連結：https://vir.nstc.gov.tw/VI_SearchResult?item=1
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- Double Side Mask Aligner\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 廠牌型號：科毅科技AG1000-4D-D-S-M-V
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：蘇俊榮 教授\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器操作技術員：曾俊賢 先生\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 固態電子系統大樓 1樓137室
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 廠牌型號: 科毅科技AG1000-4D-D-S-M-V
\r\n\t- 購置年限: 2011年11月
\r\n\t- 放置地點: 光復校區 固態電子系統大樓 1樓137實驗室 (TEL：55616)
\r\n\t- 功能:各種元件之對準曝光
\r\n\t- 重要規格:\r\n\t
\r\n\t\t- Mask holder：4″x4″ , 5″x5″
\r\n\t\t- Chuck：4″
\r\n\t\t- Exposure size：4″
\r\n\t\t- Light source：1000W
\r\n\t\t- 汞燈光源：NUV
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器可使用之特殊製程材料
\r\n
\r\n
\r\n
注意事項
\r\n\r\n
\r\n\t- 預約使用以一個小時為一時段。
\r\n\t- 具該項儀器設備使用者其製程預約時間每日最多一個時段，不得重複預約
\r\n\t- 預約取消：因突發狀況，導致無法於預約時段內操作該項儀器設備者，應以預約24小時之前取消預約登記，未取消者按原來時段計算收費，原時段得由儀器設備管理人員開放出來給其他使用 者操作使用之，而原預約使用者須接受處罰，其罰則另定之。
\r\n\t- 預約登記使用未準時到者，視同預約未取，其時段得由其他使用者使用之。
\r\n\t- 委託製作者，請先與儀器設備管理人員聯絡。
\r\n
\r\n
\r\n
自行操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 申請此機台需同時加考光阻塗佈機、真空烤箱、光學顯微鏡
\r\n\t- 取得儀器使用權限說明：\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器開放等級及人數。
\r\n\t- 有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用：\r\n\t
\r\n\t\t- 國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統 (取得序號)
\r\n\t\t- 奈米中心儀器預約系統 (使用時段預約)
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
委託操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 若非標準矽晶圓或其他材必須區分正反面者，需在申請表上或晶片上標註正反面及註明欲進行製程的表面，未標明或不提供確認資訊者恕不收件。
\r\n\t- 有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號，再下載雙面光罩對準曝光機委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n\t- 無國科會計畫者，請直接下載雙面光罩對準曝光機委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n
\r\n
\r\n
收費資訊
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者依計畫付費標準計價，無國科會計畫者依非計畫付費標準計價。
\r\n\t- 只上光阻：每片 NTD $500( 4″ 與 破片 依樣收費 )。
\r\n\t- 代工需要對第二道時 ( 申請者須到場陪同,方便確認對準位置,避免爭議 )。
\r\n\t- 自行操作是以貴儀收費,委託代工會收取代工費與貴儀收費 (兩者)
\r\n\t- 收費方式\r\n\t
\r\n\t\t- 自行操作：收取使用費
\r\n\t\t- 委託操作：收取使用費+代工費
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 費用查詢連結：https://vir.nstc.gov.tw/VI_SearchResult?item=1
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- Double Side Mask Aligner\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 廠牌型號：科毅科技AG1000-6N-ST
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：蘇俊榮 教授\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器操作技術員：曾俊賢 先生\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 固態電子系統大樓 1樓137室
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 廠牌型號: 科毅科技AG1000-6N-ST
\r\n\t- 購置年限: 2019年11月
\r\n\t- 放置地點: 光復校區 固態電子系統大樓 1樓137實驗室 (TEL：55616)
\r\n\t- 功能:各種元件之對準曝光
\r\n\t- 重要規格:\r\n\t
\r\n\t\t- (1).Mask holder：4″x4″ , 5″x5″
\r\n\t\t- (2).Chuck：4″
\r\n\t\t- (3).Exposure size：4″
\r\n\t\t- (4).Light source：1000W
\r\n\t\t- (5).汞燈光源：NUV
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器可使用之特殊製程材料
\r\n
\r\n
\r\n
注意事項
\r\n\r\n
\r\n\t- 預約使用以一個小時為一時段。
\r\n\t- 具該項儀器設備使用者其製程預約時間每日最多一個時段，不得重複預約
\r\n\t- 預約取消：因突發狀況，導致無法於預約時段內操作該項儀器設備者，應以預約24小時之前取消預約登記，未取消者按原來時段計算收費，原時段得由儀器設備管理人員開放出來給其他使用 者操作使用之，而原預約使用者須接受處罰，其罰則另定之。
\r\n\t- 預約登記使用未準時到者，視同預約未取，其時段得由其他使用者使用之。
\r\n\t- 委託製作者，請先與儀器設備管理人員聯絡。
\r\n
\r\n
\r\n
自行操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 申請此機台需同時加考光阻塗佈機、真空烤箱、光學顯微鏡
\r\n\t- 取得儀器使用權限說明：\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器開放等級及人數。
\r\n\t- 有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用：\r\n\t
\r\n\t\t- 國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統 (取得序號)
\r\n\t\t- 奈米中心儀器預約系統 (使用時段預約)
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
委託操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 若非標準矽晶圓或其他材必須區分正反面者，需在申請表上或晶片上標註正反面及註明欲進行製程的表面，未標明或不提供確認資訊者恕不收件。
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號，再下載雙面光罩對準曝光機委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n\t- 無國科會計畫者，請直接下載雙面光罩對準曝光機委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n
\r\n
\r\n
收費資訊
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者依計畫付費標準計價，無國科會計畫者依非計畫付費標準計價。
\r\n\t- 只上光阻：每片 NTD $500( 4″ 與 破片 依樣收費 )。
\r\n\t- 代工需要對第二道時 ( 申請者須到場陪同,方便確認對準位置,避免爭議 )。
\r\n\t- 自行操作是以貴儀收費,委託代工會收取代工費與貴儀收費 (兩者)
\r\n\t- 收費方式\r\n\t
\r\n\t\t- 自行操作：收取使用費
\r\n\t\t- 委託操作：收取使用費+代工費
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 費用查詢連結：https://vir.nstc.gov.tw/VI_SearchResult?item=1
\r\n
\r\n
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\r\n\r\n
\r\n\t- OXIDATION & DIFFUSION FURNACES\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 廠牌型號：森積 SJ-CA1200-D4
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：劉柏村 教授\r\n\t
\r\n\t\t- 03-5712121分機 52994
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器諮詢與操作服務：倪月珍 小姐\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 固態電子系統大樓121室
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 廠牌型號： 森積 SJ-CA1200-D4
\r\n\t- 購置年限： 2012年12月
\r\n\t- 放置地點：光復校區 固態電子系統大樓 1樓 131實驗室 (TEL：55616)
\r\n\t- 功能：\r\n\t
\r\n\t\t- 濕氧氧化、乾氧氧化(dry & wet oxidation)
\r\n\t\t- N型，P型晶片(退火)
\r\n\t\t- SiO2 / Si，High-K / Si .Ge (Sintering)
\r\n\t\t- Al退火
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 重要規格：\r\n\t
\r\n\t\t- 加熱最高溫度1100°C
\r\n\t\t- 加熱區長度900mm，爐管(chamber)口徑6″
\r\n\t\t- 恆溫區600mm ±1℃於1000℃(三點測量)
\r\n\t\t- 0~1100°C加熱時間2小時
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器可使用之特殊製程材料
\r\n
\r\n
\r\n
自行操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 需已擁有Wet Bench使用權限才可申使用請氧化擴散系統。
\r\n\t- 取得儀器使用權限說明：\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器開放等級及人數。
\r\n\t- 有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用：\r\n\t
\r\n\t\t- 國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統 (取得序號)
\r\n\t\t- 奈米中心儀器預約系統 (使用時段預約)
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 管理及使用辦法:\r\n\t
\r\n\t\t- 爐管預約使用以四個小時為一個區段，可適用的爐管為Wet Oxidation、P+ Annealing 、N+ Annealing、Dry Oxidation等爐管。
\r\n\t\t- 每個爐管其預約製程使用時間最多三個區段(三個區段)，同一爐管預約使用在一週內製程使用時間最多兩(含兩次)。
\r\n\t\t- 預約方式：每週一起可預約當週及下週時段。
\r\n\t\t- 預約取消突發狀況，導致無法於預約時段內操作該項儀器設備者，應以預約三小時之前取消預約登記，預約未做且未取消時段，其空出時段得由儀器設備管理人開放出來給其他使用者操作使用之。
\r\n\t\t- 預約登記使用超過30分鐘未到者，視同預約取消，其時段得由其他使用者使用之。
\r\n\t\t- 實驗做完應確實填寫使用記錄簿。
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
委託操作儀器：
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號，再下載氧化擴散系統委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n\t- 無國科會計畫者，請直接下載氧化擴散系統委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n
\r\n
\r\n
收費資訊
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者依計畫付費標準計價，無國科會計畫者依非計畫付費標準計價。
\r\n\t- 本中心規定最高溫度為1100oC，3″及4″晶片，一次最多25片。
\r\n\t- 不足一小時以一小時計算。
\r\n\t- 進入爐管之wafer，須先Clean，Clean之費用詳見Wet_Bench收費表。
\r\n\t- 收費方式：\r\n\t
\r\n\t\t- 自行操作：收取開機費+製作費
\r\n\t\t- 委託操作：收取開機費+製作費+代工費
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 費用查詢連結：https://vir.nstc.gov.tw/VI_SearchResult?item=1
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\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- Low Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD)\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 廠牌型號：SJ-10301001-1
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：劉柏村 教授\r\n\t
\r\n\t\t- 03-5712121分機 52994
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器諮詢與操作服務：賴玟言 先生\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 固態電子系統大樓 1樓127實驗室
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\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 廠牌型號：SJ-10301001-1
\r\n\t- 購置年限：2014年12月28日
\r\n\t- 放置地點：光復校區 固態電子系統大樓 1樓127實驗室 (TEL：55616)
\r\n\t- 功能：\r\n\t
\r\n\t\t- (1).腔體（chamber)：6″，均溫區長度600mm
\r\n\t\t- (2).真空：5*10-3 Torr
\r\n\t\t- (3).溫度：POLY-Si-620°C，Si3N4-800°C，TEOS-700°C
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 重要規格：\r\n\t
\r\n\t\t- (1).多晶矽沉積摻雜磷化氫(Poly-Si in-situ PH3):溫度：585°C氣體：SiH4，PH3壓力：500mtorr
\r\n\t\t- (2).多晶矽及非晶矽的沈積(poly-Si & amorphous-Si)，矽鍺沉積(SiGe):溫度：620°C/550°C氣體：SiH4，GeH4壓力：300mtorr
\r\n\t\t- (3).氮化矽的沈積(Si3N4):溫度：800°C/850°C氣體：SiH2Cl2，NH3壓力：120mtorr
\r\n\t\t- (4).TEOS的沈積:溫度：700°C氣體：TEOS壓力：120mtorr
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器可使用之特殊製程材料。
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\r\n
自行操作儀器
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 需已擁有Wet Bench使用權限才可申使用LPCVD系統。
\r\n\t- 取得儀器使用權限說明:\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器開放等級及人數。
\r\n\t- 有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用:\r\n\t
\r\n\t\t- (1).國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統 (取得序號)
\r\n\t\t- (2).奈米中心儀器預約系統 (使用時段預約)
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
委託操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號，再下載LPCVD委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n\t- 無國科會計畫者，請直接下載LPCVD委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n
\r\n
\r\n
收費資訊
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者依計畫付費標準計價，無國科會計畫者依非計畫付費標準計價。
\r\n\t- 收費方式\r\n\t
\r\n\t\t- 自行操作：收取開機費+製作費
\r\n\t\t- 委託操作：收取開機費+製作費+代工費
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 費用查詢連結：https://vir.nstc.gov.tw/VI_SearchResult?item=1
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 廠牌型號：Samco
\r\n\t- 購置年限：1998年7月
\r\n\t- 放置地點：光復校區 固態電子系統大樓 1樓 116實驗室 (TEL：55666)
\r\n\t- 功能：成長SiO2及Si3N4等薄膜
\r\n\t- 重要規格：\r\n\t
\r\n\t\t- 可使用晶圓尺寸：破片至4吋
\r\n\t\t- 單腔體：Chamber溫度300°C
\r\n\t\t- 使用的氣體包括：N2O、NH3、CF4、SiH4+Ar、N2等，可提供低溫之SiO2及Si3N4等薄膜沈積
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器可使用之特殊製程材料
\r\n
\r\n
\r\n
自行操作儀器
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 取得儀器使用權限說明:\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器開放等級及人數。
\r\n\t- 有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用:\r\n\t
\r\n\t\t- (1).國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統 (取得序號)
\r\n\t\t- (2).奈米中心儀器預約系統 (使用時段預約)
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
委託操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號，再下載PECVD委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n\t- 無國科會計畫者，請直接下載PECVD委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n
\r\n
\r\n
收費資訊
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者依計畫付費標準計價，無國科會計畫者依非計畫付費標準計價。
\r\n\t- 收費方式\r\n\t
\r\n\t\t- 自行操作：收取開機費+製作費
\r\n\t\t- 委託操作：收取開機費+製作費+代工費
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 費用查詢連結：https://vir.nstc.gov.tw/VI_SearchResult?item=1
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 廠牌型號：日本SamCo公司製造 RIE-400iP。
\r\n\t- 購置年限：2019年3月4日。
\r\n\t- 放置地點：光復校區 固態電子系統大樓 1樓121實驗室 (TEL：55610)。
\r\n\t- 功能：乾式蝕刻，蝕刻碳化矽(SiC)為主，特殊時機可以蝕刻介電質(SiO2、Si3N4)材料，4″ wafer為主。
\r\n\t- 重要規格：本蝕刻系統可通入C4F8、O2、SF6、CHF3等氣體蝕刻碳化矽(SiC)及介電質(SiO2、Si3N4)。
\r\n\t- 儀器可使用之特殊製程材料。
\r\n
\r\n
\r\n
注意事項
\r\n\r\n
\r\n\t- 材料限制：\r\n\t
\r\n\t\t- 限碳化矽(SiC)基板與Si基板。
\r\n\t\t- 試片上不得有摻雜金屬元素或鍍有金屬薄膜。
\r\n\t\t- 試片不得經過後段製程機台。
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 請詳細說明基板上含何種物質(如Poly-Si、SiO2、Si3N4、光阻等)，以及是否要清洗晶片。
\r\n\t- 蝕刻若無特別要求，一律按中心標準製程參數為之。
\r\n
\r\n
\r\n
自行操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 取得儀器使用權限說明：\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器開放等級及人數。
\r\n\t- 有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用：\r\n\t
\r\n\t\t- (1).國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統 (取得序號)
\r\n\t\t- (2).奈米中心儀器預約系統 (使用時段預約)
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
委託操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號，再下載RIE-400iP委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n\t- 無國科會計畫者，請直接下載RIE-400iP委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n
\r\n
\r\n
收費資訊
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者依計畫付費標準計價，無國科會計畫者依非計畫付費標準計價。
\r\n\t- 收費方式\r\n\t
\r\n\t\t- 自行操作：收取使用費
\r\n\t\t- 委託操作：收取使用費+代工費
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 費用查詢連結：https://vir.nstc.gov.tw/VI_SearchResult?item=1
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 廠牌型號：日本SamCo公司製造 RIE200L
\r\n\t- 購置年限：2002年12月1日
\r\n\t- 放置地點：光復校區 固態電子系統大樓 1樓116實驗室 (TEL：55666)
\r\n\t- 功能：蝕刻二氧化矽、氮化矽等材料
\r\n\t- 重要規格：RF產生器最大可輸出300W，頻率13.56MHz，本蝕刻系統可通入CF4、O2、SF6、CHF3等氣體蝕刻二氧化矽、氮化矽等材料。
\r\n\t- 儀器可使用之特殊製程材料。
\r\n
\r\n
\r\n
注意事項
\r\n\r\n
\r\n\t- 請詳細說明基板其上含何種物質(如SiO2、Si3N4、Metal、光阻等)。
\r\n\t- 蝕刻若無特別要求，一律按中心標準製程為之：\r\n\t
\r\n\t\t- (1).SiOx : (RIE mode) 300 ~400 Å/min 100W,4Pa.
\r\n\t\t- (2).SiNx : (RIE mode) 900~1000 Å/min 100W,4Pa.
