<![CDATA[【奈米製程領域】導電性材料活性離子蝕刻機_矽深蝕刻系統 / SEMI001100]]><![CDATA[<div class="ed_model05 clearfix"> <div class="ed_pic_right"><img alt="矽深蝕刻系統" src="/userfiles/ordch/images/20231019163412702.jpg" /></div> <ul> <li class="ed_txt"><strong><a href="https://nanofc.web.nycu.edu.tw/%e7%9f%bd%e6%b7%b1%e8%9d%95%e5%88%bb%e7%b3%bb%e7%b5%b1si-deep-rie/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="Si Deep-RIE(開啟新視窗)">Si Deep-RIE</a></strong> <ul> <li class="ed_txt">廠牌型號：Oxford Estrelas 100</li> </ul> </li> <li class="ed_txt"><strong>儀器專家：陳冠能教授</strong> <ul> <li class="ed_txt">03-5712121分機 31558</li> </ul> </li> <li class="ed_txt"><strong>儀器設備管理人員：胡進章先生</strong> <ul> <li class="ed_txt">03-5712121分機 55607、55666</li> <li class="ed_txt">信箱 <a href="mailto:jackhu@nycu.edu.tw" title="jackhu@nycu.edu.tw">jackhu@nycu.edu.tw</a></li> </ul> </li> <li class="ed_txt"><strong>儀器設備管理人員：李正維先生</strong> <ul> <li class="ed_txt">03-5712121分機 55660、55666</li> <li class="ed_txt">信箱 <a href="mailto:cwlee@nycu.edu.tw" title="cwlee@nycu.edu.tw">cwlee@nycu.edu.tw</a></li> </ul> </li> <li class="ed_txt"><strong>儀器位置：光復校區固態電子系統大樓 1樓116實驗室</strong></li> </ul> </div>]]>奈米製程領域儀器資源中心115-05-20儀器介紹<div class="ed_model01 clearfix"> <div class="ed_txt"><a href="https://nanofc.web.nycu.edu.tw/%e7%9f%bd%e6%b7%b1%e8%9d%95%e5%88%bb%e7%b3%bb%e7%b5%b1si-deep-rie/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="奈米中心介紹頁連結(開啟新視窗)">奈米中心介紹頁連結</a><br /> <br /> <strong>儀器資訊</strong></div> <ol> <li class="ed_txt">廠牌型號：日本SamCo公司製造 RIE200L</li> <li class="ed_txt">購置年限：2002年12月1日</li> <li class="ed_txt">放置地點：光復校區固態電子系統大樓 1樓116實驗室  (TEL：55666)</li> <li class="ed_txt">功能：蝕刻二氧化矽、氮化矽等材料</li> <li class="ed_txt">重要規格：RF產生器最大可輸出300W，頻率13.56MHz，本蝕刻系統可通入CF4、O2、SF6、CHF3等氣體蝕刻二氧化矽、氮化矽等材料。</li> <li class="ed_txt">儀器可使用之<a href="/userfiles/ordch/files/20240611134752422.pdf" title="特殊製程材料(pdf)">特殊製程材料</a>。</li> </ol> </div>注意事項<div class="ed_model01 clearfix"> <div class="ed_txt"><strong>注意事項</strong></div> <ol> <li class="ed_txt">請詳細說明基底晶片材質，其上含何種物質(如SiO2、光阻等)以及蝕刻後是否要去光阻(需另填寫Wet Bench申請表)。</li> <li class="ed_txt">矽深蝕刻樣品準備請依照<a href="/userfiles/ordch/files/20240611171852309.pdf" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="試片規定(pdf)(開啟新視窗)">試片規定</a>。</li> </ol> </div>自行操作規定<div class="ed_model01 clearfix"> <div class="ed_txt"><strong>自行操作儀器</strong></div> <ol> <li class="ed_txt">取得儀器使用權限說明： <ul> <li class="ed_txt"><a href="https://nanofc.web.nycu.edu.tw/%e5%a5%88%e7%b1%b3%e4%b8%ad%e5%bf%83%e7%94%b3%e8%ab%8b%e6%b5%81%e7%a8%8b/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="白天權限申請流程說明(開啟新視窗)">白天權限申請流程說明</a> (使用權限為星期一至五8:00~17:00)</li> <li class="ed_txt"><a href="https://nanofc.web.nycu.edu.tw/24%e5%b0%8f%e6%99%82%e5%90%ab%e5%81%87%e6%97%a5%e9%96%80%e7%a6%81%e5%8f%8a%e8%a8%ad%e5%82%99%e6%ac%8a%e9%99%90%e7%94%b3%e8%ab%8b%e6%b5%81%e7%a8%8b/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="24小時申請流程說明(開啟新視窗)">24小時申請流程說明</a> (需有白天權限才可申請)</li> <li