{"subject":"[光復校區] 手動光罩對準曝光機 Manual Mask Aligner","detailContent":"<div class=\"ed_model05 clearfix\">\r\n<div class=\"ed_pic_right\"><img alt=\"手動光罩對準曝光機\" src=\"/userfiles/ordch/images/20260305164449793.jpg\" /></div>\r\n\r\n<ul>\r\n\t<li class=\"ed_txt\"><strong>Manual Mask Aligner</strong>\r\n\r\n\t<ul>\r\n\t\t<li class=\"ed_txt\">英文簡稱：Aligner</li>\r\n\t\t<li class=\"ed_txt\">廠牌： 千奇正科技</li>\r\n\t\t<li class=\"ed_txt\">型號： CM-4-LED</li>\r\n\t</ul>\r\n\t</li>\r\n\t<li class=\"ed_txt\"><strong>儀器專家：連德軒 教授</strong>\r\n\t<ul>\r\n\t\t<li class=\"ed_txt\">03-5712121分機 54137</li>\r\n\t\t<li class=\"ed_txt\">信箱：<a href=\"mailto:mailto:dhlien@nycu.edu.tw\" title=\"dhlien@nycu.edu.tw\">dhlien@nycu.edu.tw</a></li>\r\n\t</ul>\r\n\t</li>\r\n\t<li class=\"ed_txt\"><strong>儀器操作技術員：紀智良&nbsp;先生</strong>\r\n\t<ul>\r\n\t\t<li class=\"ed_txt\">03-5712121分機 55618</li>\r\n\t\t<li class=\"ed_txt\">信箱 <a href=\"mailto:mailto:g01341@nycu.edu.tw\" title=\"g01341@nycu.edu.tw\">g01341@nycu.edu.tw</a></li>\r\n\t</ul>\r\n\t</li>\r\n\t<li class=\"ed_txt\"><strong>儀器位置：奈米中心220室</strong></li>\r\n</ul>\r\n</div>","dataClassName":null,"pubUnitName":"儀器資源中心","posterDate":null,"updateDate":"115-04-23","liaisonper":null,"liaisontel":null,"liaisonfax":null,"liaisonemail":null,"languageurl":null,"page1Title":"儀器介紹","page1":"<div class=\"ed_model01 clearfix\">\r\n<div class=\"ed_txt\"><strong>儀器廠牌、型號、購置年限</strong><br />\r\n廠牌：千奇正科技<br />\r\n型號：CM-4-LED<br />\r\n購置時間：2023年12月<br />\r\n<br />\r\n<strong>重要規格</strong></div>\r\n\r\n<ul>\r\n\t<li class=\"ed_txt\">光源：365nm UV LED</li>\r\n\t<li class=\"ed_txt\">主波長： I - line 365nm&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;</li>\r\n\t<li class=\"ed_txt\">照度：≧20 mW/cm^2 (I-line )&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;</li>\r\n\t<li class=\"ed_txt\">電源供應器操作模式：恆定電壓(CP模式)</li>\r\n\t<li class=\"ed_txt\">光罩尺寸：127x127mm mask holder (bottom load) *1pc</li>\r\n\t<li class=\"ed_txt\">光源平行角度：≦&plusmn;2.5&deg;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;</li>\r\n\t<li class=\"ed_txt\">照度均勻性：≦&plusmn;3%&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;</li>\r\n\t<li class=\"ed_txt\">曝光有效範圍(平行光)&oslash;100mm&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;</li>\r\n\t<li class=\"ed_txt\">曝光模式： Proximity Soft Contact &amp; Hard Contact</li>\r\n\t<li class=\"ed_txt\">試片: 試片載台可放置4吋晶圓或破片試片</li>\r\n</ul>\r\n</div>","page2Title":"服務項目與開放時間","page2":"<div class=\"ed_model01 clearfix\">\r\n<div class=\"ed_txt\"><strong>服務項目</strong><br />\r\n委託代工執行製程 : 對準曝光<br />\r\n<br />\r\n<strong>開放時間</strong></div>\r\n\r\n<ol>\r\n\t<li class=\"ed_txt\">週一至週五：09:00 ~ 16:00</li>\r\n\t<li class=\"ed_txt\">夜間及週六、日：不開放</li>\r\n</ol>\r\n</div>","page3Title":"系統開放等級","page3":"<div class=\"ed_model01 clearfix\">\r\n<div class=\"ed_txt\"><strong>系統開放等級</strong></div>\r\n\r\n<ol>\r\n\t<li class=\"ed_txt\">一般上班時段： D級</li>\r\n\t<li class=\"ed_txt\">夜間及假日時段： 不開放</li>\r\n</ol>\r\n\r\n<div class=\"ed_txt\"><strong><u>系統開放等級說明</u></strong></div>\r\n\r\n<ul>\r\n\t<li class=\"ed_txt\">A級：開放給需要使用之學生，經訓練考核後可自行操作。