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 晶片上不得有Ag, Au, Cu, Fe, Ni, Zn, LiNbO3, In, Pb, Sn, ITO等成份。
\r\n\t- 金屬不得露出。
\r\n
\r\n
\r\n
自行操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 取得儀器使用權限說明：\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器開放等級及人數。
\r\n\t- 有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用：\r\n\t
\r\n\t\t- (1).國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統 (取得序號)
\r\n\t\t- (2).奈米中心儀器預約系統 (使用時段預約)
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
委託操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號，再下載RIE 200L委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n\t- 無國科會計畫者，請直接下載RIE 200L委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n
\r\n
\r\n
收費資訊
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者依計畫付費標準計價，無國科會計畫者依非計畫付費標準計價。
\r\n\t- 收費方式\r\n\t
\r\n\t\t- 自行操作：收取使用費
\r\n\t\t- 委託操作：收取使用費+代工費
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 費用查詢連結：https://vir.nstc.gov.tw/VI_SearchResult?item=1
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- SEM SU-8010\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 廠牌型號：Hitachi SU-8010
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：譚至善 教授\r\n\t
\r\n\t\t- 03-5712121分機 54146
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器諮詢與操作服務：范秀蘭 小姐\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 工程六館2樓212室實驗室
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 廠牌型號：Hitachi SU-8010
\r\n\t- 購置年限：2013年10月
\r\n\t- 放置地點：光復校區 工程六館2樓212室實驗室 (TEL：55337)
\r\n\t- 功能：\r\n\t
\r\n\t\t- 電子顯微鏡觀察(SEM)：高倍率放大觀察元件、薄膜等微細結構或剖面結構
\r\n\t\t- 表面能階分析(EDS)：特定位置表面材料成分電子能階光譜分析，用以判斷表面材料或污染的組成
\r\n\t\t- 試片前處理：新購置離子研磨機，具有剖面研磨&表面研磨功能，協助讓試片表面更平整，便於SEM觀察
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 重要規格：\r\n\t
\r\n\t\t- 電子源：冷陰極電子槍
\r\n\t\t- 操作電壓：0.1kV~30kV
\r\n\t\t- 試片尺寸：50mm diameter x 50mm diameter
\r\n\t\t- 解析度：10A° (at 15kV) or 13A° (at 1kV)
\r\n\t\t- 放大倍率20倍~80萬倍(依試片本身而定)
\r\n\t\t- 二次電子解析度1.0nm(15kV下)
\r\n\t\t- EDS可提供全能譜定性分析（Be4~U92）、半定量分析及元素分佈圖
\r\n\t\t- 離子研磨機使用氣體:氬氣(Ar)
\r\n\t\t- 剖面研磨範圍X:≥7mm Y: ≥3mm
\r\n\t\t- 表面研磨速度：0°：≥2μm/hr 60°：≥20μm/hr
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器可使用之特殊製程材料
\r\n
\r\n
\r\n
SEM限制使用之材料
\r\n\r\n
\r\n\t- 磁性材料（含鐵、鈷、鎳成分）
\r\n\t- 有機物、高分子、粉末等材料
\r\n\t- 所有在電子束照射下會分解或釋出高揮發性物質或氣體之材料
\r\n
\r\n
\r\n
自行操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 取得儀器使用權限說明:\r\n\t
\r\n\t\t- 白天權限申請流程說明 (使用權限為星期一至五8:00~17:00)
\r\n\t\t- 24小時申請流程說明 (需有白天權限才可申請)
\r\n\t\t- 注意事項 (務必詳讀，以免損失自身權益)
\r\n\t\t- SEM8010儀器操作規範&考核記錄表
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器開放等級及人數
\r\n\t- 有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用:\r\n\t
\r\n\t\t- 國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統 (取得序號)
\r\n\t\t- 奈米中心儀器預約系統 (使用時段預約)
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
委託操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號，再下載SEM8010委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n\t- 無國科會計畫者，請直接下載SEM8010委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n
\r\n
\r\n
收費資訊
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者依計畫付費標準計價，無國科會計畫者依非計畫付費標準計價。
\r\n\t- 請自備導電膠帶或熱感紙 (規格為K65HM)。
\r\n\t- 收費方式\r\n\t
\r\n\t\t- 自行操作：收取開機費 (樣品表面鍍膜/EDS另計)
\r\n\t\t- 委託操作：收取開機費+代工費 (樣品表面鍍膜/EDS另計)
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 費用查詢連結：https://vir.nstc.gov.tw/VI_SearchResult?item=1
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- Dual beam [focused ion beam & electron beam] System FIB\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 廠牌型號：TESCAN GAIA3
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：吳耀銓 教授\r\n\t
\r\n\t\t- 03-5712121分機 31555
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：崔秉鉞 教授\r\n\t
\r\n\t\t- 03-5712121分機 31570
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器設備管理人員：趙建允 先生\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 工程六館 213室
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 廠牌型號：TESCAN GAIA3
\r\n\t- 購置年限：2017年12月18日
\r\n\t- 放置地點：光復校區 工六館 213室 (TEL：55368)
\r\n\t- 功能：\r\n\t
\r\n\t\t- 穿透式電子顯微鏡試 in-situ及ex-situ TEM試片製備
\r\n\t\t- 奈米結構製程：奈米材料、元件之特定圖形結構之製程及觀察
\r\n\t\t- 剖面試片之製作及觀察：剖面試片切割及影像記錄
\r\n\t\t- 白金之沉積：白金鍍層及影像記錄
\r\n\t\t- 全程上異常觀察分析：固態電子元件之線路修復、切割、鍍層及影像記錄
\r\n\t\t- 晶相分析及觀察
\r\n\t\t- 本機台加裝能量散佈質譜器(EDX)，可作元素成分之定性及半定量之分析
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 重要規格：\r\n\t
\r\n\t\t- 電子源：場發射式
\r\n\t\t- 離子源：Ga液態金屬離子源
\r\n\t\t- 加速電壓：電子束—200V~30kV、離子束—500V~30kV
\r\n\t\t- 影像解析度：SEM—1.5nm at 15kV、FIB—2.5nm at 30kV
\r\n\t\t- 工作距離：5mm
\r\n\t\t- 試片規格：直徑(10mm dia ) x 高度(<0.50cm)
\r\n\t\t- 放大倍率SEM: 4x~1Mx、FIB: 150x~1Mx
\r\n\t\t- GIS、 Pt、SiO2
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器可使用之特殊製程材料
\r\n
\r\n
\r\n
注意事項
\r\n\r\n
\r\n\t- 限制使用FIB機台之材料：\r\n\t
\r\n\t\t- 磁性材料
\r\n\t\t- 全粉末等電子束照射下會分解或釋出氣體材料
\r\n\t\t- 低熔點的物質
\r\n\t\t- 合金材料含有磁性材料高於5%者
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 使用者必需詳細說明試片之製作方式，若有可能造成真空腔污染，本單位有權拒絕受理。預約者請於實驗三天前填妥申請表格(請繪製樣品及觀察位置之top view、cross-section圖，並註明各層材料及厚度)，並傳送檔案予技術人員審核。
\r\n\t- 若因試片處理不當造成機台損壞或污染，須負賠償責任。賠償費用由原廠評估並經管理委員會決議後執行。
\r\n\t- 試片直徑約10mm dia，高度小於0.5cm為較合適的尺寸，表面必須平整，不可局部起伏過大。若為特殊尺寸，應事先與管理者聯繫確認是否適合進行實驗。
\r\n\t- 半導體、導電性不佳及絕緣體試片需先鍍導電膜(金或鉑較佳)，現場無提供鍍膜處理。
\r\n\t- 請自備空白光碟片存取資料。為避免設備中毒，禁用隨身碟進行圖檔傳輸。
\r\n\t- TEM試片製作請自備銅網。每3小時一個時段製作一片，由委託者及助教共同合作，使用OM放置試片於自備銅網上。因試片材質會影響玻璃針吸附效果，若未能成功放置銅網，不另補作。
\r\n\t- 其他付費說明:\r\n\t
\r\n\t\t- 白金電極付費：鍍白金電極時間於0.1%以內不予收費。超過0.1%計價方式為每0.1%收費現金200元。請實驗後拿繳款通知單至奈米中心繳款
\r\n\t\t- EDX付費：本機台之EDX可做Mapping / Line Scan /定性及半定量分析，每小時加收貴儀600元。
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 分析測試時若發現樣品不符合規定，樣品將被退回並照其預約之時段付費。實驗之樣品請送件，以供測試使用。使用者應在場說明需分析之內容。
\r\n\t- 貴儀系統預約限制為：每位計畫主持人每月限預約二次。機台開放預約時間為每月25日上午九時，預約次月實驗。實驗時間預約後若需取消，請於五天前自行登錄貴儀系統取消，否則仍需扣款。
\r\n\t- 自行操作：每月25日上午九時起，預約次月1日~15日實驗；當月10日上午九時起，預約當月16日~月底實驗，每人每梯次限預約一次。需在2天前取消預約：於2天前取消，則不予扣款；若未於2天前取消，但該時段有人能替補使用，則不予扣款；若未於2天前取消，且該時段無人能替補使用，則需收費。
\r\n\t- 無故預約不到，自動扣該次時段；遲到超過十五分鐘，扣預約時段並取消服務。
\r\n
\r\n
\r\n
自行操作儀器
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 取得儀器使用權限說明：\r\n\t
\r\n\t\t- 申請方式
\r\n\t\t- 注意事項 (務必詳讀，以免損失自身權益)
\r\n\t\t- FIB儀器操作規範&考核內容
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器開放等級及人數。
\r\n\t- 有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用:\r\n\t
\r\n\t\t- 預約時段如遇國定假日、機台故障維護或耗材更換，時段以取消處理，不另補做。
\r\n\t\t- 國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統 (取得序號)
\r\n\t\t- 奈米中心儀器預約系統 (使用時段預約)
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
委託操作儀器
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號，再下載FIB委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n\t- 無國科會計畫者，請直接下載FIB委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n
\r\n
\r\n
收費資訊
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者依計畫付費標準計價，無國科會計畫者依非計畫付費標準計價。
\r\n\t- 請自備空白CD片
\r\n\t- 耗材現金收費（試片清汙 每次 NT$500）
\r\n\t- 費用查詢連結：https://vir.nstc.gov.tw/VI_SearchResult?item=1
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 廠牌型號：慶康科技
\r\n\t- 購置年限：1999年3月
\r\n\t- 放置地點：光復校區 固態電子系統大樓 1樓116實驗室 (TEL：55666)
\r\n\t- 功能：乾式蝕刻，以蝕刻Al材料為主
\r\n\t- 重要規格：使用氣體包含BCl3、Cl2、CF4、CHF3、Ar、O2、SF6，ICP RF最大功率900W，Bias RF最大功率300W，以He gas系統冷卻，4″ wafer為主
\r\n\t- 儀器可使用之特殊製程材料。
\r\n
\r\n
\r\n
注意事項
\r\n\r\n
\r\n\t- 請詳細說明基底晶片材質，其上含何種物質 (如SiO2、光阻等) 以及是否要清洗晶片。
\r\n\t- 蝕刻若無特別要求，一律按中心標準製程為之。
\r\n
\r\n
\r\n
自行操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 取得儀器使用權限說明：\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器開放等級及人數。
\r\n\t- 有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用：\r\n\t
\r\n\t\t- 國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統 (取得序號)
\r\n\t\t- 奈米中心儀器預約系統 (使用時段預約)
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
委託操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號，再下載HDP-RIE委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n\t- 無國科會計畫者，請直接下載HDP-RIE委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n
\r\n
\r\n
收費資訊
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者依計畫付費標準計價，無國科會計畫者依非計畫付費標準計價。
\r\n\t- 收費方式\r\n\t
\r\n\t\t- 自行操作：收取使用費
\r\n\t\t- 委託操作：收取使用費+代工費
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 費用查詢連結：https://vir.nstc.gov.tw/VI_SearchResult?item=1
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- Si Deep-RIE\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 廠牌型號：Oxford Estrelas 100
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：陳冠能 教授\r\n\t
\r\n\t\t- 03-5712121分機 31558
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器設備管理人員：胡進章 先生\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器設備管理人員：李正維 先生\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 固態電子系統大樓 1樓116實驗室
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 廠牌型號：日本SamCo公司製造 RIE200L
\r\n\t- 購置年限：2002年12月1日
\r\n\t- 放置地點：光復校區 固態電子系統大樓 1樓116實驗室 (TEL：55666)
\r\n\t- 功能：蝕刻二氧化矽、氮化矽等材料
\r\n\t- 重要規格：RF產生器最大可輸出300W，頻率13.56MHz，本蝕刻系統可通入CF4、O2、SF6、CHF3等氣體蝕刻二氧化矽、氮化矽等材料。
\r\n\t- 儀器可使用之特殊製程材料。
\r\n
\r\n
\r\n
注意事項
\r\n\r\n
\r\n\t- 請詳細說明基底晶片材質，其上含何種物質(如SiO2、光阻等)以及蝕刻後是否要去光阻(需另填寫Wet Bench申請表)。
\r\n\t- 矽深蝕刻樣品準備請依照試片規定。
\r\n
\r\n
\r\n
自行操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 取得儀器使用權限說明：\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器開放等級及人數。
\r\n\t- 有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用：\r\n\t
\r\n\t\t- 國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統 (取得序號)
\r\n\t\t- 奈米中心儀器預約系統 (使用時段預約)
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
委託操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號，再下載Si Deep-RIE委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n\t- 無國科會計畫者，請直接下載Si Deep-RIE委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n
\r\n
\r\n
收費資訊
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者依計畫付費標準計價，無國科會計畫者依非計畫付費標準計價。
\r\n\t- 收費方式\r\n\t
\r\n\t\t- 自行操作：收取使用費
\r\n\t\t- 委託操作：收取使用費+代工費
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 費用查詢連結：https://vir.nstc.gov.tw/VI_SearchResult?item=1
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- Shallow Si RIE\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 廠牌型號：Gigalane Maxis 200L
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：陳冠能 教授\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器設備管理人員：胡進章 先生\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器設備管理人員：李正維 先生\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 固態電子系統大樓 1樓127實驗室
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 廠牌型號：Gigalane Maxis 200L
\r\n\t- 購置年限：2022年01月
\r\n\t- 放置地點：光復校區 固態電子系統大樓 1樓127實驗室 (TEL：55616)
\r\n\t- 功能：乾式蝕刻，高選擇比矽淺層蝕刻(Si/SiO2)
\r\n\t- 重要規格：使用氣體包含HBr、Cl2、CF4、Ar、O2，以He gas系統冷卻，4″ wafer為主
\r\n\t- 儀器可使用之特殊製程材料
\r\n
\r\n
\r\n
注意事項
\r\n\r\n
\r\n\t- 請詳細說明基底晶片材質，其上含何種物質（如SiO2、光阻等）以及蝕刻後是否要去光阻（需另填寫Wet Bench申請表）。
\r\n\t- 限前段晶片。
\r\n
\r\n
\r\n
自行操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 取得儀器使用權限說明：\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器開放等級及人數。
\r\n\t- 有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用：\r\n\t
\r\n\t\t- 國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統 (取得序號)
\r\n\t\t- 奈米中心儀器預約系統 (使用時段預約)
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
委託操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號，再下載RIE委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至奈米中心（本校固態電子系統大樓2F）給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n\t- 無國科會計畫者，請直接下載RIE委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至奈米中心（本校固態電子系統大樓2F）給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n
\r\n
\r\n
收費資訊
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者依計畫付費標準計價，無國科會計畫者依非計畫付費標準計價。
\r\n\t- 收費方式\r\n\t
\r\n\t\t- 自行操作：收取使用費
\r\n\t\t- 委託操作：收取使用費+代工費
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 費用查詢連結：https://vir.nstc.gov.tw/VI_SearchResult?item=1
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- Thermal Evaporation Coater\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 廠牌型號：日本ULVAC EBX-6D
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：鄭裕庭 教授\r\n\t
\r\n\t\t- 03-5712121分機 54169
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器諮詢與操作服務：鄭鴻霖 先生\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 固態電子系統大樓 3 樓實驗室
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 廠牌型號：日本ULVAC EBX-6D
\r\n\t- 購置年限：1995年1月
\r\n\t- 放置地點：光復校區 固態電子系統大樓 3 樓實驗室 (TEL：55608)
\r\n\t- 功能：薄膜蒸鍍(主要用於鋁金屬之蒸鍍)
\r\n\t- 重要規格：\r\n\t
\r\n\t\t- 抽氣系統：RP+擴散幫浦，最低壓力2.0E–6 Torr
\r\n\t\t- 基板大小：4吋晶片8片 或 6吋晶片5片
\r\n\t\t- 鍍膜均勻性：±5%以內 (4吋基板)
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器可使用之特殊製程材料。
\r\n
\r\n
\r\n
自行操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 取得儀器使用權限說明：\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器開放等級及人數。
\r\n\t- 有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用：\r\n\t
\r\n\t\t- 國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統 (取得序號)
\r\n\t\t- 奈米中心儀器預約系統 (使用時段預約)
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
委託操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號，再下載Thermal Coater委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n\t- 無國科會計畫者，請直接下載Thermal Coater委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n
\r\n
\r\n
收費資訊
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者依計畫付費標準計價，無國科會計畫者依非計畫付費標準計價。
\r\n\t- 材料費另計 (依鍍膜厚度及材料之不同需要) 4吋8片 6吋5片。
\r\n\t- 不可鍍銅(Cu)、金(Au)等污染性材料。
\r\n\t- 收費方式：\r\n\t
\r\n\t\t- 自行操作：收取開機費+材料費
\r\n\t\t- 委託操作：收取開機費+材料費+代工費
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 費用查詢連結：https://vir.nstc.gov.tw/VI_SearchResult?item=1
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- Dual E-Gun Evaporation System A\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 廠牌型號：日本ULVAC EBX-10C
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：鄭裕庭 教授\r\n\t
\r\n\t\t- 03-5712121分機 54169
