儀器列表-【物理領域】球面像差修正掃描穿透式電子顯微鏡 Cs-corrected STEM-國立陽明交通大學研究發展處

儀器列表

物理領域
更新日期：114-03-25
發布單位：儀器資源中心

【物理領域】球面像差修正掃描穿透式電子顯微鏡 Cs-corrected STEM

Spherical Aberration Corrected Scanning Transmission Electron Microscope
- 英文簡稱：Cs-corrected STEM
- 廠牌型號：JEOL ARM200F
儀器專家：張立教授
- 分機 31615
儀器專家：簡紋濱教授
- 分機 56159
儀器專家：陳智彥副教授
- 分機 56118
儀器諮詢與操作服務：林淑娟博士(暫代)
- 分機 56156
- 信箱 nctu.arm200f@gmail.com
儀器位置：光復校區基礎科學教學研究大樓 (科學三館) 地下一樓 SC022室

儀器資訊
購置日期：2011年12月
加入貴儀日期：2012年6月
經費來源：國科會、教育部、國立陽明交通大學

儀器重要規格

加速電壓：200 kV
電子槍系統：Schottky Field Emission Gun (FEG)
解析度(200kV)：
- TEM Lattice resolution：0.072 nm
- TEM Point resolution：0.190 nm
- TEM Optical information limit：0.107 nm
- HRTEM mode (UHR pole piece, Cs = 0.5 mm, Cc = 1.1 mm)
- STEM BF image resolution：0.136 nm
- STEM HAADF image resolution：0.082 nm
- STEM aberration free area angle：36.63 mrad
雙傾斜試片座其試片傾斜角度：正負25度。
STEM球像差修正器(Spherical aberration Corrector)。
STEM BF/HAADF檢測器(High Angle Annual Dark Field Detector)。
X光能量散佈分析儀(EDS) : Si drift detector (SDD), Energy resolution 127eV。

服務項目
TEM明視野影像(Bright Field)、高分辨影像(HRTEM)、STEM影像(ABF/HAADF)；不提供直接擇區繞射圖形(SAD)之儲存，但可儲存經由軟體處理轉換的繞射圖形。奈米尺寸之X光EDS能譜(B5~U92)，STEM包含EDS Point ID/Line Scan/Mapping。

儀器預約辦法

儀器預約請上國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約
每月20日中午12點開放次月TEM預約，預約5日內回傳預約申請單，預約申請單未回傳視為預約未完成，本單位有權取消該次時段。
欲取消預約請在五天前，自行上網取消，當日實驗未到且未電話通知者，視為爽約，該時段仍扣款原預約時段三小時費用。
欲取消預約但已少於五天內(不含實驗當日)，無法自行取消者，請先電話連絡或寫信告知，該時段仍扣款一小時基本費。
預約申請單繳交，請拍照或掃描傳送至技術員信箱nctu.arm200f@gmail.com

開放時段
開放時間 (2017年5月起適用)	上午	中午	下午
星期一	09:00 – 12:00 委託操作	13:30 – 16:30 委託操作	18:00 – 21:00 自行操作
星期二	09:00 – 12:00 委託操作	13:30 – 16:30 委託操作	18:00 – 21:00 自行操作
星期三	09:00 – 12:00 委託操作	13:30 – 16:30 委託操作	18:00 – 21:00 自行操作
星期四	09:00 – 12:00 委託操作	13:30 – 16:30 委託操作	18:00 – 21:00 自行操作
星期五	09:00 – 12:00 自行操作	13:30 – 16:30 自行操作	18:00 – 21:00 自行操作
星期六	09:00 – 12:00 自行操作	13:30 – 16:30 自行操作	18:00 – 21:00 自行操作
星期日	09:00 – 12:00 自行操作	13:30 – 16:30 自行操作	18:00 – 21:00 自行操作

系統開放等級

A級.委託服務，由本實驗室技術人員操作。
B級.由儀器負責人選定教授推薦之學生若干人接受訓練，需先通過研究所電子顯微鏡學的課程，經考核通過後可自行操作儀器並得負責委託服務工作。
C級.限定每位教授/實驗室一名博士班三年級以下學生，需先通過研究所電子顯微鏡學的課程，且必須具有交通大學奈米科技中心JEOL-2100F考核通過的使用資格方可申請接受訓練。訓練時間為20個時段，考核通過標準以STEM解析度0.08nm為合格，訓練費用依照委託操作收費標準收取。未通過考核之前除技術員或助教在旁協助，嚴禁自行操作；通過執照考核後取得C級資格，即可自行操作。

收費標準

TEM/STEM/EDS (試片安裝、真空抽取、電子光學校準、檔案傳輸亦涵蓋在時段內)
1. 委託操作：NT$1,920 /時段，每一時段以三小時計，未滿者亦以一時段計費，超過一小時加收 NT$640。業界單位委託操作比照上述委託時段收費，NT$19,200 /時段。
2. 自行操作：NT$750 /時段，每一時段以三小時計，未滿者亦以一時段計，超過一小時加收 NT$250。
3. TEM影像檔及EDS檔案每張處理費用 NT$15。(本儀器無底片存取裝置)為避免設備中毒，禁用隨身碟進行資料傳輸；請自備可燒錄之空白光碟儲存資料(VCD/DVD皆可)。

管理辦法及試片限制

本實驗室非TEM試片製作單位，請先準備可觀察之TEM試片來進行實驗。
待測樣品應為固態材料且應具有適當、足夠的機械強度，以避免在進出電鏡或在檢測的操作過程中，發生剝落、碎裂的狀況，恕不受理。
低熔點的材料如銦、錫等，會產生相變及蒸鍍效應，恕不受理。
在電子束照射下會分解或釋出氣體且礙及真空之樣品，如有機物、高分子、生物性或鐵磁性粉末樣品等，恕不受理。
具強磁性、磁性或易被電磁透鏡吸引的粉末形式樣品或材料，如鐵、鈷、鎳…等粉體，恕不受理。
具有放射性或毒性之樣品，恕不受理。
In-situ及加熱型測試服務，恕不受理。
所有以水溶液滴到銅網上樣品，皆需要經過充分乾燥除去水氣；樣品送到本實驗室後，仍需經過本實驗室人員再次烘烤十分鐘後才可以上機。若因試片充滿水氣而造成機台汙染，則預約單位需要共同負擔機台維修費用。
待測樣品若因清淨度或其他非顯微鏡因素而無法得到規格之解析度，仍依上述收費標準收取費用。[STEM < 0.1 nm resolution需要較長調校時間，且樣品需要具有適當之區域及經過電子束輻照(Beam showering)]
委託操作者上機之前，本單位會再次要求確認送來檢測的樣品種類，請委託者誠實申報。如果發現申報不實，本單位將取消其所屬實驗室的所有人預約資格六個月。若因違反上述規定而造成儀器污染或損壞時，所隸屬單位及其指導教授須負責賠償，賠償費用由原廠評估，再由管理委員會決議後執行並暫停儀器之使用權。
具自行操作資格人員，若擅自使用CCD直接拍攝繞射圖形或擅自放入上述有害的試樣於本儀器者，加重處罰吊銷其操作資格一年。若因違反上述規定而造成儀器污染或損壞時，所隸屬單位及其指導教授須負責賠償，賠償費用由原廠評估，再由管理委員會決議後執行並暫停儀器之使用權。