<![CDATA[[光復校區] 手動光罩對準曝光機 Manual Mask Aligner]]><![CDATA[<div class="ed_model05 clearfix">
<div class="ed_pic_right"><img alt="手動光罩對準曝光機" src="/userfiles/ordch/images/20260305164449793.jpg" /></div>
<ul>
<li class="ed_txt"><strong>Manual Mask Aligner</strong>
<ul>
<li class="ed_txt">英文簡稱：Aligner</li>
<li class="ed_txt">廠牌： 千奇正科技</li>
<li class="ed_txt">型號： CM-4-LED</li>
</ul>
</li>
<li class="ed_txt"><strong>儀器專家：連德軒 教授</strong>
<ul>
<li class="ed_txt">03-5712121分機 54137</li>
<li class="ed_txt">信箱：<a href="mailto:mailto:dhlien@nycu.edu.tw" title="dhlien@nycu.edu.tw">dhlien@nycu.edu.tw</a></li>
</ul>
</li>
<li class="ed_txt"><strong>儀器操作技術員：紀智良 先生</strong>
<ul>
<li class="ed_txt">03-5712121分機 55618</li>
<li class="ed_txt">信箱 <a href="mailto:mailto:g01341@nycu.edu.tw" title="g01341@nycu.edu.tw">g01341@nycu.edu.tw</a></li>
</ul>
</li>
<li class="ed_txt"><strong>儀器位置：奈米中心220室</strong></li>
</ul>
</div>]]>儀器資源中心115-04-23儀器介紹<div class="ed_model01 clearfix">
<div class="ed_txt"><strong>儀器廠牌、型號、購置年限</strong><br />
廠牌：千奇正科技<br />
型號：CM-4-LED<br />
購置時間：2023年12月<br />
<br />
<strong>重要規格</strong></div>
<ul>
<li class="ed_txt">光源：365nm UV LED</li>
<li class="ed_txt">主波長： I - line 365nm </li>
<li class="ed_txt">照度：≧20 mW/cm^2 (I-line ) </li>
<li class="ed_txt">電源供應器操作模式：恆定電壓(CP模式)</li>
<li class="ed_txt">光罩尺寸：127x127mm mask holder (bottom load) *1pc</li>
<li class="ed_txt">光源平行角度：≦±2.5° </li>
<li class="ed_txt">照度均勻性：≦±3% </li>
<li class="ed_txt">曝光有效範圍(平行光)ø100mm </li>
<li class="ed_txt">曝光模式： Proximity Soft Contact & Hard Contact</li>
<li class="ed_txt">試片: 試片載台可放置4吋晶圓或破片試片</li>
</ul>
</div>服務項目與開放時間<div class="ed_model01 clearfix">
<div class="ed_txt"><strong>服務項目</strong><br />
委託代工執行製程 : 對準曝光<br />
<br />
<strong>開放時間</strong></div>
<ol>
<li class="ed_txt">週一至週五：09:00 ~ 16:00</li>
<li class="ed_txt">夜間及週六、日：不開放</li>
</ol>
</div>系統開放等級<div class="ed_model01 clearfix">
<div class="ed_txt"><strong>系統開放等級</strong></div>
<ol>
<li class="ed_txt">一般上班時段： D級</li>
<li class="ed_txt">夜間及假日時段： 不開放</li>
</ol>
<div class="ed_txt"><strong><u>系統開放等級說明</u></strong></div>
<ul>
<li class="ed_txt">A級：開放給需要使用之學生，經訓練考核後可自行操作。</li>
<li class="ed_txt">B級：每位教授指派一位學生申請訓練，該教授之其他學生需由接受訓練的學生代為操作，若有教授使用該儀器之學生過多者，可向儀器負責人申請增加接受訓練學生人數。</li>
<li class="ed_txt">C級：由儀器負責人選定教授推薦之學生若干人接受訓練，經考核後可自行操作儀器並得負責委託服務工作。</li>
<li class="ed_txt">D級：由本實驗室之技術人員接受委託服務，不開放使用。</li>
</ul>
</div>收費標準<div class="ed_model19 clearfix">
<div class="table03">
<table class="ed_table caption-top" summary="收費標準">
<tbody>
</tbody>
<caption>收費標準</caption>
<tbody>
<tr>
<th scope="col"> </th>
<th rowspan="1" scope="col">學校單位</th>
<th rowspan="1" scope="col">研究單位</th>
<th rowspan="1" scope="col">營利事業單位</th>
</tr>
<tr>
<th scope="row">代工費(元/3片以內)<br />
(不須對第二道mask)</th>
<td data-th="委託操作">NTD 1,500</td>
<td data-th="委託操作">NTD 2,000</td>
<td data-th="自行操作">NTD 6,000</td>
</tr>
<tr>
<th scope="row">代工費(元/3片以內)<br />
(須對第二道mask)</th>
<td data-th="委託操作">NTD 2,000</td>
<td data-th="委託操作">NTD 2,500</td>
<td data-th="自行操作">NTD 7,000</td>
</tr>
<tr>
<th colspan="4" scope="row" style="text-align: left;">代工執行的黃光製程：對準曝光</th>
</tr>
</tbody>
</table>
</div>
</div>管理及使用辦法<div class="ed_model01 clearfix">
<div class="ed_txt"><strong><span style="font-size:110%;">管理及使用辦法</span></strong></div>
<ol>
<li class="ed_txt"><strong>本機台使用順序以半導體教學為優先，其次為委託代工。</strong></li>
<li class="ed_txt"><strong><strong>委託代工，請先Email與儀器設備管理人員聯絡。</strong></strong></li>
<li class="ed_txt"><strong>委託代工需要對第二道時 (申請者須到場陪同,以確認對準位置,避免爭議)。</strong></li>
</ol>
</div>https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/image?module=machine&detailNo=1479044796155695104&init=Y手動光罩對準曝光機https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/artwebsite/view?module=artwebsite&id=1750&serno=e46e3c04-7ee3-4d4f-bc6a-4a3362b51345光復及博愛校區儀器列表https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/list?module=machine&id=1767半導體製程類https://ord.nycu.edu.tw/ord/ch/app/machine/list?module=corefacilities&id=1728國科會基礎研究核心設施 - 奈米製程領域