class="ed_txt"><a href="https://nanofc.web.nycu.edu.tw/%e5%84%80%e5%99%a8%e7%94%b3%e8%ab%8b%e6%b3%a8%e6%84%8f%e4%ba%8b%e9%a0%85/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="注意事項(開啟新視窗)">注意事項</a> (務必詳讀，以免損失自身權益)</li> <li class="ed_txt">Si Deep-RIE儀器<a href="/userfiles/ordch/files/20240611171820120.pdf" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="操作規範(pdf)(開啟新視窗)">操作規範</a>&<a href="/userfiles/ordch/files/20240611171836526.pdf" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="考核記錄表(pdf)(開啟新視窗)">考核記錄表</a></li> </ul> </li> <li class="ed_txt"><a href="https://nanofc.web.nycu.edu.tw/%e5%84%80%e5%99%a8%e9%96%8b%e6%94%be%e7%ad%89%e7%b4%9a%e3%80%81%e4%ba%ba%e6%95%b8%e3%80%81%e8%a8%93%e7%b7%b4%e6%ac%a1%e6%95%b8open-level-open-people-training-times/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="儀器開放等級及人數(開啟新視窗)">儀器開放等級及人數</a>。</li> <li class="ed_txt">有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用： <ul> <li class="ed_txt">國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統 (取得序號)</li> <li class="ed_txt"><a href="https://nfcmachin.ece.nycu.edu.tw/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="奈米中心儀器預約系統(開啟新視窗)">奈米中心儀器預約系統</a> (使用時段預約)</li> </ul> </li> </ol> </div>委託操作規定<div class="ed_model01 clearfix"> <div class="ed_txt"><strong>委託操作儀器</strong></div> <ol> <li class="ed_txt">有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號，再下載<a href="/userfiles/ordch/files/20240611171910573.odt" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="Si Deep-RIE委託代工申請單(odt)(開啟新視窗)">Si Deep-RIE委託代工申請單</a>，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。</li> <li class="ed_txt">無國科會計畫者，請直接下載<a href="/userfiles/ordch/files/20240611171922754.odt" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="Si Deep-RIE委託代工申請單(odt)(開啟新視窗)">Si Deep-RIE委託代工申請單</a>，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。</li> </ol> </div>收費標準<div class="ed_model01 clearfix"> <div class="ed_txt"><strong>收費資訊</strong></div> <ol> <li class="ed_txt"><span style="color:#ff0000;">有國科會計畫者依計畫付費標準計價，無國科會計畫者依非計畫付費標準計價。</span></li> <li class="ed_txt">收費方式 <ul> <li class="ed_txt">自行操作：收取使用費</li> <li class="ed_txt">委託操作：收取使用費+代工費</li> </ul> </li> <li class="ed_txt">費用查詢連結：https://vir.nstc.gov.tw/VI_SearchResult?item=1</li> </ol> </div>https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/image?module=corefacilities&detailNo=1164482666209218560&init=Y矽深蝕刻系統https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/list?module=corefacilities&id=1721儀器列表https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/list?module=corefacilities&id=1728奈米製程領域儀器https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/view?module=corefacilities&id=1728&serno=236423be-f9a4-465a-a73e-60c91e2a69b2矽淺蝕刻系統https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/view?module=corefacilities&id=1728&serno=a0780a37-29e6-4bb5-bd2f-0192661c9e07高密度活性離子蝕刻系統