<![CDATA[【奈米製程領域】圖形產生系統 / SEMI002701]]><![CDATA[<div class="ed_model09 clearfix">
<div class="ed_pic_right"><img alt="圖形產生系統" src="/userfiles/ordch/images/20231129152846698.jpg" /></div>
<div class="ed_title03">圖形產生系統</div>
<ul>
<li class="ed_txt"><strong><a href="https://nanofc.web.nycu.edu.tw/%e5%9c%96%e5%bd%a2%e7%94%a2%e7%94%9f%e7%b3%bb%e7%b5%b1pattern-generator/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="PATTERN GENERATOR(開啟新視窗)">PATTERN GENERATOR</a></strong>
<ul>
<li class="ed_txt">廠牌型號：Raith VOYAGER</li>
</ul>
</li>
<li class="ed_txt"><strong>儀器專家：李佩雯 教授</strong>
<ul>
<li class="ed_txt">03-5712121分機 54210</li>
</ul>
</li>
<li class="ed_txt"><strong>儀器諮詢與操作服務：蔡慶祥 先生</strong>
<ul>
<li class="ed_txt">03-5712121分機 55605、55616</li>
<li class="ed_txt">信箱 <a href="mailto:ch-tsai@nycu.edu.tw" title="ch-tsai@nycu.edu.tw">ch-tsai@nycu.edu.tw</a></li>
</ul>
</li>
<li class="ed_txt"><strong>儀器位置：光復校區 固態電子系統大樓118室</strong></li>
</ul>
</div>]]>奈米製程領域儀器資源中心115-05-20儀器介紹<div class="ed_model01 clearfix">
<div class="ed_txt"><a href="https://nanofc.web.nycu.edu.tw/%e5%9c%96%e5%bd%a2%e7%94%a2%e7%94%9f%e7%b3%bb%e7%b5%b1pattern-generator/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="奈米中心介紹頁連結(開啟新視窗)">奈米中心介紹頁連結</a><br />
<br />
<strong>儀器資訊</strong></div>
<ol>
<li class="ed_txt">廠牌型號：Raith VOYAGER</li>
<li class="ed_txt">購置年限：2019年</li>
<li class="ed_txt">放置地點：光復校區 固態電子系統大樓 1樓118實驗室 (TEL：55667)</li>
<li class="ed_txt">功能：薄膜光阻曝寫</li>
<li class="ed_txt">重要規格：
<ol start="1" style="list-style-type: lower-alpha;">
<li class="ed_txt">曝光源：電子束(Electron Beam)</li>
<li class="ed_txt">Maximum beam energy：50kV</li>
<li class="ed_txt">Maximum write field：500μm</li>
<li class="ed_txt">50MHz Pattern Generator</li>
</ol>
</li>
<li class="ed_txt">儀器可使用之<a href="https://drive.google.com/file/d/1XoLpaDxyYYXE39bkI_znZO_eQXvFSUFB/view?usp=sharing" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="特殊製程材料(開啟新視窗)">特殊製程材料</a></li>
</ol>
</div>注意事項<div class="ed_model01 clearfix">
<div class="ed_txt"><strong>注意事項</strong></div>
<ol>
<li class="ed_txt">正表列：試片表面平整 (厚度小於1mm)(例如Si、SiC、GaAs、GaN等材料)</li>
<li class="ed_txt">負表列(禁止使用)：
<ol>
<li class="ed_txt">磁性材料、粉末材料、壓電材料、合成光阻</li>
<li class="ed_txt">低融點材料</li>
<li class="ed_txt">所有在電子束照射下會分解或釋出氣體及有礙真空維持之材料</li>
</ol>
</li>
</ol>
</div>自行操作規定<div class="ed_model01 clearfix">
<ol>
<li class="ed_txt">取得儀器使用權限說明：
<ol>
<li class="ed_txt"><a href="https://nanofc.web.nycu.edu.tw/%e5%a5%88%e7%b1%b3%e4%b8%ad%e5%bf%83%e7%94%b3%e8%ab%8b%e6%b5%81%e7%a8%8b/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="白天權限申請流程說明 (開啟新視窗)">白天權限申請流程說明 </a>(使用權限為星期一至五8:00~17:00)</li>
<li class="ed_txt"><a href="https://nanofc.web.nycu.edu.tw/24%e5%b0%8f%e6%99%82%e5%90%ab%e5%81%87%e6%97%a5%e9%96%80%e7%a6%81%e5%8f%8a%e8%a8%ad%e5%82%99%e6%ac%8a%e9%99%90%e7%94%b3%e8%ab%8b%e6%b5%81%e7%a8%8b/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="24小時申請流程說明(開啟新視窗)">24小時申請流程說明</a> (需有白天權限才可申請)</li>
<li class="ed_txt"><a href="https://nanofc.web.nycu.edu.tw/%e5%84%80%e5%99%a8%e7%94%b3%e8%ab%8b%e6%b3%a8%e6%84%8f%e4%ba%8b%e9%a0%85/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="注意事項(開啟新視窗)">注意事項</a> (務必詳讀，以免損失自身權益)</li>
