電子顯微鏡類
EN- 更新日期：113-01-30
- 發布單位：儀器資源中心
[光復校區] 電子束晶圓缺陷檢測設備 eScan310
- E-beam inspection tool
- 廠牌型號：HMI, eScan310
- 儀器專家：張翼 教授
- 分機 31536
- 儀器操作技術員：林俊光 先生
- 分機 59495
- 信箱 tglin@nctu.edu.tw
- 儀器位置：科學三館 SC030 室
儀器廠牌、型號、購置年限
廠牌： HMI
型號：eScan310
購置年限：2012年03月漢民微測公司捐贈
重要規格
廠牌： HMI
型號：eScan310
購置年限：2012年03月漢民微測公司捐贈
重要規格
- 所量測之樣本其缺陷檢測與尺度線寬大於20奈米
- 置於載台後的總高度不得大於或小於850微米
服務項目
- 樣本缺陷檢測
- 樣本尺度量測
- 本設備應用範圍達奈米尺寸，可觀察材料範圍甚廣，極歡迎物理、化學、材料、電子、光電及生物等不同領域之專家學者，使用此機器從事相關研究，亦歡迎電機、機械、資訊、光學等領域學者對電子束之應用及功能提昇提出新的看法
開放時間
- 週一至週五: 08:30~05:30
- 夜間及週六、日：不開放
系統開放等級
- 一般上班時段： D
- 夜間及假日時段： 不開放
系統開放等級說明
- A級：開放給需要使用之學生，經訓練考核後可自行操作。
- B級：每位教授指派一位學生申請訓練，該教授之其他學生需由接受訓練的學生代為操作，若有教授使用該儀器之學生過多者，可向儀器負責人申請增加接受訓練學生人數。
- C級：由儀器負責人選定教授推薦之學生若干人接受訓練，經考核後可自行操作儀器並得負責委託服務工作。
- D級：由本實驗室之技術人員接受委託服務，不開放使用。
| （本機不開放自行操作） | 委託操作 | 委託操作 |
|---|---|---|
| 使用單位 收費標準（單位：NTD） |
學術單位 非儲金/儲金會員 |
廠商及研究單位 非儲金/儲金會員 |
| 校外 | 2300/2000 | 3000/2700 |
| 校內 | 1500/1200 | — |
| 經研發處認可之產學合作研究計畫 | 免費 | — |
備註：學術單位指各大專院校。
管理辦法及使用辦法
- 向儀器技術員/助理提出使用申請
- 儀器技術員/助理於實驗完成後開立繳費通知單給使用者
- 請使用者攜帶繳費通知單至出納組繳費，並於繳費後將繳費通知單及收據影本繳交給儀器技術員
- 校內計畫轉帳-使用者可利用教授在本校執行之各項計畫直接轉帳扣款
(共同儀器校內使用者轉帳核准單請至研發處網頁之共儀中心各式表格中下載)，使用者填妥後請計畫主持人簽核後，交給儀器技術員
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