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器諮詢與操作服務：鄭鴻霖 先生\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 固態電子系統大樓 3 樓實驗室
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 廠牌型號：日本ULVAC EBX-10C
\r\n\t- 購置年限：1993年5月
\r\n\t- 放置地點：光復校區 固態電子系統大樓 3 樓實驗室 (TEL：55608)
\r\n\t- 功能：可用於多層薄膜蒸鍍（限半導體製程常用之材料）
\r\n\t- 重要規格：\r\n\t
\r\n\t\t- (1).EB gun Model EGK-3M*2.5kw EB power 2台
\r\n\t\t- (2).抽氣系統：RP + Cryo pump U-10 pu(2300 L/S N2)，最低壓力2*10¯6Torr
\r\n\t\t- (3).基板大小：4吋晶片18片或 6吋晶片3片+ 4吋6片
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器可使用之特殊製程材料。
\r\n
\r\n
\r\n
自行操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 取得儀器使用權限說明：\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器開放等級及人數。
\r\n\t- 有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用：\r\n\t
\r\n\t\t- 國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統 (取得序號)
\r\n\t\t- 奈米中心儀器預約系統 (使用時段預約)
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
委託操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號，再下載E-Gun (A)委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n\t- 無國科會計畫者，請直接下載E-Gun (A)委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n
\r\n
\r\n
收費資訊
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者依計畫付費標準計價，無國科會計畫者依非計畫付費標準計價。
\r\n\t- 材料費另計\r\n\t
\r\n\t\t- 一次滿載可放置4吋或3吋晶片18片，或6吋3片加4吋或3吋6片。
\r\n\t\t- 自備 Pt 請準備純度 99.99% 之顆粒，全新適用ULVAC機台用3cc之石墨坩鍋，至少填九成滿。自備材料者，因操作過程所造成任何之坩鍋及材料的損耗，本中心不予負責。
\r\n\t\t- Pt 每RUN厚度上限50nm 。
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 收費方式：\r\n\t
\r\n\t\t- 自行操作：收取開機費+材料費
\r\n\t\t- 委託操作：收取開機費+材料費+代工費
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 費用查詢連結：https://vir.nstc.gov.tw/VI_SearchResult?item=1
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- Dual E-Gun Evaporation System B\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 廠牌型號：日本ULVAC EBX-10C
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：鄭裕庭 教授\r\n\t
\r\n\t\t- 03-5712121分機 54169
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器諮詢與操作服務： 鄭鴻霖 先生\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 固態電子系統大樓 3 樓實驗室
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 廠牌型號：日本ULVAC EBX-10C
\r\n\t- 購置年限：1993年5月
\r\n\t- 放置地點：光復校區 固態電子系統大樓 3 樓實驗室 (TEL：55608)
\r\n\t- 功能：薄膜蒸鍍 (限半導體製程常用之材料)
\r\n\t- 重要規格：\r\n\t
\r\n\t\t- EB gun Model EGL-35M * 5kw EB power
\r\n\t\t- Cryo pump U-10 pu (2300 L/S N2)，最低壓力3.0E-7 Torr
\r\n\t\t- 基板大小：4″、6″
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器可使用之特殊製程材料。
\r\n
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\r\n
自行操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 取得儀器使用權限說明：\r\n\t
\r\n\t\t- 白天權限申請流程說明 (使用權限為星期一至五8:00~17:00)
\r\n\t\t- 24小時申請流程說明 (需有白天權限才可申請)
\r\n\t\t- 注意事項 (務必詳讀，以免損失自身權益)
\r\n\t\t- E-Gun (B)儀器操作規範&考核記錄表
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器開放等級及人數。
\r\n\t- 有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用：\r\n\t
\r\n\t\t- 國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統 (取得序號)
\r\n\t\t- 奈米中心儀器預約系統 (使用時段預約)
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
委託操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號，再下載 E-Gun (B)委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n\t- 無國科會計畫者，請直接下載 E-Gun (B)委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n
\r\n
\r\n
收費資訊
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者依計畫付費標準計價，無國科會計畫者依非計畫付費標準計價。
\r\n\t- 材料費另計：一次滿載可放置4吋晶片18片，或6吋9片。
\r\n\t- 收費方式：\r\n\t
\r\n\t\t- 自行操作：收取開機費+材料費
\r\n\t\t- 委託操作：收取開機費+材料費+代工費
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 費用查詢連結：https://vir.nstc.gov.tw/VI_SearchResult?item=1
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- High Vacuum Deposition System\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 廠牌型號：高敦科技 KD-Cluster
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：鄭裕庭 教授\r\n\t
\r\n\t\t- 03-5712121分機 54169
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器設備管理人員：黃國華 先生\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 固態電子系統大樓 3 樓實驗室
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 廠牌型號：高敦科技 KD-Cluster
\r\n\t- 購置年限：2018年11月
\r\n\t- 放置地點：光復校區 固態電子系統大樓 3 樓實驗室 (TEL：55608)
\r\n\t- 功能：多層薄膜濺鍍、蒸鍍
\r\n\t- 重要規格：\r\n\t
\r\n\t\t- (1).高真空樣品取放系統。(樣品表面可電漿清洗)
\r\n\t\t- (2).高真空樣品傳送系統。(最大可傳送6吋樣品座)
\r\n\t\t- (3).高真空電子束蒸鍍系統。(含電子束蒸鍍源 6kw兩組、高壓電源供應器 6kw兩台、X-Y電子束掃描控制器兩台。)
\r\n\t\t- (4).高真空濺鍍系統。(含DC Power 2 kw一台與RF Power 1 kw一台。)
\r\n\t\t- (5).可同時放置三組 Holder，每組Holder分別可放置6吋、4吋、3吋、2吋wafer或破片夾持盤。
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器可使用之特殊製程材料
\r\n
\r\n
\r\n
自行操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 取得儀器使用權限說明：\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器開放等級及人數。
\r\n\t- 有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用：\r\n\t
\r\n\t\t- 國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統 (取得序號)
\r\n\t\t- 奈米中心儀器預約系統 (使用時段預約)
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
委託操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號，再下載 HVD System 委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n\t- 無國科會計畫者，請直接下載 HVD System 委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n
\r\n
\r\n
收費資訊
\r\n\r\n
\r\n\t- 貴儀核可項目，有貴儀帳號者請上網預約，無貴儀帳號者請現金付費。
\r\n\t- 材料費另計，每次滿載 可放置 6吋、4吋、3吋或2吋晶片，共 3片。
\r\n\t- 收費方式\r\n\t
\r\n\t\t- 自行操作：收取開機費+材料費
\r\n\t\t- 委託操作：收取開機費+材料費+代工費
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 費用如下表 ※貴重金屬之時價以國際現貨價格為參考訂定。
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\t計畫定價\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t| | \r\n\t\t\t學校單位 | \r\n\t\t\t研究單位 | \r\n\t\t\t營利事業單位 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 代工費 (NTD/次) | \r\n\t\t\t900 | \r\n\t\t\t900 | \r\n\t\t\t900 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 開機費 (NTD/次) | \r\n\t\t\t750 | \r\n\t\t\t1100 | \r\n\t\t\t1100 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| Sputter材料費 (NTD/KA) | \r\n\t\t\tTi=140 / Ni=170 / Ta=220 / Al=85 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| E-Gun材料費 (NTD/KA) | \r\n\t\t\tGe=70 / Ti=70 / Mo=60 / Ta=100 / Co=60 / W=60 / Ni=50 / Cr=70 / Si=50 / Pt=時價 / Pd=時價 | \r\n\t\t
\r\n\t\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\t非計畫定價\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t| | \r\n\t\t\t學校單位 | \r\n\t\t\t研究單位 | \r\n\t\t\t營利事業單位 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 代工費 (NTD/次) | \r\n\t\t\t900 | \r\n\t\t\t900 | \r\n\t\t\t900 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 開機費 (NTD/次) | \r\n\t\t\t1500 | \r\n\t\t\t11000 | \r\n\t\t\t11000 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| Sputter材料費 (NTD/KA) | \r\n\t\t\tTi=280 / Ni=340 / Ta=440 / Al=170 | \r\n\t\t\tTi=1400 / Ni=1700 / Ta=2200 / Al=850 | \r\n\t\t\tTi=1400 / Ni=1700 / Ta=2200 / Al=850 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| E-Gun材料費 (NTD/KA) | \r\n\t\t\tGe=140 / Ti=140 / Mo=120 / Ta=200 / Co=120 / W=120 / Ni=100 / Cr=140 / Si=100 / Pt=時價 / Pd=時價 | \r\n\t\t\tGe=700 / Ti=700 / Mo=600 / Ta=1000 / Co=600 / W=600 / Ni=500 / Cr=700 / Si=500 / Pt=時價 / Pd=時價 | \r\n\t\t\tGe=700 / Ti=700 / Mo=600 / Ta=1000 / Co=600 / W=600 / Ni=500 / Cr=700 / Si=500 / Pt=時價 / Pd=時價 | \r\n\t\t
\r\n\t\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- Sputtering System A\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 廠牌型號：英國 Ion Tech Microvac 450CB
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：鄭裕庭 教授\r\n\t
\r\n\t\t- 03-5712121分機 54169
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器設備管理人員：黃國華 先生\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 固態電子系統大樓 3 樓實驗室
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 廠牌型號：英國 Ion Tech Microvac 450CB
\r\n\t- 購置年限：1991年4月
\r\n\t- 放置地點：光復校區 固態電子系統大樓 3 樓實驗室 (TEL：55608)
\r\n\t- 功能：薄膜濺鍍
\r\n\t- 重要規格\r\n\t
\r\n\t\t- (1) 3支4吋濺鍍陰極
\r\n\t\t- (2) POWER: DC 1500W*2台與RF:600W*1台
\r\n\t\t- (3) 可放4吋晶片6片 或 6吋晶片3片
\r\n\t\t- (4) 氣體：MFC for Ar, O2，N2
\r\n\t\t- (5) 抽氣系統：RP + Cryo Pump
\r\n\t\t- (6) 可鍍多層膜
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器可使用之特殊製程材料
\r\n
\r\n
\r\n
自行操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 取得儀器使用權限說明：\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器開放等級及人數。
\r\n\t- 有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用：\r\n\t
\r\n\t\t- 國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統 (取得序號)
\r\n\t\t- 奈米中心儀器預約系統 (使用時段預約)
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
委託操作儀器:
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號，再下載Sputter 委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n\t- 無國科會計畫者，請直接下載Sputter 委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n
\r\n
\r\n
收費資訊
\r\n\r\n
\r\n\t- 貴儀核可項目，有貴儀帳號者請上網預約，無貴儀帳號者請現金付費。
\r\n\t- 材料費另計:\r\n\t
\r\n\t\t- 貴重金屬Pt每run厚度上限50nm。
\r\n\t\t- 可擺4吋或3吋晶片6片，6吋3片。
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 收費方式\r\n\t
\r\n\t\t- 自行操作：收取開機費+材料費
\r\n\t\t- 委託操作：收取開機費+材料費+代工費
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 費用如下表 ※貴重金屬之時價以國際現貨價格為參考訂定。
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\t\r\n\t\r\n\t計畫定價\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t| | \r\n\t\t\t學校單位 | \r\n\t\t\t研究單位 | \r\n\t\t\t營利事業單位 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 代工費 (NTD/次) | \r\n\t\t\t900 | \r\n\t\t\t900 | \r\n\t\t\t900 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 開機費 (NTD/次) | \r\n\t\t\t600 | \r\n\t\t\t900 | \r\n\t\t\t900 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 材料費 (NTD/KA) | \r\n\t\t\tAl=85 / Co=90 / Cr=110 / Cu=70 / Fe=70 / Mg=110 / Mo=70 / Ni=170 / Ta=220 / Ti=140 / TiW=200 / W=110 / TaSi2=220 / W5Si=110 / Pt=時價 / Pd=時價 | \r\n\t\t
\r\n\t\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\t\r\n\t\r\n\t非計畫定價\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t| | \r\n\t\t\t學校單位 | \r\n\t\t\t研究單位 | \r\n\t\t\t營利事業單位 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 代工費 (NTD/次) | \r\n\t\t\t900 | \r\n\t\t\t900 | \r\n\t\t\t900 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 開機費 (NTD/次) | \r\n\t\t\t1200 | \r\n\t\t\t9000 | \r\n\t\t\t9000 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 材料費 (NTD/KA) | \r\n\t\t\t(學校單位):Al=170 / Co=180 / Cr=220 / Cu=140 / Fe=140 / Mg=220 / Mo=140 / Ni=340 / Ta=440 / Ti=280 / TiW=400 / W=220 / TaSi2=440 / W5Si=220 / Pt=時價 / Pd=時價(研究/營利事業單位):Al=850 / Co=900 / Cr=1100 / Cu=700 / Fe=700 / Mg=1100 / Mo=700 / Ni=1700 / Ta=2200 / Ti=1400 / TiW=2000 / W=1100 / TaSi2=2200 / W5Si=1100 / Pt=時價 / Pd=時價 | \r\n\t\t
\r\n\t\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- Sputtering System B\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 廠牌型號：高敦科技股份有限公司
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：鄭裕庭 教授\r\n\t
\r\n\t\t- 03-5712121分機 54169
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器設備管理人員：黃國華 先生\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 固態電子系統大樓 3 樓實驗室
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 廠牌型號：高敦科技股份有限公司
\r\n\t- 購置年限：2009年4月
\r\n\t- 放置地點：光復校區 固態電子系統大樓 3 樓實驗室 (TEL：55608)
\r\n\t- 功能：薄膜濺鍍
\r\n\t- 重要規格：\r\n\t
\r\n\t\t- 人機界面
\r\n\t\t- 3支6吋濺鍍陰極
\r\n\t\t- 可放6片WAFER(6吋or4吋皆可，可自行分配，共6片)
\r\n\t\t- POWER：DC:2500W*2台與RF:1000W*1台
\r\n\t\t- 氣體：MFC for Ar、N2與O2
\r\n\t\t- 抽氣系統：RP + Cryo Pump
\r\n\t\t- 可鍍多層膜
\r\n\t\t- 基板載台轉速0~30rpm，可調控
\r\n\t\t- 可升溫至300℃
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器可使用之特殊製程材料
\r\n
\r\n
\r\n
自行操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 取得儀器使用權限說明：\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器開放等級及人數。
\r\n\t- 有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用：\r\n\t
\r\n\t\t- 國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統 (取得序號)
\r\n\t\t- 奈米中心儀器預約系統 (使用時段預約)
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
委託操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號，再下載 Sputter 委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n\t- 無國科會計畫者，請直接下載 Sputter 委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n
\r\n
\r\n
收費資訊
\r\n\r\n
\r\n\t- 貴儀核可項目，有貴儀帳號者請上網預約，無貴儀帳號者請現金付費。
\r\n\t- 可擺4吋或6吋晶片共6片。
\r\n\t- 收費方式\r\n\t
\r\n\t\t- 自行操作：收取開機費+材料費
\r\n\t\t- 委託操作：收取開機費+材料費+代工費
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 費用如下表 ※貴重金屬之時價以國際現貨價格為參考訂定。
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\t\r\n\t\r\n\t計畫定價\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t| | \r\n\t\t\t學校單位 | \r\n\t\t\t研究單位 | \r\n\t\t\t營利事業單位 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 代工費 (NTD/次) | \r\n\t\t\t900 | \r\n\t\t\t900 | \r\n\t\t\t900 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 開機費 (NTD/次) | \r\n\t\t\t750 | \r\n\t\t\t1100 | \r\n\t\t\t1100 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 材料費 (NTD/KA) | \r\n\t\t\t Ti=140 / Ni=280 / Ta=550 / Hf=940 | \r\n\t\t
\r\n\t\r\n
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\r\n
\r\n\t\r\n\t\r\n\t非計畫定價\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t| | \r\n\t\t\t學校單位 | \r\n\t\t\t研究單位 | \r\n\t\t\t營利事業單位 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 代工費 (NTD/次) | \r\n\t\t\t900 | \r\n\t\t\t900 | \r\n\t\t\t900 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 開機費 (NTD/次) | \r\n\t\t\t1200 | \r\n\t\t\t9000 | \r\n\t\t\t9000 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 材料費 (NTD/KA) | \r\n\t\t\t(學校單位): Ti=280 / Ni=560 / Ta=1100 / Hf=1880(研究/營利事業單位): Ti=1400 / Ni=2800 / Ta=5500 / Hf=9400 | \r\n\t\t
\r\n\t\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 廠牌型號：Veeco Fiji-G2
\r\n\t- 購置年度：2023年
\r\n\t- 放置地點：光復校區 固態電子系統大樓 1樓 A122 實驗室 (TEL：55616)
\r\n\t- 功能：沉積Al2O3、HfO2、TiN、ZrO2、TiO2薄膜
\r\n\t- 重要規格：\r\n\t
\r\n\t\t- 可使用晶圓尺寸：破片至8吋
\r\n\t\t- 雙腔體：Chamber A－前段介電層薄膜沉積，Chamber B－後段介電層和金屬薄膜沉積
\r\n\t\t- 可進行熱沉積(thermal deposition)及電漿輔助沉積(plasma-enhanced deposition)
\r\n\t\t- 使用氣體：Ar、N2、O2、NH3、H2、CF4
