電子顯微鏡類
EN- 更新日期：114-06-18
- 發布單位：儀器資源中心
[光復校區] 掃描電子顯微鏡與電子束微影系統 SEM and EBL
- Scanning electron microscope and E-beam lithography
- 英文簡稱：SEM and EBL
- 廠牌型號：JEOL, JSM IT-300
- 儀器專家：簡紋濱 教授
- 分機 56159
- 聯絡人暨儀器操作技術員：黃姝閔 同學
- 分機 56183
- 儀器位置：科學三館SC009室
儀器廠牌、型號、購置年限
廠牌：JEOL
型號：JSM IT-300
購置年限：2016年4月
重要規格
放大物品之影像與控制載台與電子束
儀器性能
廠牌：JEOL
型號：JSM IT-300
購置年限：2016年4月
重要規格
放大物品之影像與控制載台與電子束
儀器性能
- 電子源: 熱燈絲電子槍
- 操作電壓: 0.3 kV to 30 kV
- 解析度: 3.0 nm (30 kV) 15.0 nm (1.0 kV)
- 放大倍率: ×5 到 ×300,000（依試片本身而定）
- 探針電流: 1 pA to 1 μA
- 試片尺寸: 12mm x 12mm
- 最小線寬：50nm (PMMA)
服務項目
探索樣品形貌與電子束微影
開放時間:
探索樣品形貌與電子束微影
開放時間:
- 週一至週五時段：
- 週二： 9:00~12:00、13:00~19:00
- 週三： 9:00~12:00、13:00~19:00
- 週四： 9:00~12:00、13:00~19:00
- 週五： 9:00~12:00
- 夜間及週六、日不開放
系統開放等級
- 一般上班時段：A級、B級、C級、D級
- 夜間及假日時段：不開放
系統開放等級說明
- A級：開放給需要使用之學生，經訓練考核後可自行操作。
- B級：每位教授指派一位學生申請訓練，該教授之其他學生需由接受訓練的學生代為操作，若有教授使用該儀器之學生過多者，可向儀器負責人申請增加接受訓練學生人數。
- C級：由儀器負責人選定教授推薦之學生若干人接受訓練，經考核後可自行操作儀器並得負責委託服務工作。
- D級：由本實驗室之技術人員接受委託服務，不開放使用。
| 委託操作 | 自行操作 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 收費標準（單位NTD） | 學術單位 | 學術單位(交大電物系) |
廠商及研究單位 | 學術單位 | 廠商及研究單位 |
| 二次電子影像 | NT$1,200 /小時 | NT$600/小時 | NT$1,500 /小時 | NT$300 /小時 | 不開放 |
| 電子束微影 (最低使用2hr) |
NT$1,600 /小時 | NT$800 /小時 | NT$2,500 /小時 | NT$500 /小時 | 不開放 |
備註：學術單位指各大專院校。
管理辦法及使用辦法：
- 僅開放給通過考核的同學預約，請在紀錄表上填寫實驗室及個人姓名與聯絡電話。
- 若預約時段與儀器助教訓練之時段相衝，以助教訓練優先。
- 若預約時段與廠商儀器維護時段相衝，以儀器維護優先。
- 不得將食物帶入實驗室之內，離開時須將實驗桌面整理乾淨並將椅子排放整齊，如未確實遵守者記警告一次。
- 警告累積達三次時，停權一個月。
- 電腦請勿任意關機，嚴禁安裝任何外來軟體，不可擅自變更系統設定及上網，未遵守者一律停權。
- 實驗室內之所有設備、軟體屬於電物系之財產，不可偷竊及破壞，否則將追究相關責任。
- 禁止磁性（含鐵、鈷、鎳成分）、粉末、高分子、生物材料之試片，若有特殊試片須事先與儀器助教確認。
- 請自備空白 CD-R/DVD 存取檔案，切勿使用USB存取檔案。
儀器訓練操作申請須知
- 填寫共同儀器申請單。
- 教育訓練須另計一時段費用。
- 經儀器助教認可，安排訓練時間。
- 自考核通過當日起，使用者需於一個月內自行上機使用一次。
儀器操作預約：
- 自行操作請與儀器助教聯絡並填寫共同儀器申請單。
- 嚴禁非開放時間使用儀器。
- 預約請確實登記使用者姓名、實驗室與實驗室分機。
