半導體製程類
EN- 更新日期：113-05-22
- 發布單位：儀器資源中心
[光復校區] 熱電阻蒸鍍與手套箱整合系統 (Thermal Evaporator & Glove Box)
儀器廠牌、型號、購置年限
廠牌： 世欣科技
型號： 蒸鍍機+手套箱
購置年限：109年
重要規格
廠牌： 世欣科技
型號： 蒸鍍機+手套箱
購置年限：109年
重要規格
- 高真空雙腔體熱電阻蒸鍍系統與兩個四手型手套箱串聯整合系統。
- 熱電阻蒸鍍系統：可蒸鍍金屬電極與有機半導體材料。
- 手套箱：微量天平、加熱板、旋轉塗佈機。
服務項目
蒸鍍與有機元件製作。
開放時間
週一至週五：09:00 ~ 17:00
聯絡人：高欣楷 同學
蒸鍍與有機元件製作。
開放時間
週一至週五：09:00 ~ 17:00
聯絡人：高欣楷 同學
系統開放等級
- 一般上班時段： D級
- 夜間及假日時段： 不開放
系統開放等級說明
- A級：開放給需要使用之學生，經訓練考核後可自行操作。
- B級：每位教授指派一位學生申請訓練，該教授之其他學生需由接受訓練的學生代為操作，若有教授使用該儀器之學生過多者，可向儀器負責人申請增加接受訓練學生人數。
- C級：由儀器負責人選定教授推薦之學生若干人接受訓練，經考核後可自行操作儀器並得負責委託服務工作。
- D級：由本實驗室之技術人員接受委託服務，不開放使用。
| 服務項目 | 服務內容 | 學術單位 | 廠商及研究單位 |
|---|---|---|---|
| 有機元件製作與封裝 | 適用於製程無水與無醇類的元件 | NT$10,000 /4HR | NT$15,000 /4HR |
備註：
- 因元件製程時間較長，以四小時為一基本單位。
- 學術單位指各大專院校。
管理辦法及使用辦法：
- 委託操作四小時為一單位收費NT$10,000/4HR (學術單位)。
- 委託操作四小時為一單位收費NT$15,000/4HR (廠商及研究單位單位)。
- 禁止使用水與醇類溶劑。
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