</li>\r\n\t<li class=\"ed_txt\">B級：每位教授指派一位學生申請訓練，該教授之其他學生需由接受訓練的學生代為操作，若有教授使用該儀器之學生過多者，可向儀器負責人申請增加接受訓練學生人數。</li>\r\n\t<li class=\"ed_txt\">C級：由儀器負責人選定教授推薦之學生若干人接受訓練，經考核後可自行操作儀器並得負責委託服務工作。</li>\r\n\t<li class=\"ed_txt\">D級：由本實驗室之技術人員接受委託服務，不開放使用。</li>\r\n</ul>\r\n</div>","page4Title":"收費標準","page4":"<div class=\"ed_model19 clearfix\">\r\n<div class=\"table03\">\r\n<table class=\"ed_table caption-top\" summary=\"收費標準\">\r\n\t<tbody>\r\n\t</tbody>\r\n\t<caption>收費標準</caption>\r\n\t<tbody>\r\n\t\t<tr>\r\n\t\t\t<th scope=\"col\">&nbsp;</th>\r\n\t\t\t<th rowspan=\"1\" scope=\"col\">學校單位</th>\r\n\t\t\t<th rowspan=\"1\" scope=\"col\">研究單位</th>\r\n\t\t\t<th rowspan=\"1\" scope=\"col\">營利事業單位</th>\r\n\t\t</tr>\r\n\t\t<tr>\r\n\t\t\t<th scope=\"row\">代工費(元/3片以內)<br />\r\n\t\t\t(不須對第二道mask)</th>\r\n\t\t\t<td data-th=\"委託操作\">NTD 1,500</td>\r\n\t\t\t<td data-th=\"委託操作\">NTD 2,000</td>\r\n\t\t\t<td data-th=\"自行操作\">NTD 6,000</td>\r\n\t\t</tr>\r\n\t\t<tr>\r\n\t\t\t<th scope=\"row\">代工費(元/3片以內)<br />\r\n\t\t\t(須對第二道mask)</th>\r\n\t\t\t<td data-th=\"委託操作\">NTD 2,000</td>\r\n\t\t\t<td data-th=\"委託操作\">NTD 2,500</td>\r\n\t\t\t<td data-th=\"自行操作\">NTD 7,000</td>\r\n\t\t</tr>\r\n\t\t<tr>\r\n\t\t\t<th colspan=\"4\" scope=\"row\" style=\"text-align: left;\">代工執行的黃光製程：對準曝光</th>\r\n\t\t</tr>\r\n\t</tbody>\r\n</table>\r\n</div>\r\n</div>","page5Title":"管理及使用辦法","page5":"<div class=\"ed_model01 clearfix\">\r\n<div class=\"ed_txt\"><strong><span style=\"font-size:110%;\">管理及使用辦法</span></strong></div>\r\n\r\n<ol>\r\n\t<li class=\"ed_txt\"><strong>本機台使用順序以半導體教學為優先，其次為委託代工。</strong></li>\r\n\t<li class=\"ed_txt\"><strong><strong>委託代工，請先Email與儀器設備管理人員聯絡。</strong></strong></li>\r\n\t<li class=\"ed_txt\"><strong>委託代工需要對第二道時 (申請者須到場陪同,以確認對準位置,避免爭議)。</strong></li>\r\n</ol>\r\n</div>","page6Title":null,"page6":null,"page7Title":null,"page7":null,"page8Title":null,"page8":null,"docs":[],"images":[{"fileurl":"https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/image?module=machine&detailNo=1479044796155695104&init=Y","expFile":"手動光罩對準曝光機"}],"videos":[],"audios":[],"resources":[{"relateURL":"https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/artwebsite/view?module=artwebsite&id=1750&serno=e46e3c04-7ee3-4d4f-bc6a-4a3362b51345","relateName":"光復及博愛校區儀器列表"},{"relateURL":"https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/list?module=machine&id=1767","relateName":"半導體製程類"},{"relateURL":"https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/list?module=corefacilities&id=1728","relateName":"國科會基礎研究核心設施 - 奈米製程領域"}]}