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器可使用之特殊製程材料
\r\n
\r\n
\r\n
注意事項
\r\n\r\n
1.使用Chamber A之試片不得含有金屬薄膜或經過後段製程，並且沉積前須先進RCA clean。
\r\n2.請詳細說明基板晶片材質及其上含何種物質。
\r\n3.Chamber A可進基板材質：Si、Ge。
\r\n4.每件委託代工申請單以3個run或6個小時製程時間為限。
\r\n
\r\n
自行操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 取得儀器使用權限說明：\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器開放等級及人數。
\r\n\t- 有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用：\r\n\t
\r\n\t\t- 國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統 (取得序號)
\r\n\t\t- 奈米中心儀器預約系統 (使用時段預約)
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
委託操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號，再下載 ALD委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n\t- 無國科會計畫者，請直接下載 ALD委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n
\r\n
\r\n
收費資訊
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者依計畫付費標準計價，無國科會計畫者依非計畫付費標準計價。
\r\n\t- 不足一小時以一小時計算。
\r\n\t- Clean之費用詳見Wet_Bench收費表。
\r\n\t- 收費方式：\r\n\t
\r\n\t\t- 自行操作：收取製作費+材料費
\r\n\t\t- 委託操作：收取製作費+材料費+代工費
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 費用查詢連結：https://vir.nstc.gov.tw/VI_SearchResult?item=1
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- Vacuum Rapid Thermal Processing System (RTP)\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 廠牌型號：UNITEMP RTP-200
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：蘇俊榮 教授\r\n\t
\r\n\t\t- 03-5712121分機 55602、56150
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器諮詢與操作服務：倪月珍 小姐\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 固態電子系統大樓 1樓 129 實驗室
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 廠牌型號：UNITEMP RTP-200
\r\n\t- 購置年度：2026年3月
\r\n\t- 放置地點：光復校區 固態電子系統大樓 1樓129 實驗室 (TEL：55616)
\r\n\t- 功能：\r\n\t
\r\n\t\t- 本設備有兩個製程腔體，依應用分為前段腔體與後段腔體。
\r\n\t\t- 離子佈植後退火、快速熱氧化 (RTO)、快速熱氮化 (RTN)、薄膜緻密化、矽化物形成 (Silicide)、金屬燒結與介面改質 (Sintering)。沉積Al2O3、HfO2、TiN、ZrO2、TiO2薄膜
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 重要規格：\r\n\t
\r\n\t\t- 樣品尺寸：破片至8吋晶圓。
\r\n\t\t- 加熱能力：快速紅外線燈管加熱，溫度範圍RT~1100℃。
\r\n\t\t- 升溫速率與最高溫度限制：使用載盤，最大升溫速率為40℃/秒 (RT至800℃)，最高溫度1100℃。直接使用8吋晶片，最大升溫速率為100℃/秒 (RT至1000℃)，最高溫度1000℃。
\r\n\t\t- 持溫限制 :\r\n\t\t
\r\n\t\t\t- 1000~1100℃ ，不可超過30sec。
\r\n\t\t\t- 600~999 ℃，不可超過120sec。
\r\n\t\t\t- 600℃以下 ，不可超過600sec。
\r\n\t\t
\r\n\t\t \r\n\t\t- 可通入氣體 : N2、Ar、O2、NH3、5%H2/N2。
\r\n\t\t- 溫度均勻性(溫度標準變異值) ≦1.5%。
\r\n\t\t- 測溫元件 : N-type Thermocouple (熱電偶)。
\r\n\t\t- 僅使用乾式幫浦，極限壓力可達10-3 hpa。同時啟用乾式幫浦及分子渦輪幫浦，極限壓力可達10-6 hpa。
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器可使用之特殊製程材料
\r\n
\r\n
\r\n
注意事項
\r\n\r\n
1. 本設備需通過考核後使用。
\r\n2. 基板與材料限制：
\r\n\r\n
(1). 前段腔體(A)限使用Si、Ge、SiC基板。。
\r\n\r\n
(2). 前段腔體(B)限使用Si、Ge、SiC、Sapphire基板。
\r\n\r\n
(3). 進前段腔體之試片上不得有金屬及高分子材料或經過後段製程，並須先進行RCA clean。
\r\n\r\n
(4). 前段與後段之試片上均不得有Au、Ag、Cu、Fe及高分子材料。
\r\n
\r\n
自行操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 需已擁有Wet Bench使用權限才可申使用請快速退火系統。
\r\n\t- 取得儀器使用權限說明:\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器開放等級及人數。
\r\n\t- 有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約登記使用。\r\n\t
\r\n\t\t- 國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統(取得序號)
\r\n\t\t- 奈米中心儀器預約系統 (使用時段預約)
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
委託操作儀器
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號，再下載 RTP委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n\t- 無國科會計畫者，請直接下載 RTP委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
\r\n
\r\n
\r\n
收費資訊
\r\n\r\n
\r\n\t- 有國科會計畫者依計畫付費標準計價，無國科會計畫者依非計畫付費標準計價。
\r\n\t- 收費方式：\r\n\t
\r\n\t\t- 自行操作：收取開機費+使用費+抽真空費
\r\n\t\t- 委託操作：收取開機費+使用費+抽真空費+代工費
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 費用如下表：
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\t收費標準(單位：元)\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 項目 | \r\n\t\t\t計畫預約 | \r\n\t\t\t非計畫預約 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 學校單位 | \r\n\t\t\t研究單位 | \r\n\t\t\t營利事業單位 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 代工費 (元/次) | \r\n\t\t\t900 | \r\n\t\t\t900 | \r\n\t\t\t900 | \r\n\t\t\t900 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 開機費 (元/次) | \r\n\t\t\t200 | \r\n\t\t\t200 | \r\n\t\t\t1000 | \r\n\t\t\t2000 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 使用費 (元/分) | \r\n\t\t\t5 | \r\n\t\t\t10 | \r\n\t\t\t30 | \r\n\t\t\t50 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 抽真空費 (元/次) | \r\n\t\t\t200 | \r\n\t\t\t200 | \r\n\t\t\t200 | \r\n\t\t\t200 | \r\n\t\t
\r\n\t\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- NMR500\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 廠牌型號：JEOL ECZ500R/S1
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：劉學儒 教授\r\n\t
\r\n\t\t- 03-5712121分機 56547
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器設備管理人員：鄭祐松 先生\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 科學二館102B室
\r\n
\r\n
\r\n
儀器介紹
\r\n本儀器為液態核磁共振光譜儀，配備超導磁鐵磁場為11.74 Tesla（500 MHz）。
\r\n為液態雙共振系統。探頭高頻可切換single tune或dual tune，可執行1H{19F}、19F{1H}及X{1H, 19F}。
\r\n低頻除13C外，可量測範圍為31P~15N、39K、109Ag。
\r\n可配合變溫偵測各種實驗。
\r\n
\r\n儀器廠牌、型號、購置年限
\r\n廠牌：日本JEOL
\r\n型號：ECZ500R/S1
\r\n購置年限：2021.12
\r\n
\r\n重要規格
\r\n\r\n
\r\n\t- 磁場：11.74 Tesla (氫核共振頻率為500MHz)
\r\n\t- 探頭：5mm HFX probe
\r\n\t- 高低溫變溫系統裝置：容許溫度範圍為-100~+150℃
\r\n\t- 64槽自動進樣系統(64 slots auto sample changer)
\r\n\t- Delta NMR數據處理軟體
\r\n
\r\n
\r\n
申請方式：
\r\n請從國科會∕相關連結∕基礎研究核心設施預約服務管理系統，登入使用者帳號密碼預約
\r\n
\r\n服務項目：
\r\n樣品準備須知：將樣品待測物以合適氘化溶劑（D-solvent）完全溶解後，配置於專用5mm NMR管，高度在4~5公分。
\r\n\r\n
\r\n\t- 一維同核實驗：1H、1D-NOE、homo-decouple。
\r\n\t- 一維異核實驗：31P~15N、39K、109Ag（13C）等對1H、19F執行decouple實驗。
\r\n\t- 二維實驗：COSY、NOESY、ROESY、HSQC、HMBC、TOCSY等
\r\n\t- 其他實驗：DOSY、1H-19F HOESY、動力學實驗
\r\n\t- 變溫實驗：-100~+150℃的溫度範圍內的定溫或變溫實驗
\r\n
\r\n
\r\n
系統開放等級
\r\n\r\n
\r\n\t- 一般上班時段：(待定)
\r\n\t- 夜間及假日時段：(待定)
\r\n
\r\n\r\n
系統開放等級說明\r\n\r\n
\r\n\t- A級：開放給需要使用之學生，經訓練考核後可自行操作。
\r\n\t- B級：每位教授指派一位學生申請訓練，該教授之其他學生需由接受訓練的學生代為操作，若有教授使用該儀器之學生過多者，可向儀器負責人申請增加接受訓練學生人數。
\r\n\t- C級：由儀器負責人選定教授推薦之學生若干人接受訓練，經考核後可自行操作儀器並得負責委託服務工作。
\r\n\t- D級：由本實驗室之技術人員接受委託服務，不開放使用。
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\t收費標準（單位：NTD）\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 113年度收費標準 | \r\n\t\t\t計畫預約 | \r\n\t\t\t非計畫預約 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t基本實驗
\r\n\t\t\t氫譜實驗
\r\n\t\t\t碳譜實驗
\r\n\t\t\t無氘氫譜實驗 | \r\n\t\t\t$120 /0.5時
\r\n\t\t\t$60 /件
\r\n\t\t\t$120 /時
\r\n\t\t\t$120/0.5時 | \r\n\t\t\t$300 /0.5時
\r\n\t\t\t$300 /件
\r\n\t\t\t$300 /時
\r\n\t\t\t$600/0.5時 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 異核實驗 | \r\n\t\t\t$200 /時 | \r\n\t\t\t$500 /時 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t夜間及假日實驗
\r\n\t\t\t（預約以15小時計算） | \r\n\t\t\t$60 /時 | \r\n\t\t\t$200 /時 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\tDOSY/T1/T2 實驗基本費
\r\n\t\t\t(第1小時，未滿1小時以1小時計) | \r\n\t\t\t$500 /時 | \r\n\t\t\t$2000 /時 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\tDOSY/T1/T2 實驗
\r\n\t\t\t(第2小時起收費) | \r\n\t\t\t$200 /時 | \r\n\t\t\t$500 /時 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 二維實驗 | \r\n\t\t\t$200 /時 | \r\n\t\t\t$500 /時 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 二維無氘實驗 | \r\n\t\t\t$400 /時 | \r\n\t\t\t$1000 /時 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 一維圖譜處理費 | \r\n\t\t\t$20 /時 | \r\n\t\t\t$50/時 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 二維圖譜處理費 | \r\n\t\t\t$40 /時 | \r\n\t\t\t$100 /時 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 變溫使用費 | \r\n\t\t\t$400 /件 | \r\n\t\t\t$400 /件 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 樣品配置費 | \r\n\t\t\t$300 /件 | \r\n\t\t\t$300 /件 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 液態氮 | \r\n\t\t\t$25/單位 | \r\n\t\t\t$25/單位 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 溶劑費 | \r\n\t\t\t$100/單位 | \r\n\t\t\t$100/單位 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 郵費 | \r\n\t\t\t$100/單位 | \r\n\t\t\t$100/單位 | \r\n\t\t
\r\n\t\r\n
\r\n
\r\n備註：變溫實驗等特殊需求實驗，請預先洽詢價格再行預約。
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- NMR600\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 廠牌型號：VARIAN VNMRS-600 NMR SPECTROMETER
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：吳彥谷 教授\r\n\t
\r\n\t\t- 03-5712121分機 56505
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器諮詢與操作服務：沈瑮卿 小姐\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 科學二館102C室
\r\n
\r\n
\r\n
儀器廠牌、型號、購置年限
\r\n廠牌：美國 VARIAN
\r\n型號：VNMRS-600
\r\n購置年限：2011年6月
\r\n
\r\n重要規格
\r\n液態核磁共振光譜，配備磁場強度 14.09 Tesla 之超導磁鐵（600 MHz）
\r\n
\r\n
服務項目
\r\n\r\n
\r\n\t- 本儀器配有低溫恆溫系統（最低可至 -20 °C），適合長時間之一維、二維低溫實驗。
\r\n\t- 變溫實驗 (-80 °C ~ 100 °C)。
\r\n\t- DOSY光譜。
\r\n\t- 本儀器之特殊技術：請參考連結檔案
\r\n
\r\n\r\n
附註：每週三進行變溫實驗，請事先電話聯絡預約(03-5712121轉56510沈瑮卿小姐)
\r\n
\r\n
系統開放等級
\r\n\r\n
\r\n\t- 一般上班時段：D
\r\n\t- 夜間及假日時段：C
\r\n
\r\n\r\n
系統開放等級說明
\r\n\r\n
\r\n\t- A級：開放給需要使用之學生，經訓練考核後可自行操作。
\r\n\t- B級：每位教授指派一位學生申請訓練，該教授之其他學生需由接受訓練的學生代為操作，若有教授使用該儀器之學生過多者，可向儀器負責人申請增加接受訓練學生人數。
\r\n\t- C級：由儀器負責人選定教授推薦之學生若干人接受訓練，經考核後可自行操作儀器並得負責委託服務工作。
\r\n\t- D級：由本實驗室之技術人員接受委託服務，不開放使用。
\r\n
\r\n
\r\n
管理辦法及使用辦法：
\r\n\r\n
\r\n\t- 本儀器的使用需透過【國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統】登錄預約，取得電子預約序號始接受預約。
\r\n\t- 儀器開放服務包括自行操作與委託操作
\r\n
\r\n\r\n
自行操作申請程序：
\r\n\r\n
\r\n\t- 僅開放本校應用化學系。
\r\n\t- 使用者需先提出申請，通過上機考核者需簽署【國立陽明交通大學貴儀中心600 MHz NMR系統使用切結書】，使具預約資格。
\r\n
\r\n\r\n
委託操作申請程序：
\r\n\r\n
\r\n\t- a.上網預約送單後才具使用資格
\r\n\t- b.樣品測試順序採【先送單先測試】之方式，如需趕件必須等待技術員與先送單使用者協調，如該使用者不同意，恕無法提供趕件服務。
\r\n\t- 委託代測樣品送取件可採郵寄方式辦理，實驗完成後提供圖譜紙本與電子檔。
\r\n\t- 樣品配製最佳濃度100mM(碳譜可於1小時完成)。
\r\n\t- 本儀器室不提供圖譜解析服務。
\r\n\t- 本儀器室提供的圖譜，不得作為商業廣告、法律訴訟及認證之用。
\r\n
\r\n
\r\n
收費標準
\r\n上班時段：係指平日上午八時至下午五時。
\r\n夜間時段：係指平日下午五時至隔日上午八時。
\r\n\r\n
\r\n\t- 國科會計畫預約\r\n\t
\r\n\t\t- 基本實驗(協助進行特殊樣品調諧勻場及實驗參數設定)： NT$120/0.5小時
\r\n\t\t- 異核實驗/二維實驗：NT$200/時
\r\n\t\t- 氫譜實驗：NT$60/0.5小時
\r\n\t\t- 碳譜實驗：NT$120 /小時
\r\n\t\t- 變溫實驗：NT$300 /時/每個溫度
\r\n\t\t- DOSY/T1/T2 基本實驗(第1小時，未滿1小時以1小時計)：NT$500 /小時
\r\n\t\t- DOSY/T1/T2實驗(第2小時起)：NT$200 /小時
\r\n\t\t- 圖譜處理費：一維NT$20 /件；二維NT$40 /件
\r\n\t\t- 夜間收費：NT$900 /15小時
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 非國科會計畫預約\r\n\t
\r\n\t\t- 基本實驗(協助進行特殊樣品調諧勻場及實驗參數設定)： NT$300/0.5小時
\r\n\t\t- 異核實驗/二維實驗：NT$500/時
\r\n\t\t- 氫譜實驗：NT$300/0.5小時
\r\n\t\t- 碳譜實驗：NT$300 /小時
\r\n\t\t- 變溫實驗：NT$1000 /時/每個溫度
\r\n\t\t- DOSY/T1/T2 基本實驗(第1小時，未滿1小時以1小時計)：NT$2000 /小時
\r\n\t\t- DOSY/T1/T2實驗(第2小時起)：NT$500 /小時
\r\n\t\t- 圖譜處理費：一維NT$50 /件；二維NT$100 /件
\r\n\t\t- 夜間收費：NT$3000 /15小時
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n\r\n
本儀器室提供付費樣品配置服務。
\r\n
\r\n\r\n
附註：
\r\n *本實驗室提供配樣服務。NMR管及氘溶劑(CDCl3、D2O、d6-DMSO、d3-acetonitrile、d4-methanol、d6-acetone)需酌收300元之樣品配製費。如相同樣品需要更換不同溶劑，仍需收該次的光譜費用以及樣品配置費。
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- High Resolution Gas Chromatograph Mass Spectrometer (HRGCMS)\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 廠牌型號：JEOL, AccuTOF GCX
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：鄭彥如 教授\r\n\t
\r\n\t\t- 03-5712121分機 31520
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器諮詢與操作服務：李蘊明 小姐\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 田家炳光電中心617室
\r\n
\r\n
\r\n
儀器廠牌、型號、購置年限
\r\n廠牌：JEOL
\r\n型號：AccuTOF GCX
\r\n購置時間：2015.11
\r\n
\r\n重要規格
\r\n\r\n
\r\n\t- 氣相層析儀： Agilent 7890B，可接質譜及熱電導度偵測器。
\r\n\t- 飛行式質譜儀，解析度10,000FWHM，質量範圍4-6,000Da，質量準確度達1.5mDa或4ppm。有EI(電子撞擊法)、CI (化學游離法)、FI(場游離法)、FD(場脫附法)等游離源。並有NIST及WILEY資料庫，可進行定性及定量分析。
\r\n\t- 自動進樣器：具液體及頂空兩種進樣模式，可分析溶液及氣體樣品。
\r\n\t- 熱裂解儀：FRONTIER PY-3030D，溫度範圍從 80℃到 800℃，有冷聚焦功能，並配有添加物及高分子資料庫，可對固、液樣品做熱脫附及熱裂解後進樣GCMS分析。
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\t服務項目及收費標準（單位：NTD）\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 服務項目 | \r\n\t\t\t適用範圍及說明 | \r\n\t\t\t計畫預約 | \r\n\t\t\t非計畫預約 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 電子游離法(EI)質譜 | \r\n\t\t\t硬性游離源，易產生碎裂片，適用分子量900以下可加熱氣化之化合物，可以固體進樣 | \r\n\t\t\tLREI: $100 /件
\r\n\t\t\tHREI: $150 /件 | \r\n\t\t\tLREI: $1000 /件
\r\n\t\t\tHREI: $1,500 /件 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 場脫附法(FD)質譜 | \r\n\t\t\t軟性游離源，易產生母離子，適用低極性分子，需以溶液態進樣，質量範圍可達5000 | \r\n\t\t\tLRFD: $120 /件
\r\n\t\t\tHRFD: $200 /件
\r\n\t\t\tHRFI: $200 /件 | \r\n\t\t\tLRFD: $1,200 /件
\r\n\t\t\tHRFD: $2,000 /件
\r\n\t\t\tHRFI: $2,000 /件 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 化學游離法(CI)質譜 | \r\n\t\t\t軟性游離源，易產生母離子，適用可加熱氣化之化合物。使用異丁烷為反應氣體 | \r\n\t\t\tLRCI: $120 /件
\r\n\t\t\tHRCI: $200 /件 | \r\n\t\t\tLRCI: $1,200 /件
\r\n\t\t\tHRCI: $2,000 /件 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 氣相層析質譜(GC/MS) | \r\n\t\t\t300度可氣化揮發之小分子混合物分離及質譜鑑定，有EI、CI、FI三種游離法及高低解析質譜可選 | \r\n\t\t\tGC-EI-LRMS: $220 /件
\r\n\t\t\tGC-EI-HRMS: $250 /件
\r\n\t\t\tGC-CI-HRMS: $300 /件
\r\n\t\t\tGC-FI-HRMS: $330 /件 | \r\n\t\t\tGC-EI-LRMS: $2,200 /件
\r\n\t\t\tGC-EI-HRMS: $2,500 /件
\r\n\t\t\tGC-CI-HRMS: $3,000 /件
\r\n\t\t\tGC-FI-HRMS: $3,300 /件 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 氣相層析-熱電導度法(GC-TCD) | \r\n\t\t\t氫氣定性，相對定量 | \r\n\t\t\t暖機費 $100
\r\n\t\t\t樣品測試 $100 /件 | \r\n\t\t\t暖機費 $1,000
\r\n\t\t\t樣品測試 $1,000 /件 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 熱裂解、熱脫附氣相層析質譜 | \r\n\t\t\t高分子及材料樣品經熱裂解、熱脫附進樣分析組成 | \r\n\t\t\t$300/次（含主要訊號NIST, Wiley資料庫自動比對） | \r\n\t\t\t$3,000 /次（含主要訊號NIST, Wiley資料庫自動比對） | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 定量分析 | \r\n\t\t\t\r\n\t\t\t\r\n\t\t\t\t- 建立方法及檢量線
\r\n\t\t\t\t- 樣品分析
\r\n\t\t\t\t- 內標法半定量
\r\n\t\t\t \r\n\t\t\t | \r\n\t\t\t\r\n\t\t\t\r\n\t\t\t\t- $1,000 /單一目標
\r\n\t\t\t\t- 每樣品或增加一目標物加收 $300
\r\n\t\t\t\t- 內標法半定量基本費 $500
\r\n\t\t\t \r\n\t\t\t | \r\n\t\t\t\r\n\t\t\t\r\n\t\t\t\t- $10,000 /單一目標物
\r\n\t\t\t\t- 每樣品或增加一目標物加收$3,000
\r\n\t\t\t\t- 內標法半定量基本費 $5,000
\r\n\t\t\t \r\n\t\t\t | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 人工判圖 | \r\n\t\t\tHRMS分子式推測，資料庫F-search高分子解析，干擾判定等 | \r\n\t\t\t$100 /小時
\r\n\t\t\t（高分子數據判讀最少需2小時） | \r\n\t\t\t$1,000 /小時
