三五族分子束磊晶系統

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圖形產生系統

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光罩製作系統(DWL-200)

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光罩對準曝光機 (A)

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光罩對準曝光機 (B)

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氧化擴散系統

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低壓化學氣相沉積系統

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電漿輔助化學氣相沉積系統

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介電材料活性離子蝕刻系統 (A)

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介電材料活性離子蝕刻系統 (B)

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冷場發射掃描式電子顯微鏡暨能量散佈分析儀器

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聚焦離子束與電子束顯微系統

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導電性材料活性離子蝕刻機_高密度活性離子蝕刻系統

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導電性材料活性離子蝕刻機_矽深蝕刻系統

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導電性材料活性離子蝕刻機_矽淺蝕刻系統

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