儀器列表
EN奈米製程領域
- 更新日期：113-06-12
- 發布單位：儀器資源中心
【奈米製程領域】聚焦離子束與電子束顯微系統
- Dual beam [focused ion beam & electron beam] System FIB
- 廠牌型號：TESCAN GAIA3
- 儀器專家：吳耀銓 教授
- 分機 31555
- 儀器專家：崔秉鉞 教授
- 分機 31570
- 儀器設備管理人員：趙建允 先生
- 分機 55670、55368
- 信箱 jychaoa@nycu.edu.tw
- 儀器位置：光復校區 工程六館 213室
- 分機 55368
- 廠牌型號：TESCAN GAIA3
- 購置年限：2017年12月18日
- 放置地點：光復校區 工六館 213室 (TEL：55368)
- 功能：
- 穿透式電子顯微鏡試 in-situ及ex-situ TEM試片製備
- 奈米結構製程：奈米材料、元件之特定圖形結構之製程及觀察
- 剖面試片之製作及觀察：剖面試片切割及影像記錄
- 白金之沉積：白金鍍層及影像記錄
- 全程上異常觀察分析：固態電子元件之線路修復、切割、鍍層及影像記錄
- 晶相分析及觀察
- 本機台加裝能量散佈質譜器(EDX)，可作元素成分之定性及半定量之分析
- 重要規格：
- 電子源：場發射式
- 離子源：Ga液態金屬離子源
- 加速電壓：電子束—200V~30kV、離子束—500V~30kV
- 影像解析度：SEM—1.5nm at 15kV、FIB—2.5nm at 30kV
- 工作距離：5mm
- 試片規格：直徑(10mm dia ) x 高度(<0.50cm)
- 放大倍率SEM: 4x~1Mx、FIB: 150x~1Mx
- GIS、 Pt、SiO2
- 儀器可使用之特殊製程材料
注意事項
- 限制使用FIB機台之材料：
- 磁性材料
- 全粉末等電子束照射下會分解或釋出氣體材料
- 低熔點的物質
- 合金材料含有磁性材料高於5%者
- 使用者必需詳細說明試片之製作方式，若有可能造成真空腔污染，本單位有權拒絕受理。預約者請於實驗三天前填妥申請表格(請繪製樣品及觀察位置之top view、cross-section圖，並註明各層材料及厚度)，並傳送檔案予技術人員審核。
- 若因試片處理不當造成機台損壞或污染，須負賠償責任。賠償費用由原廠評估並經管理委員會決議後執行。
- 試片直徑約10mm dia，高度小於0.5cm為較合適的尺寸，表面必須平整，不可局部起伏過大。若為特殊尺寸，應事先與管理者聯繫確認是否適合進行實驗。
- 半導體、導電性不佳及絕緣體試片需先鍍導電膜(金或鉑較佳)，現場無提供鍍膜處理。
- 請自備空白光碟片存取資料。為避免設備中毒，禁用隨身碟進行圖檔傳輸。
- TEM試片製作請自備銅網。每3小時一個時段製作一片，由委託者及助教共同合作，使用OM放置試片於自備銅網上。因試片材質會影響玻璃針吸附效果，若未能成功放置銅網，不另補作。
- 其他付費說明:
- 白金電極付費：鍍白金電極時間於0.1%以內不予收費。超過0.1%計價方式為每0.1%收費現金200元。請實驗後拿繳款通知單至奈米中心繳款
- EDX付費：本機台之EDX可做Mapping / Line Scan /定性及半定量分析，每小時加收貴儀600元。
- 分析測試時若發現樣品不符合規定，樣品將被退回並照其預約之時段付費。實驗之樣品請送件，以供測試使用。使用者應在場說明需分析之內容。
- 貴儀系統預約限制為：每位計畫主持人每月限預約二次。機台開放預約時間為每月25日上午九時，預約次月實驗。實驗時間預約後若需取消，請於五天前自行登錄貴儀系統取消，否則仍需扣款。
- 自行操作：每月25日上午九時起，預約次月1日~15日實驗；當月10日上午九時起，預約當月16日~月底實驗，每人每梯次限預約一次。需在2天前取消預約：於2天前取消，則不予扣款；若未於2天前取消，但該時段有人能替補使用，則不予扣款；若未於2天前取消，且該時段無人能替補使用，則需收費。
- 無故預約不到，自動扣該次時段；遲到超過十五分鐘，扣預約時段並取消服務。
自行操作儀器
- 取得儀器使用權限說明：
- 儀器開放等級及人數。
- 有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用:
- 預約時段如遇國定假日、機台故障維護或耗材更換，時段以取消處理，不另補做。
- 國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統 (取得序號)
- 奈米中心儀器預約系統 (使用時段預約)
委託操作儀器
- 有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號，再下載FIB委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
- 無國科會計畫者，請直接下載FIB委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
收費資訊
- 有國科會計畫者依計畫付費標準計價，無國科會計畫者依非計畫付費標準計價。
- 請自備空白CD片
- 耗材現金收費（試片清汙 每次 NT$500）
- 費用查詢連結
相關圖片：