\r\n\t\t\t（高分子數據判讀最少須2小時） | \r\n\t\t
\r\n\t\r\n
\r\n
\r\n
開放時間表：
\r\n\r\n
\r\n\t- 週一至週五8:00~17:00：接受委託服務。
\r\n\t- 其餘時間：自動進樣GCMS檢測。
\r\n
\r\n\r\n
儀器使用預約：請至國科會基礎研究核心設施預約服務資訊系統或電洽操作技術員
\r\n
\r\n
管理辦法及使用辦法：
\r\n\r\n
\r\n\t- 為方便校外使用者，送件可採掛號郵寄，收到樣品後約一週，以e-mail傳遞結果電子檔。
\r\n\t- 送測者須檢附或說明以下資料：\r\n\t
\r\n\t\t- 測定項目(GC-MS or MS)。
\r\n\t\t- 游離方式(EI、CI、FD、FI)。
\r\n\t\t- 推測之結構式、分子式及分子量，未知物請註明質量範圍。測高解析質譜者，必須附分子式。
\r\n\t\t- 固、液態或溶液均可，如為溶液，請告知推測濃度。
\r\n\t\t- 可溶解樣品之之溶劑。
\r\n\t\t- 測GC-MS者，若有GC測試條件者請檢附或告知可能成份，使用特殊管柱者請自備外徑小於0.32mm管柱，並先電話預約。
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 為維護儀器正常運作，本儀器以技術員代操作為主。
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- High Resolution Liquid Chromatography Tandem Mass Spectrometer\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 英文簡稱：UPLC/HRMS/MS
\r\n\t\t- 廠牌型號：Bruker, Impact HD , EVOQ
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：陳月枝 教授\r\n\t
\r\n\t\t- 03-5712121分機 31527
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器諮詢與操作服務：黃聖慈 小姐\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 田家炳光電中心617室
\r\n
\r\n
\r\n
儀器廠牌、型號、購置年限
\r\n廠牌：Bruker
\r\n型號：Impact HD , EVOQ
\r\n購置年限：102.11
\r\n
\r\n重要規格
\r\n\r\n
\r\n\t- Utimate 3000超高效液相層析系統:最大壓力可達15000psi，可梯次改變沖提液組成，加強分離效果。
\r\n\t- 離子源：\r\n\t
\r\n\t\t- 電灑法(ESI)：游離高極性之待測物。
\r\n\t\t- 大氣壓力光解離游離法(APPI): 游離具有雙鍵或苯環，可光游離之待測物。
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 高解析質譜Impact HD：第一段為四極式質譜，第二段為飛行時間式質譜，具有高解析度(40,000FWHM)及高質量準確度(<2ppm)。亦可配合超高效液相層析系統，進行LCMS或LCMSMS。
\r\n\t- 低解析質譜EVOQ:四極棒串聯式質譜儀，可進行低解析ESI-MS及MRM定量分析。
\r\n
\r\n
\r\n
開放時間：週一至週五8:00~17:00；接受委託服務。
\r\n
\r\n服務項目
\r\n
\r\n
\r\n
一、
\r\n一般服務 :\r\n\r\n
\r\n\t- 低解析電灑游離法質譜(±ESI)：高極性之小分子化合物(MW<2000)質譜測定。
\r\n\t- 高解析電灑游離法質譜(±ESI)及大氣壓力光解離游離法(APPI)高解析度精確質量測定。
\r\n\t- 質譜串聯法(MS/MS)：包含全質譜掃瞄及子離子掃瞄，可分析化合物的結構。
\r\n\t- 蛋白質身份鑑定：提供mgf檔，可利用線上MASCOT比對。
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n
二、
\r\n特殊服務 :
\r\n液相層析質譜(LC/MS) 及液相層析串聯質譜(LC/MS/MS)：因液相層析分離管柱及條件之選擇複雜且具專業技術性，故列為特殊服務項目，需先與操作員聯繫討論樣品性質，並提供LC分離條件甚至管柱。
\r\n
\r\n
管理辦法及使用辦法：
\r\n\r\n
\r\n\t- 為方便校外使用者，送件可採掛號郵寄，回件以e-mail傳遞圖譜電子檔結果，校外樣品將優先處理，約3-5個工作天可回件。
\r\n\t- 送測者須檢附或說明以下資料：\r\n\t
\r\n\t\t- 測定項目(游離方法、正或負離子、MS或MS/MS)
\r\n\t\t- 推測之結構式、分子式及分子量，未知物請註明質量範圍。測高解析質譜者，請附低解析質譜圖。
\r\n\t\t- 固、液態或溶液均可，如為溶液，濃度需1ppm或1 pmole/μl以上 。
\r\n\t\t- 樣品需可溶於水、甲醇或乙腈(Acetonitrile)中並請註明。
\r\n\t\t- 分析樣品不能具放射性、腐蝕性、強酸鹼或界面活性劑、磷酸鹽等非揮發性鹽類。
\r\n\t\t- 蛋白質身份鑑定樣品跑膠以Coomassie blue染色需有明顯band，請自行進行酵素消化並過C18 desalting tip，如須本實驗室代過C18 desalting tip者，每件加收300元。
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 為維護儀器正常運作，本儀器以技術員代操作為主。
\r\n\t- 應國科會撰寫「年度工作報告及期中進度報告」之需量化研究成果，評估本校服務中心對學術研究的貢獻，使用本單位儀器設備之實驗結果載入發表論文時，懇請於致謝（Acknowledgement）處提及本單位，並請e-mail發表論文之 PDF 電子檔給我們以利辦理致謝優惠(附件一)。若本中心人員 (包括技術人員、主持人等) 對該論文有重大貢獻，則亦請考慮列入共同作者. 感謝您的舉手之勞，使本儀器運作更加順利。
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\t收費標準（單位：NTD）\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 服務項目 | \r\n\t\t\t服務內容 | \r\n\t\t\t使用學門 | \r\n\t\t\t計畫預約 | \r\n\t\t\t非計畫預約 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 低解析小分子質譜(ESI) | \r\n\t\t\t\r\n\t\t\t\r\n\t\t\t\t- 分子量小於1250之正負離子電灑法一次質譜測定
\r\n\t\t\t\t- 二次質譜(MSMS)測定
\r\n\t\t\t \r\n\t\t\t | \r\n\t\t\t化學，化工
\r\n\t\t\t生命科學材料科學 藥物化學 | \r\n\t\t\t\r\n\t\t\t\r\n\t\t\t\t- $200 /件
\r\n\t\t\t\t- $200 /件
\r\n\t\t\t \r\n\t\t\t | \r\n\t\t\t\r\n\t\t\t\r\n\t\t\t\t- $1500 /件
\r\n\t\t\t\t- $1500 /件
\r\n\t\t\t \r\n\t\t\t | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 高解析及大分子質譜(ESI, APPI) | \r\n\t\t\t\r\n\t\t\t\r\n\t\t\t\t- 提供高解析準確質譜及蛋白質、高分子等電灑法(ESI)測定
\r\n\t\t\t\t- 提供大氣壓力光解離游離法(APPI)準確質譜測定
\r\n\t\t\t\t- 二次質譜(MSMS)測定
\r\n\t\t\t \r\n\t\t\t | \r\n\t\t\t化學，化工 環境科學 生命科學 材料科學 藥物化學 | \r\n\t\t\t\r\n\t\t\t\r\n\t\t\t\t- $300 /件
\r\n\t\t\t\t- $300 /件
\r\n\t\t\t \r\n\t\t\t | \r\n\t\t\t\r\n\t\t\t\r\n\t\t\t\t- $2500 /件
\r\n\t\t\t\t- $2500 /件
\r\n\t\t\t \r\n\t\t\t | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 超高效能液相層析+高解析質譜分析(UPLC/HRMS或UPLC/HRMS-MS) | \r\n\t\t\t\r\n\t\t\t\r\n\t\t\t\t- 超高效能液相層析分離
\r\n\t\t\t\t- 全質譜掃瞄
\r\n\t\t\t\t- 子離子掃瞄
\r\n\t\t\t\t- 元素組成預測
\r\n\t\t\t\t- 指定UV波長掃描
\r\n\t\t\t \r\n\t\t\t | \r\n\t\t\t化學，化工 環境科學 生命科學 材料科學 藥物化學 | \r\n\t\t\t\r\n\t\t\t 開機費 $700 /0.5小時。 \r\n\r\n\t\t\t\r\n\t\t\t\t- 提供五個時間點訊號最強的質譜圖
\r\n\t\t\t\t- 每增加一個指定時間質譜圖，加收 $20
\r\n\t\t\t\t- 加UV：$30 /件
\r\n\t\t\t \r\n\t\t\t | \r\n\t\t\t\r\n\t\t\t 開機費$3500 /0.5小時。 \r\n\r\n\t\t\t\r\n\t\t\t\t- 提供五個時間點訊號最強的質譜圖
\r\n\t\t\t\t- 每增加一個指定時間質譜圖，加收 $200
\r\n\t\t\t\t- 加UV：$300 /件
\r\n\t\t\t \r\n\t\t\t | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 蛋白質身份鑑定 | \r\n\t\t\t提供mgf檔，可用線上MASCOT比對。 | \r\n\t\t\t生命科學 | \r\n\t\t\t$350 /件
\r\n\t\t\t如需本實驗室代過 C18 desalting tip者，每件加收 $30元 | \r\n\t\t\t3500元/件 如需本實驗室代過C18 desalting tip者，每件加收300元 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 定量分析 | \r\n\t\t\t\r\n\t\t\t\r\n\t\t\t\t- 建立方法及檢量線
\r\n\t\t\t\t- 樣品分析
\r\n\t\t\t \r\n\t\t\t | \r\n\t\t\t化學，化工 環境科學 生命科學 材料科學 藥物化學 | \r\n\t\t\t\r\n\t\t\t\r\n\t\t\t\t- 基本費 $1600
\r\n\t\t\t\t- $350 /件
\r\n\t\t\t \r\n\t\t\t | \r\n\t\t\t\r\n\t\t\t\r\n\t\t\t\t- 基本費 $8000
\r\n\t\t\t\t- $3500 /件
\r\n\t\t\t \r\n\t\t\t | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 急件 | \r\n\t\t\t24小時內回件(需事先聯絡) | \r\n\t\t\t-- | \r\n\t\t\t為上述價格兩倍 | \r\n\t\t\t為上述價格兩倍 | \r\n\t\t
\r\n\t\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 差示掃描量熱儀\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 英文名稱：Differential scanning calorimetry
\r\n\t\t- 英文簡稱：DSC
\r\n\t\t- 廠牌型號：TA, Discovery DSC 2500
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器放置位置：光復校區 田家炳光電大樓七樓701室
\r\n\t- 儀器專家：張佳智 助理教授\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 實驗諮詢與操作服務：\r\n\t
\r\n\t\t- 聯絡信箱: 567BSTA@gmail.com
\r\n\t\t- 聯絡人：沈瑮卿 博士 03-5712121分機 56510\r\n\t\t
\r\n\t\t\t- 操作服務：張詠詠同學、余筱蕾同學
\r\n\t\t\t- 實驗諮詢：王笠安同學、朱晏頤講師
\r\n\t\t
\r\n\t\t \r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 樣品郵寄地址：\r\n\t
\r\n\t\t- 300 新竹市大學路1001號 國立陽明交通大學田家炳光電大樓717室，余筱蕾 收
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
儀器廠牌、型號、購置年限
\r\n廠牌：TA
\r\n型號：Discovery DSC 2500
\r\n購置日期：2023
\r\n
\r\n重要規格
\r\n\r\n
\r\n\t- 基準線平坦度（-50至300°C）≤5 μW
\r\n\t- 基準線可重複性（-50至300°C）<10μW
\r\n\t- 溫度範圍 -90°C至550°C
\r\n\t- 溫度準確度 ±0.025°C
\r\n\t- 溫度精度 ±0.005°C
\r\n\t- 焓值精度 ±0.04%
\r\n
\r\n
\r\n
開放時間：週一至週五8:00~17:00；接受委託服務。
\r\n
\r\n服務項目
\r\n\r\n
\r\n\t- 根據樣品端及參比端溫度差變化之原始資料，測定轉變的溫度、熱焓。
\r\n\t- 包括相轉變，熔化（結晶），氧化，固化，玻璃化轉變，或其它熱力學，動力學過程。
\r\n\t- 測量材料的熱容。
\r\n
\r\n
\r\n
預約管理
\r\n請從國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統，登入使用者帳號密碼預約
\r\n
\r\n聯絡方式
\r\n\r\n
\r\n\t- 儀器專家：張佳智 助理教授\r\n\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 實驗諮詢與操作服務：\r\n\t
\r\n\t\t- 聯絡信箱: 567BSTA@gmail.com
\r\n\t\t- 聯絡人：沈瑮卿 博士 03-5712121分機 56510\r\n\t\t
\r\n\t\t\t- 操作服務：張詠詠同學、余筱蕾同學
\r\n\t\t\t- 實驗諮詢：王笠安同學
\r\n\t\t
\r\n\t\t \r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n\r\n
樣品請送至: 光復校區 田家炳光電大樓七樓717室
\r\n(郵寄地址：300新竹市大學路1001號 國立陽明交通大學田家炳光電大樓717室，余筱蕾 收)
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\t收費標準（單位：NTD）\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 服務項目 | \r\n\t\t\t計畫預約 | \r\n\t\t\t非計畫預約 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 委託 | \r\n\t\t\t自行操作 | \r\n\t\t\t委託 | \r\n\t\t\t自行操作 | \r\n\t\t
\r\n\t\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 基本實驗 | \r\n\t\t\t150 /時 | \r\n\t\t\t- | \r\n\t\t\t1100 /時 | \r\n\t\t\t- | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 急件實驗 | \r\n\t\t\t300 /時 | \r\n\t\t\t- | \r\n\t\t\t2200 /時 | \r\n\t\t\t- | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 固態樣品盤 | \r\n\t\t\t80 /件 | \r\n\t\t\t- | \r\n\t\t\t80 /件 | \r\n\t\t\t- | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 液態樣品盤 | \r\n\t\t\t120 件 | \r\n\t\t\t- | \r\n\t\t\t120 件 | \r\n\t\t\t- | \r\n\t\t
\r\n\t\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- TGA/DSC 同步熱分析儀\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 英文名稱：Simultaneous Thermal Analyzers
\r\n\t\t- 英文簡稱：SDT
\r\n\t\t- 廠牌型號：TA, SDT 650
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器放置位置：光復校區 田家炳光電大樓七樓701室
\r\n\t- 儀器專家：張佳智 助理教授\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 實驗諮詢與操作服務：\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 操作服務：張詠詠同學、余筱蕾同學
\r\n\t- 實驗諮詢：王笠安同學、朱晏頤講師
\r\n\t- 樣品郵寄地址：\r\n\t
\r\n\t\t- 300 新竹市大學路1001號 國立陽明交通大學田家炳光電大樓717室，余筱蕾 收
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
儀器廠牌、型號、購置年限
\r\n廠牌：TA
\r\n型號：SDT 650
\r\n購置日期：2023
\r\n
\r\n重要規格
\r\n\r\n
\r\n\t- 溫度範圍：環境溫度至 750 °C
\r\n\t- 動態溫度精度：±0.5℃
\r\n\t- 加熱速率（線性）：0.1 至 100 °C/分鐘
\r\n\t- 量熱準確度/精確度 ：±2%（基於金屬標準）
\r\n\t- 熱容準確度：±5%
\r\n\t- 樣品重量容量：200毫克
\r\n\t- 稱重精度：±0.5%
\r\n\t- 稱重精度：±0.1%
\r\n\t- 熱重基線漂移：<50 µg 至 1000°C & <50 µg 1000 至 1300°C
\r\n
\r\n\r\n
常見用途
\r\n\r\n
\r\n\t- 測定材料的熱穩定性和氧化穩定性、水分和揮發物含量、多成分材料的組成、產品的分解動力學和預估壽命，以及反應性或腐蝕性氣體的影響。
\r\n\t- 測定轉變溫度、熔融熱和反應熱以及熔點和沸點。
\r\n
\r\n
\r\n
開放時間：週一至週五8:00~17:00；接受委託服務。
\r\n
\r\n服務項目
\r\n\r\n
\r\n\t- 調製DSC
\r\n\t- 高解析度 TGA™
\r\n\t- 調製 TGA™
\r\n\t- 雙採樣模式
\r\n\t- 自動逐步TGA
\r\n\t- 彩色應用程式觸控螢幕
\r\n\t- 可使用 EGA 爐
\r\n\t- 雙輸入氣體輸送歧管
\r\n\t- 溫度校準居禮點 (ASTM E1582)
\r\n\t- 溫度校準熔點標準品
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
預約管理
\r\n請從國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統，登入使用者帳號密碼預約
\r\n
\r\n聯絡方式
\r\n\r\n
\r\n\t- 儀器專家：張佳智 助理教授\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 實驗諮詢與操作服務：\r\n\t
\r\n\t\t- 聯絡信箱: 567BSTA@gmail.com
\r\n\t\t- 聯絡人：沈瑮卿 博士 03-5712121分機 56510\r\n\t\t
\r\n\t\t\t- 操作服務：張詠詠同學、余筱蕾同學
\r\n\t\t\t- 實驗諮詢：王笠安同學
\r\n\t\t
\r\n\t\t \r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n\r\n
樣品請送至: 光復校區 田家炳光電大樓七樓717室
\r\n(郵寄地址：300新竹市大學路1001號 國立陽明交通大學田家炳光電大樓717室，余筱蕾 收)
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\t收費標準（單位：NTD）\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 服務項目 | \r\n\t\t\t計畫預約 | \r\n\t\t\t非計畫預約 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 委託 | \r\n\t\t\t自行操作 | \r\n\t\t\t委託 | \r\n\t\t\t自行操作 | \r\n\t\t
\r\n\t\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 基本實驗 | \r\n\t\t\t150 / 時 | \r\n\t\t\t- | \r\n\t\t\t1100 / 時 | \r\n\t\t\t- | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 急件實驗 | \r\n\t\t\t300 / 時 | \r\n\t\t\t- | \r\n\t\t\t2200 / 時 | \r\n\t\t\t- | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 固態樣品盤 | \r\n\t\t\t80 /件 | \r\n\t\t\t- | \r\n\t\t\t80 /件 | \r\n\t\t\t- | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 液態樣品盤 | \r\n\t\t\t120 /件 | \r\n\t\t\t- | \r\n\t\t\t120 /件 | \r\n\t\t\t- | \r\n\t\t
\r\n\t\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 多通道微量熱儀-電池與高能材料量熱模組\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 英文名稱：TAM IV Microcalorimeter system
\r\n\t\t- 英文簡稱：DSC
\r\n\t\t- 廠牌型號：TA, TAM IV
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器放置位置：光復校區 田家炳光電大樓七樓701室
\r\n\t- 儀器專家：張佳智 助理教授\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 實驗諮詢與操作服務：\r\n\t
\r\n\t\t- 聯絡信箱: 567BSTA@gmail.com
\r\n\t\t- 聯絡人：沈瑮卿 博士 03-5712121分機 56510\r\n\t\t
\r\n\t\t\t- 操作服務：張詠詠同學、余筱蕾同學
\r\n\t\t\t- 實驗諮詢：王笠安同學、朱晏頤講師
\r\n\t\t
\r\n\t\t \r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 樣品郵寄地址：\r\n\t
\r\n\t\t- 300 新竹市大學路1001號 國立陽明交通大學田家炳光電大樓717室，余筱蕾 收
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
儀器廠牌、型號、購置年限
\r\n廠牌：TA
\r\n型號：TAM IV Calorimeter
\r\n購置日期：2023
\r\n
\r\n功能
\r\n\r\n
\r\n\t- 本儀器是TA Instruments推出的新一代多通道微熱計量系統，提供極大的靈敏度、靈活性和性能，可與最敏感的微熱計以及各種配件搭配使用，以精確控制實驗條件。
\r\n\t- 最多可同時使用四個獨立的微熱計執行重複性或不同類型的實驗；完全模塊化的設計，使其得以添加多個微熱計以增加樣品容量或功能。通過添加一個可容納六個獨立微熱計的多微熱計器，樣品通量大幅提高。
\r\n\t- 採用專利的恆溫器技術，可以精確控制液體浴的溫度在0.0001°C以內，並且可以在等溫、步進等溫或溫度掃描模式下運行。
\r\n
\r\n\r\n
重要規格
\r\n\r\n
\r\n\t- 全新反應速度的全新溫度控制，可為實際冷藏應用提供快速熱平衡和 4 °C 至 150 °C 的擴展溫度範圍。
\r\n\t- 溫度穩定，可在持續數小時至數天和數週的實驗中進行精確的熱流測量。
\r\n\t- 四個量熱計位置，最多可配備四個量熱計，每個量熱計同時且獨立運行。
\r\n\t- 有25 ml和100 ml兩種容器，主要與高達80℃的TAM IV恒溫器搭配使用。
\r\n
\r\n\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
開放時間：週一至週五8:00~17:00；接受委託服務。
\r\n
\r\n服務項目
\r\n\r\n
\r\n\t- 測量當固體或液體樣品在溶劑中溶解或稀釋時產生或吸收的熱量。
\r\n\t- 熱力學研究，以及對各種固態相的定量分析測定。
\r\n
\r\n
\r\n
預約管理
\r\n請從國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統，登入使用者帳號密碼預約
\r\n
\r\n聯絡方式
\r\n\r\n
\r\n\t- 儀器專家：張佳智 助理教授\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器諮詢與操作服務：\r\n\t
\r\n\t\t- 聯絡信箱: 567BSTA@gmail.com
\r\n\t\t- 聯絡人：沈瑮卿 博士 03-5712121分機 56510\r\n\t\t
\r\n\t\t\t- 操作服務：張詠詠同學、余筱蕾同學
\r\n\t\t\t- 實驗諮詢：王笠安同學
\r\n\t\t
\r\n\t\t \r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n\r\n
樣品請送至: 光復校區 田家炳光電大樓七樓717室
\r\n(郵寄地址：300新竹市大學路1001號 國立陽明交通大學田家炳光電大樓717室，余筱蕾 收)
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\t收費標準（單位：NTD）\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 服務項目 | \r\n\t\t\t計畫預約 | \r\n\t\t\t非計畫預約 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 委託 | \r\n\t\t\t自行操作 | \r\n\t\t\t委託 | \r\n\t\t\t自行操作 | \r\n\t\t
\r\n\t\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 基本實驗 | \r\n\t\t\t150 /時 | \r\n\t\t\t- | \r\n\t\t\t300 /時 | \r\n\t\t\t- | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 每日(大於8小時) | \r\n\t\t\t1200 /日 | \r\n\t\t\t- | \r\n\t\t\t2400 /日 | \r\n\t\t\t- | \r\n\t\t
\r\n\t\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- Field Emission Transmission Electron Microscope (FE-TEM)\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 廠牌型號：JOEL, JEM-F200
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：吳文偉 教授\r\n\t
\r\n\t\t- 03-5712121分機 55395
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器諮詢與操作服務：歐大正 先生\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 工程六館108室
\r\n
\r\n
\r\n
儀器廠牌、型號、購置年限
\r\n廠牌：JEOL
\r\n型號：JEM-F200
\r\n購置年限：五年，2016/12/1購置
\r\n
\r\n重要規格
\r\n\r\n
\r\n\t- 電子槍：ZrO/W(100) Schottky type
\r\n\t- 最大加速電壓：200kV
\r\n\t- 放大倍率：x50~x2M
\r\n\t- Point resolution：<=0.23nm
\r\n\t- Lattice resolution：<=0.1nm
\r\n\t- 最大傾轉角度：+35~-35度
\r\n
\r\n
\r\n
服務項目