<li class="ed_txt">圖形產生系統<a href="/userfiles/ordch/files/20240611143502906.pdf" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="操作規範(pdf)(開啟新視窗)">操作規範</a>&<a href="/userfiles/ordch/files/20240611143526435.pdf" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="考核記錄表(pdf)(開啟新視窗)">考核記錄表</a></li>
</ol>
</li>
<li class="ed_txt"><a href="https://nanofc.web.nycu.edu.tw/%e5%84%80%e5%99%a8%e9%96%8b%e6%94%be%e7%ad%89%e7%b4%9a%e3%80%81%e4%ba%ba%e6%95%b8%e3%80%81%e8%a8%93%e7%b7%b4%e6%ac%a1%e6%95%b8open-level-open-people-training-times/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="儀器開放等級及人數(開啟新視窗)">儀器開放等級及人數</a>，相關注意事項如下：
<ol>
<li class="ed_txt">同一實驗室原則上開放3人自行操作，不限碩博士生(但以博士生優先)，如有需求需經儀器管理教授同意得增加至4人。</li>
<li class="ed_txt">申請本設備自行操作者，需有奈米中心SEM儀器使用經驗(累積操作時數至少20小時)，如使用經驗為非奈米中心SEM儀器者，需填寫<a href="/userfiles/ordch/files/20240611143543877.odt" title="切結書(odt)">切結書</a>。</li>
<li class="ed_txt">需附SEM操作累積時數20小時證明文件(實驗自行操作紀錄本影本或其他證明文件並由機台管理人簽章。)</li>
<li class="ed_txt">本設備自行操作訓練次數為5次。</li>
<li class="ed_txt">擔任本設備之訓練員者，需先取得本設備之24小時自行操作權限。</li>
<li class="ed_txt">經考核通過後，超過3個月未使用設備者，取消其操作權限。</li>
</ol>
</li>
<li class="ed_txt">有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用:
<ol>
<li class="ed_txt"><a href="https://vir.nstc.gov.tw/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統(開啟新視窗)">國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統</a> (取得序號)</li>
<li class="ed_txt"><a href="https://nfcmachin.ece.nycu.edu.tw/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="奈米中心儀器預約系統(開啟新視窗)">奈米中心儀器預約系統</a> (使用時段預約)</li>
</ol>
</li>
</ol>
</div>委託操作規定<div class="ed_model01 clearfix">
<div class="ed_txt"><strong>委託操作儀器</strong></div>
<ol>
<li class="ed_txt">有國科會計畫者，請先至<a href="https://vir.nstc.gov.tw/" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統(開啟新視窗)">國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統</a>預約並取得預約編號，再下載<a href="/userfiles/ordch/files/20240611143559245.odt" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="圖形產生系統委託代工申請單(odt)(開啟新視窗)">圖形產生系統委託代工申請單</a>，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。</li>
<li class="ed_txt">無國科會計畫者，請直接下載<a href="/userfiles/ordch/files/20240611143559245.odt" rel="noreferrer noopener" target="_blank" title="圖形產生系統委託代工申請單(odt)(開啟新視窗)">圖形產生系統委託代工申請單</a>，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。</li>
</ol>
</div>收費標準<div class="ed_model01 clearfix">
<div class="ed_txt"><strong>收費資訊</strong></div>
<ol>
<li class="ed_txt"><span style="color:#ff0000;">有國科會計畫者依計畫付費標準計價，無國科會計畫者依非計畫付費標準計價。</span></li>
<li class="ed_txt">晶片由使用者自備。</li>
<li class="ed_txt">委託圖形曝寫需使用NFC光阻時，委託塗佈材料費：800元(破片2片以內或4吋1片，現金收費)。</li>
<li class="ed_txt">光罩曝寫視圖案情況，經評估後另行報價</li>
<li class="ed_txt">收費方式：
<ol>
<li class="ed_txt">自行操作：收取使用費</li>
<li class="ed_txt">委託操作：收取使用費+代工費</li>
</ol>
</li>
<li class="ed_txt">費用查詢連結：https://vir.nstc.gov.tw/VI_SearchResult?item=1</li>
</ol>
</div>https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/image?module=corefacilities&detailNo=1179328051964547072&init=Y圖形產生系統https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/list?module=corefacilities&id=1721儀器列表https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/list?module=corefacilities&id=1728奈米製程領域儀器https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/view?module=corefacilities&id=1728&serno=dcafb3c9-bba7-425a-9e41-a9cff19a8311光罩製作系統(DWL-200)