\r\nTEM：材料試片之微細組織，晶體結構之缺陷觀察，擇區繞射定結晶結構。
\r\n
\r\n儀器訓練操作申請須知
\r\n\r\n
\r\n\t- 申請人需為博士班學生且已通過JEOL2000FX TEM之考核。
\r\n\t- 申請順序依通過JEOL2000FX TEM之考核日期為先後順序。
\r\n\t- 訓練時間TEM需要6個時段。訓練結束之後可向技術員預約時間練習並考照。
\r\n\t- 通過考核後可自行操作；未通過考核之前除技術員或助教在旁協助，嚴禁自行操作。
\r\n
\r\n\r\n
儀器操作預約：請至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\t\r\n\t\r\n\t開放時間表\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t| | \r\n\t\t\t週一 | \r\n\t\t\t週二 | \r\n\t\t\t週三 | \r\n\t\t\t週四 | \r\n\t\t\t週五 | \r\n\t\t\t週六 | \r\n\t\t\t週日 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 上午 (08:30至12:00) | \r\n\t\t\t校外委託 | \r\n\t\t\t校外委託 | \r\n\t\t\t校外委託 | \r\n\t\t\t校外委託 | \r\n\t\t\t校外委託 | \r\n\t\t\tA執照者 | \r\n\t\t\tA執照者 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 中午 (13:30至17:00) | \r\n\t\t\t訓練 | \r\n\t\t\t校內委託 | \r\n\t\t\tB執照者 | \r\n\t\t\tB執照者 | \r\n\t\t\tB執照者 | \r\n\t\t\tB執照者 | \r\n\t\t\tB執照者 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 晚上 | \r\n\t\t\tA執照者 | \r\n\t\t\t機台訓練 | \r\n\t\t\tA執照者 | \r\n\t\t\tA執照者 | \r\n\t\t\tA執照者 | \r\n\t\t\tA執照者 | \r\n\t\t\tA執照者 | \r\n\t\t
\r\n\t\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n系統開放等級
\r\nA級：可預約時間自行操作。博士班學生並通過JEOL2000FX考核者可申請接受訓練，通過執照考核後取得A級資格。
\r\nD級：委託服務，由技術員操作。委託時段請參閱”開放時間表”
\r\n
\r\n系統開放等級說明
\r\n\r\n
\r\n\t- A級：開放給需要使用之學生，經訓練考核後可自行操作。
\r\n\t- B級：每位教授指派一位學生申請訓練，該教授之其他學生需由接受訓練的學生代為操作，若有教授使用該儀器之學生過多者，可向儀器負責人申請增加接受訓練學生人數。
\r\n\t- C級：由儀器負責人選定教授推薦之學生若干人接受訓練，經考核後可自行操作儀器並得負責委託服務工作。
\r\n\t- D級：由本實驗室之技術人員接受委託服務，不開放使用。
\r\n
\r\n
\r\n
收費標準（單位：NTD）
\r\n\r\n
\r\n\t- TEM
\r\n\t- 計畫預約\r\n\t
\r\n\t\t- 委託操作：$4,000 /次
\r\n\t\t- 自行操作：$2,000 /次
\r\n\t\t- 拍照：$15 /張
\r\n\t\t- EDS：$75 /點、$100 /線、$150 /面
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 非計畫預約\r\n\t
\r\n\t\t- 委託操作：$20,000/次
\r\n\t\t- 自行操作：$15,000 /次
\r\n\t\t- 拍照：$150 /張
\r\n\t\t- EDS：$150 /點、$200 /線、$300 /面
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
管理及使用辦法
\r\n\r\n
\r\n\t- 本實驗室非TEM試片製作單位，請先準備可觀察之TEM試片來進行實驗。試片需自行準備，直徑為3mm且厚度小於300nm。
\r\n\t- 待測樣品應為固態材料且應具有適當、足夠的機械強度，以避免在進出電鏡或在檢測的操作過程中，發生剝落、碎裂的狀況，恕不受理。
\r\n\t- 低熔點的材料如銦、錫等，會產生相變及蒸鍍效應，恕不受理。
\r\n\t- 在電子束照射下會分解或釋出氣體且礙及真空之樣品，如有機物、高分子、生物性或鐵磁性粉末樣品等，恕不受理。
\r\n\t- 具強磁性、磁性或易被電磁透鏡吸引的粉末形式樣品或材料，如鐵、鈷、鎳…等粉體，恕不受理。
\r\n\t- 具有放射性或毒性之樣品，恕不受理。
\r\n\t- 所有以水溶液滴到銅網上樣品，皆需要經過充分乾燥除去水氣；樣品送到本實驗室後，仍需經過本實驗室人員再次烘烤十分鐘後才可以上機。若因試片充滿水氣而造成機台汙染，則預約單位需要共同負擔機台維修費用。
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- JEOL JSM-7800F PrimeSEM\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 廠牌型號：JEOL JSM-7800F PRIME+ EDS Oxford MAX150 and EBSD NordlysMax3
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：鍾采甫 助理教授\r\n\t
\r\n\t\t- 03-5712121分機 31420
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器諮詢與操作服務：簡淑君 小姐\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 工程六館211室
\r\n
\r\n
\r\n
儀器廠牌、型號、購置年限
\r\n廠牌及型號：JEOL JSM-7800F PRIME+ EDS Oxford MAX150 and EBSD NordlysMax3
\r\n購置日期：2016年01月
\r\n
\r\n重要規格
\r\n\r\n
\r\n\t- 解析力：0.7nm (15kV), 0.7nm( 1kV)
\r\n\t- In-Lens Schottky Plus Field Emission Electron Gun
\r\n\t- Gun Vacuum：10-7 Pa or higher
\r\n\t- 倍率：x25 to x1,000,000
\r\n\t- 加速電壓：0.1V to 30kV
\r\n
\r\n
\r\n
服務項目
\r\n影像觀察及照相：
\r\nSEI (Scanning Electron Image)
\r\nBEI (Backscattered Electron Image)
\r\nEDS (Energy Dispersive X-ray Spectrometer)
\r\nEBSD（Electron Backscatter Diffraction Analysis）
\r\n
\r\n儀器訓練操作申請須知
\r\n\r\n
\r\n\t- 需先通過本校材料系FESEM6500，6700考核通過並且在三個月內上機操作24hr以上
\r\n\t- 申請訓練請與技術員聯絡，「儀器訓練認證及使用資格變更申請表」下載
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\t- 儀器操作預約請至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約 \r\n\r\n\t
\r\n\t\t![\"儀器操作預約請至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約\"](\"/userfiles/file/link.png\")
\r\n\t \r\n\t- SEM儀器訓練認證及使用資格變更申請表 \r\n\t
\r\n\t\t![\"SEM儀器訓練認證及使用資格變更申請表\"](\"/userfiles/file/odt.png\")
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
開放時間表
\r\n週一至週五：委託時段
\r\n夜間及週六：A級
\r\n
\r\n系統開放等級
\r\n\r\n
\r\n\t- 一般上班時段：委託時段
\r\n\t- 夜間及假日時段：A級
\r\n
\r\n\r\n
系統開放等級說明
\r\n\r\n
\r\n\t- A級：開放給需要使用之學生，經訓練考核後可自行操作。
\r\n\t- B級：每位教授指派一位學生申請訓練，該教授之其他學生需由接受訓練的學生代為操作，若有教授使用該儀器之學生過多者，可向儀器負責人申請增加接受訓練學生人數。
\r\n\t- C級：由儀器負責人選定教授推薦之學生若干人接受訓練，經考核後可自行操作儀器並得負責委託服務工作。
\r\n\t- D級：由本實驗室之技術人員接受委託服務，不開放使用。
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\t\r\n\t\r\n\t收費標準（單位：NTD）\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 計費項目 | \r\n\t\t\t計畫單價 | \r\n\t\t\t現金單價 | \r\n\t\t\t自行操作 | \r\n\t\t\t備註 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 基本操作(SEM image) | \r\n\t\t\t1,500 | \r\n\t\t\t15,000 | \r\n\t\t\t1,200 | \r\n\t\t\t3小時為一單位
\r\n\t\t\t(論文提及本儀器服務，可享8折優惠) | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| EBSD | \r\n\t\t\t600 | \r\n\t\t\t6,000 | \r\n\t\t\t360 | \r\n\t\t\t單位：次 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| EDS, BEI | \r\n\t\t\t300 | \r\n\t\t\t3,000 | \r\n\t\t\t300 | \r\n\t\t\t單位：次 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t高分子,粉末,高揮發性, 弱磁性
\r\n\t\t\t(powder) | \r\n\t\t\t1,200 | \r\n\t\t\t10,000 | \r\n\t\t\t700 | \r\n\t\t\t單位：次 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t
\r\n\t\t\t鍍金 (coating) | \r\n\t\t\t200 | \r\n\t\t\t1,000 | \r\n\t\t\t200 | \r\n\t\t\t委託者須鍍白金請選擇一次 | \r\n\t\t
\r\n\t\r\n
\r\n
\r\n如有需要開機測試，需酌收開機費（單位基本費 $6,000）
\r\n
\r\n
管理辦法及使用辦法
\r\n\r\n
\r\n\t- 有限度開放磁性（含鐵、鈷、鎳成分），粉末(嚴禁磁性粉末)，高分子，生物材料，須寫信先告知材料性質和種類並與SEM技術員討論，如未寫信事先告知,實驗將無法進行。
\r\n\t- 請自備空白 CD-R/DVD 存取檔案
\r\n\t- SEM試片大小限制 長寬 20mm×20mm，高度10mm
\r\n\tEBSD試片大小限制 長寬 10mm×10mm，高度 3mm \r\n\t- 試片請事先自行裁切成，儀器室恕不允許現場裁切。
\r\n\t- 遲到30分鐘以上或樣品不符合規定者導致無法委託，視同放棄，一律扣「時段基本費」。
\r\n\t- 如需要做EBSD需要先以 Email 告知，如未寫信事先告知，實驗將無法進行。\r\n\t
\r\n\t\t- phase（元素相）
\r\n\t\t- Grain size（晶粒大小）
\r\n\t\t- Area
\r\n\t\t- 試片（數量，每個試片要幾個點）
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器室禁止攜帶食物及飲料入內。第一次委託請事先來信告知材料種類，謝謝。
\r\n\t- 取消方式：\r\n\t
\r\n\t\t- 欲取消者，請於已預約到 FESEM 日期的前 7 日自行上網取消，未 取消、未 7 日前取消及當日未到者，一律扣「時段基本費」。
\r\n\t\t- 若網路上無法取消，代表已過取消 7 日前之期限。
\r\n\t\t- 本儀器，僅能上網取消，若您致電告知不克前 來，仍須扣「時段基本費」。
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- X-ray Photoelectron and Auger Electron Epectroscopy\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 英文簡稱：XPS/AES
\r\n\t\t- 廠牌型號：英國 Thermo Fisher Scientific，ESCALAB Xi+
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：徐雍鎣 教授\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器諮詢與操作服務：黃綉吟 小姐\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 工程六館EF215室
\r\n
\r\n
\r\n
儀器設備
\r\n\r\n
\r\n\t- 中文名稱：X光光電子暨歐傑電子能譜儀
\r\n\t- 英文名稱： X-ray Photoelectron and Auger Electron Epectroscopy
\r\n\t- 加入貴儀年月：2004年11月
\r\n\t- 儀器購置年月：2017年11月汰舊換新
\r\n\t- 儀器經費來源：國科會、國立陽明交通大學
\r\n\t- 廠牌及型號：英國 Thermo Fisher Scientific，ESCALAB Xi+
\r\n
\r\n\r\n
重要規格
\r\n\r\n
\r\n\t- XPS (ESCA)：\r\n\t
\r\n\t\t- X-ray光源： monochromatic X-ray source (Al Anode )
\r\n\t\t- X光光束可設定範圍為200μm～900μm
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 能量分析儀器：180°球面扇狀分析器(SSA)\r\n\t
\r\n\t\t- 能量解析度Energy resolution：0.02~2.0%
\r\n\t\t- 能量解析度Energy resolution≦ 0.5eV at Ag 3d5/2 peak (Ag標準品)
\r\n\t\t- 能量解析度Energy resolution≦ 0.9eV at C 1s peak(PET標準品)
\r\n\t\t- 分析面積analysis area ：20μm~8mm
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 離子源：Argon ion gun\r\n\t
\r\n\t\t- 可提供兩種濺蝕模式Monatomic及Cluster，做樣品表面清潔與縱深分析。
\r\n\t\t- 離子束能量範圍：\r\n\t\t
\r\n\t\t\t- Monatomic mode─500 eV to 3 keV
\r\n\t\t\t- Cluster mode─2 keV to 7 keV
\r\n\t\t
\r\n\t\t \r\n\t\t- 離子束尺寸範圍：\r\n\t\t
\r\n\t\t\t- Monatomic mode─500 μm @ 3.0 μA and 3 keV
\r\n\t\t\t- Cluster mode─100 atoms ~ 2000 atoms
\r\n\t\t
\r\n\t\t \r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 單槍式雙射源電荷補償：同一支射源能同時以低能電子和離子進行雙射源(Dual beam)電荷補償。
\r\n\t- AES：場發射式電子槍\r\n\t
\r\n\t\t- 加速電壓：1 keV ~ 10 keV
\r\n\t\t- SEM spatial resolution： 95 nm at 10 keV, 5.0 nA
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- UPS (Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy)：\r\n\t
\r\n\t\t- Ultra Violet source (He紫外光光源)
\r\n\t\t- 試片尺寸：5mm×5mm ~40mm×20mm
\r\n\t\t- 抽真空速率：~30分鐘
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n\r\n
功能
\r\n\r\n
\r\n\t- XPS表面成份定性及定量分析
\r\n\t- XPS化學位移(chemical shift)分析
\r\n\t- XPS 縱深( depth profile )分析
\r\n\t- XPS元素影像掃描XPS Mapping
\r\n\t- UPS紫外光光電子掃描
\r\n\t- Auger表面成份分析
\r\n\t- Auger depth profiling縱深成份分析
\r\n\t- Auger point analysis and mapping微區元素與成份分佈分析
\r\n\t- REELS/ISS
\r\n\t- 電性中和charge compensation
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\t\r\n\t\r\n\t1.服務項目及內容\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t| | \r\n\t\t\t服務項目 | \r\n\t\t\t可能獲得之資訊內容 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 1 | \r\n\t\t\t表面定性分析(Survey Scan) | \r\n\t\t\t鑑定樣品表面各種化學元素之存在 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 2 | \r\n\t\t\t表面定量分析( Survey Scan) | \r\n\t\t\t鑑定樣品表面元素之相對原子濃度百分比 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 3 | \r\n\t\t\tXPS化學位移(chemical shift) | \r\n\t\t\t分析元素化學態/鍵結狀態 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 4 | \r\n\t\t\t縱深分析(Depth profiling) | \r\n\t\t\t離子蝕擊下，樣品之各種化學元素的縱深分布 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 5 | \r\n\t\t\t微區分析(Point) | \r\n\t\t\t鑑定樣品表面選定微區之成份 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 6 | \r\n\t\t\t元素影像掃描(Mapping) | \r\n\t\t\t獲取化學元素在樣品表面之二維分布影像圖 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 7 | \r\n\t\t\t紫外光光電子掃描(UPS) | \r\n\t\t\t量測Valance band和功函數 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 8 | \r\n\t\t\tREELS(Reflection Electron Energy Loss Spectroscopy) | \r\n\t\t\t鑑定同素異構體 | \r\n\t\t
\r\n\t\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\t\r\n\t\r\n\t2.開放使用時間及管理\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t| | \r\n\t\t\t上午8:30〜12:30 | \r\n\t\t\t下午13:30〜17:30 | \r\n\t\t\t晚上18:00〜22:00 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 週一 | \r\n\t\t\t儀器維護 | \r\n\t\t\t委託服務時段(校外優先登記) | \r\n\t\t\t自行操作時段(B級)(校內優先登記) | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 週二 | \r\n\t\t\t自行操作時段(B級)(校外優先登記) | \r\n\t\t\t委託服務時段(校內優先登記) | \r\n\t\t\t自行操作時段(B級)(校內優先登記) | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 週三 | \r\n\t\t\t委託服務時段(校內優先登記) | \r\n\t\t\t委託服務時段(校外優先登記) | \r\n\t\t\t自行操作時段(B級)(校內優先登記) | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 週四 | \r\n\t\t\t訓練時段 | \r\n\t\t\t委託服務時段(校內優先登記) | \r\n\t\t\t自行操作時段(B級)(校內優先登記) | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 週五 | \r\n\t\t\t考核時段 | \r\n\t\t\t委託服務時段(校外優先登記) | \r\n\t\t\t自行操作時段(B級)(校內優先登記) | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 週六 | \r\n\t\t\t自行操作時段(A級) | \r\n\t\t\t自行操作時段(A級) | \r\n\t\t\t自行操作時段(A級) | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 週日 | \r\n\t\t\t自行操作時段(A級) | \r\n\t\t\t自行操作時段(A級) | \r\n\t\t\t自行操作時段(A級) | \r\n\t\t
\r\n\t\r\n
\r\n
\r\n
\r\n․B級：開放給需要使用之學生，經訓練考核後可自行操作。
\r\n․A級：B級執照者上機時數累積達80hr方可申請考試為A級執照。
\r\n
\r\n
申請服務辦法 （預約規則以國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統為準，時段彈性開放）
\r\n\r\n
\r\n\t- 技術員操作服務：\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約時段（每月21日凌晨00：00開放預約次月時段，依上表優先預約；校外優先時段，若開放7天後未預約額滿，技術員得開放給校內外人士預約），詳細說明待測樣品之性質和委託項目，依申請之時段服務，預約者請參考相關規定，以免付款方式有誤。若因故無法在預約時段前，送達待測試片，應至少在預約時段前一星期上網取消預約，預約未到者，仍以原預約時段付費。
\r\n\t\t- 每位委託使用者只能預約7個時段/月（四小時為一時段），每次送測樣品數： Depth：1個樣品/時段，表面分析：最多以分析元素總共30個元素為限/時段，待量測完畢後才可再預約；不合規定者將自動取消不另行通知。
\r\n\t\t- 擷取微區定位圖譜或影像時，送測單位必須有人伴隨在側。
\r\n\t\t- 有關數據結果之解釋，請自行負責。
\r\n\t\t- 送測樣品若因未事先書面要求樣品前置處理，而致無法獲取所欲得之圖譜，送檢單位仍需依工作時數付費。
\r\n\t\t- 請自行攜帶空白光碟、隨身碟或空白磁片，做為分析數據之存取。
\r\n\t\t- 需繳交貴重儀器預約申請表（指導教授需簽章）。
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 自行操作服務：\r\n\t
\r\n\t\t- 由取得「合格執照之博士生」自行上機操作。
\r\n\t\t- 自行操作之儀器使用預約，以實驗室為單位，預約限制次數：5個時段/月，量測完畢後才可再預約，不合規定者將自動取消不另行通知。
\r\n\t\t- 自行操作者每次使用前需先致電向技術員預約使用時間 (依時段預約)，經核准後，依序上機操作使用，量測完畢後才可再預約。
\r\n\t\t- 若因故無法在預約時段使用儀器時，應至少在預約時段前一星期上網取消預約，否則仍以原預約時段付費。
\r\n\t\t- 樣品進入時，儀器系統之entry chamber的壓力需達1×10-3torr。
\r\n\t\t- 樣品分析前，應確定儀器系統之analysis chamber壓力<5×10-9torr，方可打開電子鎗及偵測器之電源開關，進行分析。
\r\n\t\t- 使用本儀器時，任何非正常使用所造成之損壞，將酌請自行操作者之指導教授及其主管負擔儀器設備 維修費用。
\r\n\t\t- 儀器使用者必須確實填寫實驗紀錄簿。
\r\n\t\t- 禁止攜帶食物、飲料進入儀器室食用，且需保持儀器室的整潔。
\r\n\t\t- 須遵守X光光電子暨歐傑電子能譜儀實驗室管理辦法。
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 樣品規格：\r\n\t
\r\n\t\t- 樣品不得具有液體、粉末、毒性、磁性、輻射性、有機物（含覆膜）或對真空腔體零件造成蝕損。
\r\n\t\t- 樣品以低非揮發性為限，避免對超高真空系統造成污染。
\r\n\t\t- 面積大於 0.5cm * 0.5cm之正方形，小於 4cm *2cm之長方形，厚度 < 2mm。
\r\n\t\t- 代測服務之樣品請送兩件，以供測試發生困難時之需。
\r\n\t\t- 分析測試時，若發現送測樣品不符合規定，將退回樣品，並依工作時數付費。
\r\n\t\t- 進行depth profile時，sputter時間以3.5小時為限，請自行斟酌試片厚度。
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 取得合格執照之辦法
\r\n
\r\n\r\n
目的：為充份利用此貴重儀器，決定開放給合格之使用者使用，以疏解過量的服務需求，並收人才訓練之效益。
\r\n\r\n
辦法：如何取得 「使用執照」：
\r\n\r\n
\r\n\t- 各研究室應由指導教授或單位主管推薦一名博士生，提出申請。
\r\n\t- 申請資格：須修習過相關材料分析技術課程及具有電子顯微鏡操作經驗者。
\r\n\t- 該博士生應填寫「教育訓練申請單」（A級或B級），經由儀器技術員排定訓練時間。
\r\n\t- 本儀器將提供教育訓練並以「訓練操作」及「操作觀摩」方式，達到主要使用者之研究室自行操作的目的。「訓練操作」：由助教負責教授機台結構及操作步驟；「操作觀摩」：向合格執照之使用者，學習其操作技巧。
\r\n\t- B級訓練次數為4週，操作觀摩需2次以上；A級訓練次數為2週。
\r\n\t- 操作考試經助教或技術員以及儀器負責教授評定合格者，即取得「合格B級或A級操作者」資格。
\r\n\t- B級操作者須累積操作時數達到80小時以上，才可申請A級操作者資格。
\r\n\t- 該名博士生取得【使用執照】後，需協助執行自己實驗室人員之本儀器分析工作。
\r\n\t- 若需另行練習操作（需有合格使用執照人員在旁）其費用，皆照技術員操作服務計費（收費標準：每小時450元）。
\r\n\t- 若二次沒通過操作考試，且在操作時有嚴重錯誤者，本實驗室保留婉拒受訓學生親自操作使用的權利。
\r\n\t- 使用本儀器時，任何非正常使用所造成之損壞，自行操作者之指導教授及其主管應負儀器設備維修費用。
\r\n\t- 取得「合格執照之使用者」，若經2個月未操作本儀器，則其資格需重新認定。
\r\n\t- 受訓及使用期間須遵守實驗室相關規定。
\r\n
\r\n
\r\n
收費標準
\r\n\r\n
\r\n\t- 委託服務：
\r\n\t收費標準為基本使用費 NT$500 /hr，依時段計費，超過4hr以實際服務時數計費。包含樣品處理時間，樣品抽真空時間、關機等待及數據處理的時間，遲到時間仍視為服務時間計費。
\r\n\t \r\n\t\r\n\t\t- 使用Ar 離子鎗 NT$100 /hr。
\r\n\t\t- 使用電荷補償鎗 NT$100 /hr。
\r\n\t\t- 使用UPS NT$120/hr。
\r\n\t\t- 急件收費為標準收費之2倍計價。
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 自行操作：收費標準為基本使用費 NT$400 /hr，其餘皆與委託同。
\r\n\t- 教育訓練之費用，皆照技術員操作服務計費（收費標準：每小時 NT$500），B級受訓請預約四個時段；A級受訓請預約一個時段，並說明為training所用之預約。
\r\n
\r\n\r\n
回件時間
\r\n依待測樣品數量及預約時間而定，約2週~1個月。
\r\n
\r\n\r\n
\r\n
\r\n\t- 黃綉吟 小姐
\r\n\t- 儀器操作員
\r\n\t![\"連絡電話\"](\"/userfiles/editor/ic_phone.svg\")
(03)5712121#55358（EF110 辦公室）＃55339（EF215實驗室）![\"mail\"](\"/userfiles/editor/ic_mail.svg\")
yuffie@nycu.edu.tw
\r\n
\r\n
\r\n\r\n\r\n
\r\n\r\n\r\n
\r\n\r\n\r\n
儀器室地點:國立交通大學 材料系工程六館EF215室","page6Title":"參考資料","page6":"\r\n\r\n\r\n
\r\n\t- XPS Reference (From Thermo Sientific)—分析圖譜時可參考。\r\n\t
\r\n\t\t-
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- UPS功能應用和Avatage數據處理\r\n\t
\r\n\t\t![\"UPS功能應用和Avatage數據處理\"](\"/userfiles/file/pdf.png\")
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- High Resolution Dual-Beam Focused Ion Beam Microscope\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 英文簡稱：FIB Microscope
\r\n\t\t- 廠牌型號：ZEISS, Crossbeam 350
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：吳文偉 教授\r\n\t
\r\n\t\t- 03-5712121分機 55395
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器諮詢與操作服務：03-5712121分機 55346 \r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 工程六館EF-104
\r\n
\r\n
\r\n
儀器廠牌、型號、購置年限
\r\n\r\n
\r\n\t- 廠牌：蔡司 ZEISS
\r\n\t- 型號：ZEISS Crossbeam 350
\r\n\t- 購置日期：2024/12/11
\r\n
\r\n\r\n
功能
\r\n\r\n
\r\n\t- 電子顯微鏡試樣製備與相關APT試樣製備、EBSD及EDS等多元化分析資訊、大體積3D顯微組織分析
\r\n
\r\n\r\n
重要規格
\r\n\r\n
SEM
\r\n\r\n
\r\n\t- Image resolution：\r\n\t
\r\n\t\t- 0.7 nm (15kV)
\r\n\t\t- 1.4 nm (1kV)
\r\n\t\t- 1.0 nm (1kV, BD mode)
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- Accelerating voltage：0.01 to 30kV
\r\n\t- Specimen bias voltage：0.0 to -5.0kV
\r\n\t- Electron gun：In-lens Schottky Plus filed field emission gun
\r\n
\r\n\r\n
FIB
\r\n\r\n
\r\n\t- Image resolution：3 nm (at 30kV)
\r\n\t- Accelerating voltage：0.5 to 30kV
\r\n\t- Ion source：Ga liquid metal ion source
\r\n
\r\n
\r\n
服務項目
\r\n\r\n
\r\n\t- 普通TEM試片製備，SEM、EBSD等相關樣品製備及基礎分析。
\r\n
\r\n\r\n
系統開放等級
\r\n\r\n
\r\n\t- 一般上班時段： B、C
\r\n\t- 夜間及假日時段：A
\r\n
\r\n\r\n
附註：
\r\n\r\n
\r\n\t- C級：由本實驗室之技術人員接受委託服務，不開放使用。
\r\n\t- B級：每位教授指派一位學生申請訓練，該教授之其他學生需由接受訓練的學生代為操作，若有教授使用該儀器之學生過多者，可向儀器負責人申請增加接受訓練學生人數。
\r\n\t- A級：擁有B級執照且操作滿300小時，經大小助教核可。
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\t開放時間表\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 日期 / 時段 | \r\n\t\t\t上午 | \r\n\t\t\t下午 | \r\n\t\t\t晚上 | \r\n\t\t
\r\n\t\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 週一 | \r\n\t\t\t08:00-12:00(校外委託操作) | \r\n\t\t\t13:00-17:00(儀器維護) | \r\n\t\t\t18:00-22:00(校內外A級自行操作) | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 週二 | \r\n\t\t\t08:00-12:00(校外委託操作) | \r\n\t\t\t13:00-17:00(校內委託操作) | \r\n\t\t\t18:00-22:00(校內外A級自行操作) | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 週三 | \r\n\t\t\t08:00-12:00(校外委託操作) | \r\n\t\t\t13:00-17:00(校內外B級自行操作) | \r\n\t\t\t18:00-22:00(校內外A級自行操作) | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 週四 | \r\n\t\t\t08:00-12:00(校外委託操作) | \r\n\t\t\t13:00-17:00(訓練及考核) | \r\n\t\t\t18:00-22:00(校內外A級自行操作) | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 週五 | \r\n\t\t\t08:00-12:00(校外委託操作) | \r\n\t\t\t13:00-17:00(校內外B級自行操作) | \r\n\t\t\t18:00-22:00(校內外A級自行操作) | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 週六 | \r\n\t\t\t08:00-12:00(校內外A級自行操作) | \r\n\t\t\t13:00-17:00(校內外A級自行操作) | \r\n\t\t\t18:00-22:00(校內外A級自行操作) | \r\n\t\t
\r\n\t\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\t收費標準\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 服務項目 | \r\n\t\t\tBilling item | \r\n\t\t\t計畫預約 | \r\n\t\t\t非計畫預約 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 委託 | \r\n\t\t\t自行操作 | \r\n\t\t\t委託 | \r\n\t\t\t自行操作 | \r\n\t\t
\r\n\t\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 電子顯微鏡試片製備 | \r\n\t\t\tTEM Lamella | \r\n\t\t\t3000 | \r\n\t\t\t1200 | \r\n\t\t\t8000 | \r\n\t\t\t不開放 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 背向散射電子繞射技術 | \r\n\t\t\tEBSD | \r\n\t\t\t800 | \r\n\t\t\t400 | \r\n\t\t\t2400 | \r\n\t\t\t不開放 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| EDS-點分析 | \r\n\t\t\tAnalysis at point | \r\n\t\t\t200 | \r\n\t\t\t100 | \r\n\t\t\t400 | \r\n\t\t\t不開放 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| EDS-線分析 | \r\n\t\t\tAnalysis at line scan | \r\n\t\t\t240 | \r\n\t\t\t120 | \r\n\t\t\t500 | \r\n\t\t\t不開放 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| EDS-面分析 | \r\n\t\t\tAnalysis at map | \r\n\t\t\t320 | \r\n\t\t\t150 | \r\n\t\t\t600 | \r\n\t\t\t不開放 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 鍍白金 | \r\n\t\t\tCoating Pt (0.1hr) | \r\n\t\t\t300 | \r\n\t\t\t300 | \r\n\t\t\t600 | \r\n\t\t\t不開放 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t超時服務
\r\n\t\t\t(每小時) | \r\n\t\t\tOvertime Operation / hr | \r\n\t\t\t5000 | \r\n\t\t\t3200 | \r\n\t\t\t10000 | \r\n\t\t\t不開放 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t技術員操作
\r\n\t\t\t(3小時) | \r\n\t\t\tOperation by technician / 3hr | \r\n\t\t\t9000 | \r\n\t\t\t | \r\n\t\t\t24000 | \r\n\t\t\t不開放 | \r\n\t\t
\r\n\t\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
儀器訓練
\r\n\r\n
\r\n\r\n
(若2日無回覆，請寄給另外一位助教)
\r\n
\r\n儀器預約
\r\n請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約時段
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
吳文偉 教授
\r\n\r\n
儀器專家
\r\n\r\n
\r\n
電話：03-5712121分機
\r\n\r\n
55395
\r\n
\r\n\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n
\r\n
蔡震東 同學
\r\n\r\n
儀器技術員
\r\n\r\n
\r\n
電話：03-5712121分機
\r\n\r\n
55346
\r\n
\r\n\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n
\r\n
黃華靜 同學
\r\n\r\n
儀器技術員
\r\n\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- Superconducting Quantum Interference Device\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 英文簡稱：SQUID
\r\n\t\t- 廠牌型號：MPMS 3
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：\r\n\t
\r\n\t\t- 林俊源 教授\r\n\t\t\r\n\t\t
\r\n\t\t- 曾奕 助理教授\r\n\t\t\r\n\t\t
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器諮詢與操作服務：鄭美娟 小姐\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 基礎科學教學研究大樓 (科學三館) SC028室
\r\n
\r\n
\r\n
儀器廠牌、型號、購置年限
\r\n廠牌：MPMS 3
\r\n購置年限：2019年4月
\r\n
\r\n重要規格
\r\n\r\n
\r\n\t- 外加磁場: ±7T
\r\n\t- 溫度區間: 2K~350K
\r\n\t- 磁矩範圍：+-10emu
\r\n\t- AC頻率區間:0.1Hz~1000Hz
\r\n\t- AC振幅大小:0.1Oe~10Oe
\r\n\t- Oven 溫度區間: 300K~1000K
\r\n
\r\n
\r\n
服務項目
\r\n\r\n
\r\n\t- 磁化率M-T
\r\n\t- 磁滯曲線M-H
\r\n\t- AC量測
\r\n\t- 高溫Oven(T＞ 350K)
\r\n\t- Rotator 角度依賴磁性量測(旋轉角度> 360°、解析度 0.1°，350 K以下DC量測)
\r\n\t- **本儀器定期校正比對，若量測資料有誤，請立即指正，經重測確定有誤，該樣品不予收費。
\r\n
\r\n\r\n
儀器操作預約：請至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約
\r\n
\r\n
系統開放等級：D級
\r\n
\r\n
系統開放等級說明\r\n
\r\n\t- A級：開放給需要使用之學生，經訓練考核後可自行操作。
\r\n\t- B級：每位教授指派一位學生申請訓練，該教授之其他學生需由接受訓練的學生代為操作，若有教授使用該儀器之學生過多者，可向儀器負責人申請增加接受訓練學生人數。
\r\n\t- C級：由儀器負責人選定教授推薦之學生若干人接受訓練，經考核後可自行操作儀器並得負責委託服務工作。
\r\n\t- D級：由本實驗室之技術人員接受委託服務，不開放使用。
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
開放時間表
\r\n星期一~星期五 8:00AM~12:00AM,1:00PM~5:00PM
\r\n
\r\n
收費標準（單位：NTD）
\r\n\r\n
\r\n\t- 國科會計畫使用費：(<350K) *$275 /小時\r\n\t
\r\n\t\t- 高溫(>350K)與rotator量測 $440 /小時
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 非國科會計畫使用費：(<350K)*$1,200 /小時\r\n\t
\r\n\t\t- 高溫(>350K)與rotator量測 $2,300 /小時
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n\r\n
**********************************************************************************
\r\n計費時數：基礎時數+檢測時數，以每小時為單位，不足1小時者以1小時計。
\r\n\r\n
基礎時數：設備破真空每次以0.5小時計。
\r\n\r\n
檢測時數：破真空開始計算，至量測結束，恢復初始狀態止(300 K及0 Oe 穩態)。
\r\n**************************************************************************************
\r\n\r\n
\r\n\t- 優惠：\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 若有因SQUID實驗服務所衍生之學術產出(指SCI、EI、IEEE收錄已發表期刊論文)，並提供論文資訊(作者、論文名稱、期刊名稱、日期、卷期、起迄頁碼)，經確認後，將於下次使用儀器後直接進行時數減免，感謝您的支持。
\r\n\t\t範例：
\r\n\t\tThe authors gratefully acknowledge the use of the “ Magnetic Property Measurement System(Superconducting Quantum Interference Device)” belonging to the Instrumentation Resource Center of National Yang Ming Chiao Tung University. \r\n\t\t- *若提供之論文為儀器協助研究成果產出，但未標記屬核心設施服務成果, 每篇可提供免費5小時實驗服務
\r\n\t\t*若提供之論文於致謝欄、材料與方法或內文中有提及對該儀器、服務中心致謝詞之情形, 每篇可提供免費10小時實驗服務(煩請提供整篇論文與致謝位置) \r\n\t\t- 貴儀SQUID經儀器專家召開『超導量子干涉儀管理委員會』擬訂，為優惠長期使用SQUID用戶，年度累積『實驗現金』超過2萬以上者，將享有八折方案。
\r\n\t
\r\n\t \r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- Spherical Aberration Corrected Scanning Transmission Electron Microscope\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 英文簡稱：Cs-corrected STEM
\r\n\t\t- 廠牌型號：JEOL ARM200F
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：簡紋濱 教授\r\n\t
\r\n\t\t- 03-5712121分機 56159
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：陳智彥 副教授\r\n\t
\r\n\t\t- 03-5712121分機 56118
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器顧問：張立 教授\r\n\t
\r\n\t\t- 03-5712121分機 31615
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器諮詢與操作服務：徐淑琪 小姐\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 基礎科學教學研究大樓 (科學三館) 地下一樓 SC022室
\r\n
\r\n
\r\n
儀器資訊
\r\n購置日期：2011年12月
\r\n加入貴儀日期：2012年6月
\r\n經費來源：國科會、教育部、國立陽明交通大學
\r\n
\r\n儀器重要規格
\r\n\r\n
\r\n\t- 加速電壓：200 kV
\r\n\t- 電子槍系統：Schottky Field Emission Gun (FEG)
\r\n\t- 解析度(200kV)：\r\n\t
\r\n\t\t- TEM Lattice resolution：0.072 nm
\r\n\t\t- TEM Point resolution：0.190 nm
\r\n\t\t- TEM Optical information limit：0.107 nm
\r\n\t\t- HRTEM mode (UHR pole piece, Cs = 0.5 mm, Cc = 1.1 mm)
\r\n\t\t- STEM BF image resolution：0.136 nm
\r\n\t\t- STEM HAADF image resolution：0.082 nm
\r\n\t\t- STEM aberration free area angle：36.63 mrad
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 雙傾斜試片座其試片傾斜角度：正負25度。
\r\n\t- STEM球像差修正器(Spherical aberration Corrector)。
\r\n\t- STEM BF/HAADF檢測器(High Angle Annual Dark Field Detector)。
\r\n\t- X光能量散佈分析儀(EDS) : Si drift detector (SDD), Energy resolution 127eV。
\r\n
\r\n
\r\n
服務項目
\r\nTEM明視野影像(Bright Field)、高分辨影像(HRTEM)、STEM影像(ABF/HAADF)；不提供直接擇區繞射圖形(SAD)之儲存，但可儲存經由軟體處理轉換的繞射圖形。奈米尺寸之X光EDS能譜(B5~U92)，STEM包含EDS Point ID/Line Scan/Mapping。
\r\n
\r\n儀器預約辦法
\r\n\r\n
\r\n\t- 儀器預約請上國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約
\r\n\t- 每月20日中午12點開放次月TEM預約，預約5日內回傳預約申請單，預約申請單未回傳視為預約未完成，本單位有權取消該次時段。
\r\n\t- 欲取消預約請在五天前，自行上網取消，當日實驗未到且未電話通知者，視為爽約，該時段仍扣款原預約時段三小時費用。
\r\n\t- 欲取消預約但已少於五天內(不含實驗當日)，無法自行取消者，請先電話連絡或寫信告知，該時段仍扣款一小時基本費。
\r\n\t- 預約申請單繳交，請拍照或掃描傳送至技術員信箱nctu.arm200f@gmail.com
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\t\r\n\t\r\n\t開放時段\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t開放時間
\r\n\t\t\t(2017年5月起適用) | \r\n\t\t\t上午 | \r\n\t\t\t中午 | \r\n\t\t\t下午 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 星期一 | \r\n\t\t\t09:00 – 12:00
\r\n\t\t\t委託操作 | \r\n\t\t\t13:30 – 16:30
\r\n\t\t\t委託操作 | \r\n\t\t\t18:00 – 21:00
\r\n\t\t\t自行操作 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 星期二 | \r\n\t\t\t09:00 – 12:00
\r\n\t\t\t委託操作 | \r\n\t\t\t13:30 – 16:30
\r\n\t\t\t委託操作 | \r\n\t\t\t18:00 – 21:00
\r\n\t\t\t自行操作 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 星期三 | \r\n\t\t\t09:00 – 12:00
\r\n\t\t\t委託操作 | \r\n\t\t\t13:30 – 16:30
\r\n\t\t\t委託操作 | \r\n\t\t\t18:00 – 21:00
\r\n\t\t\t自行操作 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 星期四 | \r\n\t\t\t09:00 – 12:00
\r\n\t\t\t委託操作 | \r\n\t\t\t13:30 – 16:30
\r\n\t\t\t委託操作 | \r\n\t\t\t18:00 – 21:00
\r\n\t\t\t自行操作 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 星期五 | \r\n\t\t\t09:00 – 12:00
\r\n\t\t\t自行操作 | \r\n\t\t\t13:30 – 16:30
\r\n\t\t\t自行操作 | \r\n\t\t\t18:00 – 21:00
\r\n\t\t\t自行操作 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 星期六 | \r\n\t\t\t09:00 – 12:00
\r\n\t\t\t自行操作 | \r\n\t\t\t13:30 – 16:30
\r\n\t\t\t自行操作 | \r\n\t\t\t18:00 – 21:00
\r\n\t\t\t自行操作 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 星期日 | \r\n\t\t\t09:00 – 12:00
\r\n\t\t\t自行操作 | \r\n\t\t\t13:30 – 16:30
\r\n\t\t\t自行操作 | \r\n\t\t\t18:00 – 21:00
\r\n\t\t\t自行操作 | \r\n\t\t
\r\n\t\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n系統開放等級
\r\n\r\n
\r\n\t- A級.委託服務，由本實驗室技術人員操作。
\r\n\t- B級.由儀器負責人選定教授推薦之學生若干人接受訓練，需先通過研究所電子顯微鏡學的課程，經考核通過後可自行操作儀器並得負責委託服務工作。
\r\n\t- C級.限定每位教授/實驗室一名博士班三年級以下學生，需先通過研究所電子顯微鏡學的課程，且必須具有交通大學奈米科技中心JEOL-2100F考核通過的使用資格方可申請接受訓練。訓練時間為20個時段，考核通過標準以STEM解析度0.08nm為合格，訓練費用依照委託操作收費標準收取。未通過考核之前除技術員或助教在旁協助，嚴禁自行操作；通過執照考核後取得C級資格，即可自行操作。
\r\n
\r\n
\r\n
收費標準
\r\n\r\n
\r\n\t- TEM/STEM/EDS (試片安裝、真空抽取、電子光學校準、檔案傳輸亦涵蓋在時段內)
\r\n\t- 1. 委託操作：NT$1,920 /時段，每一時段以三小時計，未滿者亦以一時段計費，超過一小時加收 NT$640。業界單位委託操作比照上述委託時段收費，NT$19,200 /時段。
\r\n\t- 2. 自行操作：NT$750 /時段，每一時段以三小時計，未滿者亦以一時段計，超過一小時加收 NT$250。
\r\n\t- 3. TEM影像檔及EDS檔案每張處理費用 NT$15。(本儀器無底片存取裝置)為避免設備中毒，禁用隨身碟進行資料傳輸；請自備可燒錄之空白光碟儲存資料(VCD/DVD皆可)。
\r\n
\r\n
\r\n
管理辦法及試片限制
\r\n\r\n
\r\n\t- 本實驗室非TEM試片製作單位，請先準備可觀察之TEM試片來進行實驗。
\r\n\t- 待測樣品應為固態材料且應具有適當、足夠的機械強度，以避免在進出電鏡或在檢測的操作過程中，發生剝落、碎裂的狀況，恕不受理。
\r\n\t- 低熔點的材料如銦、錫等，會產生相變及蒸鍍效應，恕不受理。
\r\n\t- 在電子束照射下會分解或釋出氣體且礙及真空之樣品，如有機物、高分子、生物性或鐵磁性粉末樣品等，恕不受理。
\r\n\t- 具強磁性、磁性或易被電磁透鏡吸引的粉末形式樣品或材料，如鐵、鈷、鎳…等粉體，恕不受理。
\r\n\t- 具有放射性或毒性之樣品，恕不受理。
\r\n\t- In-situ及加熱型測試服務，恕不受理。
\r\n\t- 所有以水溶液滴到銅網上樣品，皆需要經過充分乾燥除去水氣；樣品送到本實驗室後，仍需經過本實驗室人員再次烘烤十分鐘後才可以上機。若因試片充滿水氣而造成機台汙染，則預約單位需要共同負擔機台維修費用。
\r\n\t- 待測樣品若因清淨度或其他非顯微鏡因素而無法得到規格之解析度，仍依上述收費標準收取費用。[STEM < 0.1 nm resolution需要較長調校時間，且樣品需要具有適當之區域及經過電子束輻照(Beam showering)]
\r\n\t- 委託操作者上機之前，本單位會再次要求確認送來檢測的樣品種類，請委託者誠實申報。如果發現申報不實，本單位將取消其所屬實驗室的所有人預約資格六個月。若因違反上述規定而造成儀器污染或損壞時，所隸屬單位及其指導教授須負責賠償，賠償費用由原廠評估，再由管理委員會決議後執行並暫停儀器之使用權。
\r\n\t- 具自行操作資格人員，若擅自使用CCD直接拍攝繞射圖形或擅自放入上述有害的試樣於本儀器者，加重處罰吊銷其操作資格一年。若因違反上述規定而造成儀器污染或損壞時，所隸屬單位及其指導教授須負責賠償，賠償費用由原廠評估，再由管理委員會決議後執行並暫停儀器之使用權。
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
簡紋濱 教授
\r\n\r\n
儀器專家
\r\n\r\n
\r\n
03-5712121分機 56159
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n
\r\n
陳智彥 副教授
\r\n\r\n
儀器專家
\r\n\r\n
\r\n
03-5712121分機 56118
\r\n
\r\n\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n
\r\n
張立 教授
\r\n\r\n
儀器顧問
\r\n\r\n
\r\n
03-5712121分機 31615
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n
\r\n
徐淑琪 小姐
\r\n\r\n
儀器諮詢與操作服務
\r\n\r\n
\r\n
03-5712121分機 56156
\r\n
\r\n\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- High performance low temperature and multi-function X-ray diffractometer\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 英文簡稱：Low Temperature XRD
\r\n\t\t- 廠牌型號：Bruker, D8 Discover X-ray Diffraction System
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：郭昌洋 副教授\r\n\t
\r\n\t\t- 03-5712121分機 56179
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器諮詢與操作服務：楊小瑛 小姐\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 基礎科學教學研究大樓 (科學三館) SC026室
\r\n\t- 歡迎直接私訊 FB粉絲團 詢問業務或數據問題
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儀器廠牌、型號、購置年限
\r\n廠牌：Bruker
\r\n型號：D8 Discover X-ray Diffraction System
\r\n購置年限：2013年7月
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\r\n重要規格
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\r\n\t- 可切換式光源 (Bragg Brentano/ Parallel Beam)
\r\n\t- 可切換式偵測器 (LYNXEYE XE-T 0D/1D)
\r\n\t- 超低溫樣品量測系統 (12 K – 300 K)
\r\n\t- 五軸可變樣品載台 (X, Y, Z, Chi, Phi)
\r\n\t- 單光器 (Monochromator: 2-bounce Ge(004)、2-bounce Ge(022))
\r\n\t- 量測應用: 鏡面X射線反射率量測 (X-ray reflectivity, XRR)、倒易空間圖譜量測 (Reciprocal Space Map, RSM)、殘餘應力量測 (Residual Stress)
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服務項目
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\r\n\t- 粉末樣品：廣角繞射(WAG)
\r\n\t- 單晶樣品：廣角繞射(WAG)、Rocking Curve
\r\n\t- 薄膜樣品：廣角繞射(WAG)、低掠角薄膜繞射(GIXRD)、Rocking Curve
\r\n\t- 磊晶樣品: Rocking Curve、RSM、XRR
\r\n\t- 塊材、薄膜樣品: Residual Stress
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系統開放等級
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\r\n\t- 委託操作優先時段：周一至周五0800-1200、1300-1700
\r\n\t- 可自行操作時段：周一至周五1800-2400、周六至週日0800-2400
\r\n\t- 附註：少量樣品建議委託操作，建議送件委託操作前先研究相關文獻資訊，直接送件與操作員討論亦可。大量樣品可委託操作或與儀器操作員討論安排自行操作訓練。
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管理辦法及使用辦法
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\r\n\t- 本服務採取時段預約，請於實驗前與儀器操作員確認實驗條件、時間與樣品限制。
\r\n\t- 本服務亦含有急件樣品申請，若有需求請預約後與技術員聯絡並說明。
\r\n\t- 本系統每週開放服務五天，每天上午八點至十二點，下午一點至五點。
\r\n\t- 本系統服務以一小時為一單元，總計每週開放服務四十單元。
\r\n\t- 每週有二十八單元由校外計畫優先預約使用，十二單元由校內計畫優先預約使用。
\r\n\t- 一年內累積爽約三次，停止預約資格六個月。
\r\n\t- 不當使用造成設備受損，除其指導老師負責賠償外，使用者停止其使用資格。
\r\n\t- 若預約時段與廠商儀器維護時段相衝，以儀器維護優先。
\r\n\t- 請共同維護室內的整潔，不要將食物帶入實驗室之內，離開時請將椅子排放整齊。
\r\n\t- 門禁電腦請勿任意關機，更嚴禁安裝任何遊戲及非法軟體，不可變更系統設定及上網。
\r\n\t- 實驗室內之所有設備、軟體屬於系上財產，不可偷竊及破壞，否則追究相關責任。
\r\n\t- 為大家及儀器狀況著想，請每位使用者切勿為個人之私而影響大家使用權利，故以上規則請大家確實遵守，如有違者，將視情節輕重予以警告或停權，謝謝！
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儀器訓練操作申請須知
\r\n儀器將不定期開設陽明交大校內操作訓練課程，請先通過陽明交大環安系統3小時輻安課程，取得證書後始得報名 XRD 訓練課程。請密切留意FB粉絲團公告，或與校內分機 56144 楊小姐聯絡詢問開課日期。
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\r\n儀器預約及實驗流程
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\r\n\t- 請使用Chrome 瀏覽器至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約序號 (若不清楚預約流程，可參考附件二)，預約完成後請填妥預約單，若不知參數如何填寫，請填寫「協助決定參數」。
\r\n\t- 一般樣品(需陪同量測或親自送件)：與技術員確認實驗時間，再將樣品與預約單一併送至交大校區科學三館 SC026室。
\r\n\t- 一般樣品(直接寄件)：將樣品及預約單一併寄至「新竹市大學路1001號 科學三館 SC026室（國立陽明交通大學電子物理系）楊小瑛小姐收」，預約人及指導教授需於預約單上簽名或蓋章，將依照用戶預約順序及樣品抵達時間安排量測。
\r\n\t- 急件樣品：請直接與分機 56144 楊小姐聯繫確認，若用戶或實驗室之前期刊論文有列本儀器於誌謝欄，可為用戶安排急件量測，量測費用亦做優惠處理。
\r\n\t- 若因系統問題無法正常預約，或是額滿無法預約者，也請直接連絡技術員詢問。
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儀器諮詢與操作服務
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\r\n\t- 楊小瑛 研究助理
\r\n\t- 03-5712121 ext. 56144
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\r\n\t- Cryogenic Cathodoluminescence System\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 英文簡稱：CL
\r\n\t\t- 廠牌型號：Attolight Allalin TRCL
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：林烜輝 教授\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器專家：吳建德 副教授\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器顧問：周武清 教授\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器諮詢與操作服務：潘尚德 博士(Dr. Stefan Todorov Petrov)\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：光復校區 基礎科學教學研究大樓 (科學三館) SC023室
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儀器廠牌、型號、購置年限
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\r\n\t- 廠牌型號：Attolight Allalin TRCL
\r\n\t- 購置年度：2025
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功能
\r\n除可進行低溫陰極螢光分析，還具備時間解析功能，可獲取奈米空間和皮秒時間分辨率的動態光譜資訊，以實現載子動力學和壽命的研究。
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\r\n\r\n
重要規格
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\r\n\t- Acceleration voltage: 2 - 10 kV
\r\n\t- Large FoV: 300 µm-diameter
\r\n\t- Detection range: 200 - 1060 nm (CCD); 200-650 nm (PMT)
\r\n\t- Spatial resolution:\r\n\t
\r\n\t\t- CW e-beam: < 10 nm (3-10keV)
\r\n\t\t- Pulsed e-beam: ~50 nm on average
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服務項目
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\r\n\t- 室溫陰極螢光分析(Room temp. cathodoluminescence)
\r\n\t- 低溫及變溫陰極螢光分析(Low temp./temp. dependence cathodoluminescence)
\r\n\t- 時間分辨陰極螢光分析(Time-resolved Cathodoluminescence)
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系統開放等級
\r\n一般上班時段(週一到週五)：D級
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間及假日時段：不開放
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\r\n附註
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\r\n\t- A級：開放給需要使用之學生，經訓練考核後可自行操作。
\r\n\t- B級：每位教授指派一位學生申請訓練，該教授之其他學生需由接受訓練的學生代為操作，若有教授使用該儀器之學生過多者，可向儀器負責人申請增加接受訓練學生人數。
\r\n\t- C級：由儀器負責人選定教授推薦之學生若干人接受訓練，經考核後可自行操作儀器並得負責委託服務工作。
\r\n\t- D級：由本實驗室之技術人員接受委託服務，不開放使用。
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\r\n\t收費標準(單位：NTD)\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 服務項目 | \r\n\t\t\t計畫預約 | \r\n\t\t\t非計畫預約 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 委託 | \r\n\t\t\t自行操作 | \r\n\t\t\t委託 | \r\n\t\t\t自行操作 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 室溫陰極螢光分析 | \r\n\t\t\t300/時 | \r\n\t\t\t- | \r\n\t\t\t3000/時 | \r\n\t\t\t- | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 低溫及變溫陰極螢光分析 | \r\n\t\t\t800/時 | \r\n\t\t\t- | \r\n\t\t\t8000/時 | \r\n\t\t\t- | \r\n\t\t
\r\n\t\r\n
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\r\n\t開放時間表\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t| | \r\n\t\t\t上午 | \r\n\t\t\t下午 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 週一至週五 | \r\n\t\t\t08: 30 至 12: 30
\r\n\t\t\t(校內優先登記) | \r\n\t\t\t13 : 30 至 17:30
\r\n\t\t\t(校外優先登記) | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 週六 | \r\n\t\t\t不開放 | \r\n\t\t\t不開放 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 週日 | \r\n\t\t\t不開放 | \r\n\t\t\t不開放 | \r\n\t\t
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\r\n
儀器專家：
\r\n\r\n
\r\n\t- 林烜輝 教授\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 吳建德 副教授\r\n\t\r\n\t
\r\n
\r\n\r\n
儀器顧問：
\r\n\r\n
\r\n\t- 周武清 教授\r\n\t\r\n\t
\r\n
\r\n\r\n
儀器操作技術員：潘尚德 博士(Dr. Stefan Todorov Petrov)
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\r\n\t- 預訂連結Link for reservation: https://vir.nstc.gov.tw/\r\n\t
\r\n\t\t- 實驗前諮詢專線:\r\n\t\t\r\n\t\t
\r\n\t\t- 開放預約:每月25日10:00 /開放時段預約:1個月/預約前置天數:3天前(除週末及假日)\r\n\t\t
\r\n\t\t\t- Ex: 3/25 可預約何時： 3/28~4/30
\r\n\t\t
\r\n\t\t \r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 服務時間：每天 8 小時，每週 5 天\r\n\t
\r\n\t\t- 註：每日8:30-9:00、17:00-17:30為系統維護時間
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 取消預訂\r\n\t
\r\n\t\t- 使用者只有在實驗計劃開始前至少 24 小時通知技術人員才能取消
\r\n\t\t- 請使用者在電子郵件中註明取消的原因
\r\n\t\t- 如果使用者延遲取消預約，其預約許可將從取消之日起暫停一個月。
\r\n\t\t- 每年累計逾期取消3次，自最後一次取消日起，預約許可證將暫停6個月。
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 其他\r\n\t
\r\n\t\t- 若預約時間與訓練時間發生衝突，則以訓練時間優先。
\r\n\t\t- 若預約時間與廠商維修時間衝突，則以廠商維修時間優先。
\r\n\t\t- 為了維持實驗環境的清潔，實驗室內嚴禁飲食。
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\r\n\t \r\n
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\r\n
目前，CL系統尚未開放使用者培訓。
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\r\n\t- Orbitrap Fusion Lumos Tribrid Mass Spectrometer\r\n\r\n\t
\r\n\t\t- 英文簡稱：Orbitrap Fusion Lumos
\r\n\t\t- 廠牌：ThermoFisher
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：蔡有光 教授\r\n\t
\r\n\t\t- (02)2826-7000分機 67119
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器專家：廖辰中 博士\r\n\t
\r\n\t\t- (02)2826-7000分機 67382
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 儀器諮詢與操作服務：黃佩萱 小姐、 李婕綾 小姐\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：陽明校區 圖資大樓 647室
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儀器廠牌、型號、購置年限
\r\n廠牌：ThermoFisher
\r\n型號：Orbitrap Fusion™ Lumos™ Tribrid™ Mass Spectrometer
\r\n購置年限：2022年
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\r\n重要規格
\r\nOrbitrap Fusion Lumos同時包含四極桿質量選擇器、兩段式線性離子阱質量分析器及傅立葉轉換電場軌道阱質量分析器，搭載奈米微流液相層析系統 (Vanquish Neo UHPLC )，具有碰撞誘導解離技術(CID)與高能量碰撞誘導解離技術(HCD)。
\r\n
\r\n
\r\n\t- 儀器使用需事先預約：請先諮詢管理人員確認分析模式，並至國科會基礎研究核心設施預約服務資訊系統預約上機時段。
\r\n\t- 待測樣品可親送或宅配至辦公室 收件時間 : 周一 ~周五 9:00~17:00
\r\n\t- 收件地址 : 11221 台北市北投區立農街二段155號 圖資大樓 R648 收件單位 : 國立陽明交通大學 質譜儀設施
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\r\n\r\n
\r\n
\r\n
服務項目與收費標準：
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\r\n\t- 此質譜儀僅接受委託服務，均由管理人員代為操作，儀器不開放親自操作
\r\n\t- 送樣前先與管理人員確認分析模式。
\r\n\t- 待測樣品不可含鹽類與介面活性劑。
\r\n\t- 此質譜儀收費依預約時數累積計費，需連同儀器運行時系統清洗與平衡時間計算登記。
\r\n
\r\n\r\n
服務項目：質譜儀上機費 (單位：NTD)
\r\n說明：依樣品實際分析時間累積計費(需連同計算系統清洗與平衡時間)
\r\n\r\n
\r\n\t- 學術單位-國科會計畫預約收費：$1200 /hr
\r\n\t- 學術單位-非國科會計畫預約收費：$1800 /hr
\r\n\t- 產業單位收費：$3600 /hr
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\r\n
\r\n\t- 諮詢管理人員確認送樣細節
\r\n\t- 至國科會基礎研究核心設施預約服務資訊系統預約上機時段，並填寫相關文件。
\r\n\t- 依照約定時段寄送待測樣品。
\r\n\t- 管理人收到樣品後，將視儀器狀況安排上機。
\r\n\t- 分析完成後，即可取回數據。
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\r\n\r\n
\r\n\t- Milabs U-CTHR
\r\n\t- 儀器專家：林慶波 教授\r\n\t
\r\n\t\t- (02)2826-7000分機 67338
\r\n\t
\r\n\t \r\n\t- 管理單位：陽明校區 腦科學研究中心 小動物影像核心設施
\r\n\t- 儀器諮詢與操作服務：王寶喦 小姐\r\n\t\r\n\t
\r\n\t- 儀器位置：陽明校區 實驗動物中心 東側
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\r\n
\r\n
Milabs CT具備快速掃描及低劑量X射線下進行超高分辨率掃描，最高分辨率可到10um，適合用在活體動物解剖影像掃描、血管造影、骨頭標本、及生物材料等研究上。
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骨頭影像
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肺部影像
\r\n\r\n
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牙齒3D表面影像模擬
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對比劑血管影像3D模擬
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\r\n
\r\n\t- 目前開放時間為周一至周五上午9點至下午5點(例假日不開放)。
\r\n\t- 其餘時段視儀器使用情形及技術人員狀況另行公告後開放。
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\r\n
預約使用
\r\n\r\n
\r\n\t- 儀器預約前請先email(nycu.saic@gmail.com)，與操作人員確認實驗內容，及相關參數設定，確認後須透過【國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統】登錄預約，取得電子預約序號始接受預約。
\r\n\t- 因儀器操作需有可發生游離輻射設備操作證照人員操作，目前均由管理人員代為操作，暫不開放親自操作。
\r\n\t- 服務以一小時為一單元計費。
\r\n\t- 實驗超過預約時間時，若後續有其他單位預約，經該單位同意後最多可延長使用十分鐘；若後續無其他單位預約，使用者可延長使用時間，延長超過二十分鐘者，將按照時間收費，不足一小時以一小時計算。
\r\n\t- 請按預約時段準時到達，遲到者不得要求延後上機，遲到三十分鐘，即視為預約未到並取消當次時段不退費，多次遲到或未到之使用者，本設施會對使用者做停權處分 。
\r\n
\r\n\r\n
\r\n儀器使用規範
\r\n\r\n
\r\n\t- 因電腦儲存空間有限，影像檔案最多保留30天，如遇機器損壞檔案毀損恕不負責。
\r\n\t- 現行以一般動物(代養於動物中心或動物中心認可之暫留室)、組織及細胞樣本為主，暫不開放感染性動物及樣本。
\r\n\t- 目前僅提供機器造影服務，不提供分析服務、造影劑(CT對比劑、冷光素等…)、麻醉劑(isoflurane僅提供氣麻機)及耗材(針、黑卡紙等…)。
\r\n\t- 氣體麻醉裝置禁止使用Isoflurane外之氣體麻醉劑。
\r\n\t- 申請造影即同意承擔動物造影過程中使用Isoflurane麻醉或者施打對比劑後，動物可能因體虛或其他不可抗因素，導致產生失溫、呼吸窘迫等異常狀況導致實驗過程中死亡。
\r\n\t- 本核心設施不負責保管使用者寄放的物品。
\r\n
\r\n
\r\n
\r\n\t- 每位陽明交通大學專任人員擁有兩小時免費操作時數，以利取得初步研究資料（包括老師本人最多只能使用三位老師的免費操作額度）。
\r\n\t- 以陽明交通大學名義發表之文章，並於致謝處感謝陽明交通大學 腦科學研究中心 小動物影像核心設施支援。每篇文章將可扣抵該文章相當之impact factor x 小時之使用費（採進位制，不足一點以一點計算）。每篇文章僅可申請一次。
\r\n\t- 致謝寫法
\r\n\tWe thank the Molecular Imaging Facility Small Animal 儀器名稱 and Brain Research Center at National Yang Ming Chiao Tung University for the technical support. \r\n
\r\n
\r\n
\r\n\t收費標準\r\n\t\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 使用單位 | \r\n\t\t\t國科會計畫 | \r\n\t\t\t非國科會計畫 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 學術單位 | \r\n\t\t\tNT$2,000 /小時 | \r\n\t\t\tNT$3,000 /小時 | \r\n\t\t
\r\n\t\t\r\n\t\t\t| 產業單位 | \r\n\t\t\t- | \r\n\t\t\tNT$4,000 /小時 | \r\n\t\t
\r\n\t\r\n
\r\n\r\n
\r\n\t- 儀器使用費未包含冷光素、對比劑、氣麻劑及正子造影劑等費用。
\r\n\t- 冷光素、對比劑及 isoflurane 等相關耗材須由使用者自備，本小動物影像核心設施不提供。
\r\n
\r\n
申請流程\r\n儀器預約前請先email(
nycu.saic@gmail.com)，與操作人員確認實驗內容，及相關參數設定，確認後須透過【國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統】登錄預約，取得電子預約序號始接受預約。
![\"極端條件X光繞射儀及尖端飛秒動態光譜量測系統\"](\"/userfiles/ordch/images/20240220173928111.jpg\")
![\"連絡電話\"](\"/userfiles/ordch/images/20260323174355958.jpg\")
03-5712121 ext. 56196分機：62382![\"mail\"](\"/userfiles/ordch/images/mail.png\")
cmtu@nycu.edu.tw![\"三五族分子束磊晶系統\"](\"/userfiles/ordch/images/20231020152118322.jpg\")
![\"光罩製作系統\"](\"/userfiles/ordch/images/20231020152755202.jpg\")
![\"圖形產生系統\"](\"/userfiles/ordch/images/20231129152846698.jpg\")
![\"光罩對準曝光機](\"/userfiles/ordch/images/20231020154942711.jpg\")
![\"光罩對準曝光機](\"/userfiles/ordch/images/20231020155942810.jpg\")
![\"氧化擴散系統\"](\"/userfiles/ordch/images/20231020154141768.jpg\")
![\"低壓化學氣相沉積系統\"](\"/userfiles/ordch/images/20231019152357820.jpg\")
![\"電漿輔助化學氣相沉積系統\"](\"/userfiles/ordch/images/20231019153620525.jpg\")
![\"介電材料活性離子蝕刻系統](\"/userfiles/ordch/images/20231019154456996.jpg\")
![\"介電材料活性離子蝕刻系統B\"](\"/userfiles/ordch/images/20231019155430955.jpg\")
![\"冷場發射掃描式電子顯微鏡暨能量散佈分析儀器\"](\"/userfiles/ordch/images/20231019160324194.jpg\")
![\"聚焦離子束與電子束顯微系統\"](\"/userfiles/ordch/images/20231019161808048.jpg\")
![\"高密度活性離子蝕刻系統\"](\"/userfiles/ordch/images/20231019162747863.jpg\")
![\"矽深蝕刻系統\"](\"/userfiles/ordch/images/20231019163412702.jpg\")
![\"矽淺蝕刻系統\"](\"/userfiles/ordch/images/20231019164120559.jpg\")
![\"熱阻絲蒸鍍系統\"](\"/userfiles/ordch/images/20231019164704111.gif\")
![\"雙電子槍蒸鍍系統](\"/userfiles/ordch/images/20231019165613042.jpg\")
![\"雙電子槍蒸鍍系統](\"/userfiles/ordch/images/20231019170237908.jpg\")
![\"高真空鍍膜系統\"](\"/userfiles/ordch/images/20231019172401950.jpg\")
![\"真空濺鍍系統](\"/userfiles/ordch/images/20231020150204108.gif\")
![\"真空濺鍍系統](\"/userfiles/ordch/images/20231020151034757.jpg\")
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